"전자빔 증착" 검색결과 281-300 / 597건

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  [공업화학실험] 식각실험 예비보고서

  실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 ... 공급된 반응기체는 RF전압에 의하여 글로우 방전되며, 이동도가 큰 전자 이동은 두 전극판에 음전하의 축적이 일어나게 한다. ... 등방성 식각 성질을 나타내며, 이온빔의 충돌로 인해 발생하는 방사손상이 발생하지 않는다. eon분의 원통형 식각 장치는 0.5~2.0torr의 고압에서 작동된다.2) 하류 식각장치

  리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.07.23

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  pvd 실험 보고서

  이 방식은 증착 속도가 크고, 오염이 없고, 합금물질을 증착시킬 수 있으나 고융점 물질 증착시는 적합하지 않다.(3) 전자빔 증착 (Electron Beam Evaporation)필라멘트에 ... 고전압을 걸어주면 필라멘트에서 다량 원자빔이 방출된다. ... 이 저자빔은 매우 높은 에너지를 갖고 있어, 금속 물질을 국부적으로 용융시키고 증발시키며 증발된 금속원자는 일으키고 그 힘에 의해 증착물질이 튀어나와 웨이퍼에 부착하게 된다.

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.03

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  현미경의 종류에 관한 보고서

  전자현미경의 한 종류로 광원과 광원렌즈 대신에 전자빔과 전자렌즈를 사용한 현미경이다. ... 투과형 전자현미경과는 달리 전자 빔이 표본의 표면을 체계적으로 이동하며 조사한다. ... 그러나 선명한 상을 얻기 위해서는 시료의 표면에 얇은 금속막(두께 50~100Å)을 증착(烝着)시키거나 경우에 따라서는 방전제를 분무해야 한다.2) 투과전자현미경(TEM): 투과전자현미경은

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.10.23

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  설계실습 5 예비

  focus : CRT내부의 전자빔의 초점을 조정하는 기능이며 CRT상에서 선, 또는 점의 선명도를 조절한다. ... 잘사된 전자들이 고전압에 의해 가속되어 화면 안쪽면에 증착되어 있는 형광막(Fluorescent screen)에 충돌하면 그 부분이 밝은 점으로 나타난다. ... 이렇게 전자들이 연속적으로 발사될 때 전자의 경로 좌우에 전극(수평편향전극)을 설치하여 전압을 가하면 전압의 극성에 따라 전자의 진행방향이 좌우로 편향된다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.22

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  디스플레이 물성및재료 반도체 제조공정 디스플레이 제조공정8

  증발공정은 물질이 증발될때까지 진공실에서 가열하고 도가니에서 증착되는 물질로 구성된다. 보편적인 가열방식은 도가니에 있는 금속을 가열하기 위해서 전자빔을 사용하는 것이다. ... 전자이동에 우월한 저항 : 구리는 전자이동에 관한 문제가 없다. ... 증착과 복잡한 합금을 유지하는 능력 고온에서의 내열성 금속의 증착능력 200nm 이상의 웨이퍼에 있는 균일한 막의 증착을 제어하는 능력 금속을 증착하기 전에 자연 산화막과 오염에 의한

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.20

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  플라즈마 생성과 응용

  강력한 EUV를 내는 광소스는 리소그래피에 사용되며 전자빔, 이온빔과 같은 전하입자 빔은 핵융합, 환경산업 등에 사용되고 있으며, 또한 기존의 플라즈마 소스의 약점을 극복하여 새로운 ... 응용분야 중성입자 빔의 응용분야로는 차세대 반도체 공정에서 나노 스케일 반도체 식각 장비, 나노 스케일 증착 공정 및 나노 스케일 리소그래피(Lithography) 공정에서 사용되며 ... 궤도를 이탈함으로써 자유전자가 되어 양전하를 띄게 되며 분자 혹은 원자와 음전하를 갖는 전자가 생성된다.

  리포트 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.09.29

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  이온빔스퍼터링 or 스퍼터링

  타겟 으로부터 입자의 방출스퍼터링의 가장 두드러진 특징은 만능성이다.스퍼터-증착의 응용 ;전자산업 ,공구의 내마모성코팅 , 플라스틱 자동차부품의 금속코팅 등장점/ 신뢰성 ,자동제어가능단점 ... 이온 빔 스퍼터링 Ion Beam SputteringContents이온 빔 스퍼터링스퍼터링이온 플레이팅요약 및 결론스퍼터 증착 공정스퍼터링 공정 ;강력한 투사입자들의 충격에 의해 고체 ... 또 한가지는 이온빔을 이온 플레이팅에 활용하는 방법으로서 증발원을 이용해서 원하는 물질을 증발, 증착시킴과 동시에 이온빔으로 기판 표면을 조사하도록 하는 것이다.

  리포트 | 21페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.04.08

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  주사전자현미경(SEM)

  광학현미경이 광선 대신에 전자빔을, 광학렌즈 대신에 전자렌즈를 사용하여 물체의 확대상을 결상시켜 관찰하는 현미경을 말한다. ... 전자 빔이 물질의 표면에 조사되어 발생되는 신호(signal)는 전도 전자의 여기에 따른 2차 전자(secondary electron), 반사 전자(back scattered electron ... 주사전자현미경, 이하 SEM으로 칭함)은 미세하게 형성된 전자 빔을 물질의 표면에 조사함으로써 물질 표면의 미소 부피에 대한 형태, 구조 및 성분 등에 대한 분석을 행할 수 있는 분석기기이다

  리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.12.18

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  진공과 진공펌프에 대해서~

  스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법 (Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 (L-MBE, Laser ... 많이 쓰이는 산화물 반도체나 GaAs 등을 증착시킬 때 PVD 방법들은 그 화합물들을 우선 소결하거나 녹여서 고체 상태의 target으로 제조해서 열이나 전자빔으로 휘발시켜서 기판에 ... 증착시키는 것이고 조금 더 복잡한 방법으로는 각각의 원료 물질을cell (effusion cell)에 넣은 다음에 cell의 문을 열고 닫는 것으로 원료물질을 열, 레이저, 전자빔

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.08.17

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  ion plating

  , 중간음극방전(HCD)플라즈마전자빔방식 등의 방법이 있다. ... 이온을 전계에 의해 가속하여 고에너지로 기판에 충돌시키는 프로세스1) 증발원 가열막 형성의 원재가 되는 증발물질의 분류법에는 가열방식에 따라 증발가열방식, 고주파가열방식, 전자빔가열방식 ... 이들 중 증발가열방식이 가장 간편한 방법이지만, 현재 고융점 활성금속을 증발시키기 위해 전자빔가열방식이 주로 이용되고 있다.2) 이온화(활성화)일반적으로 이온화에 필요한 에너지는 표4와

  리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.01.02

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  신소재공학실험 분말합성법

  주로 금속등 도체, IC, 산화물 등 반도체, 고분자 재료나 세라믹 등 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이된다.자기렌즈를 이용하여 전자빔을 가늘게 집속하며, 이를 시료면 위에 ... SEM의 분해기능은 전자빔을 가늘게 만들수록 높아지는데 보통은 3~5nm 정도로 쓰인다.SEM은 집속렌즈(Condenser lens) 와 대물렌즈(Objective lens)를 가지고 ... 고결하는 현상이다.고체의 가루를 틀속에 넣고 프레스로 적당히 눌러 단단하게 만든 다음 그물질의 녹는점에 가까운 온도로 가열했울 때 가루가 서로 접한 면에서 접합이 이루어지거나 일부가 증착하여

  리포트 | 23페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.11.25

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  특수가공

  다이아몬드 등에도 적용 가능-직경 1um정도의 극히 미소한 부분에도 에너지 집중이 가능해 미세 가공 가능-전자 빔을 주사하여 복잡한 형상의 가공도 가능-제거 가공 외에 용점 증착 ... -느린 가공 속도-구멍 입구의 정밀도 저하-숙련이 필요-고가의 장비 및 유지비-보통 진공상태에서 작업하므로 제한 요소가 많음전자빔 용접은 전자빔을 한 점 수렴시켜 얻은 고밀도의 에너지를 ... -전극으로 구리나 흑연 등의 연한 재료를 이용한다.전자빔 가공(EBM)전자를 진공 중에서 80v로 가속하고, 전자 렌즈로 공작물 위에 집속 조사해 국부적으로 발생하는 고열로 공작물을

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.11.29

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  LED 발전 과정, 최신 동향, 기초 이론, 제조 공정, 측정 분석

  Room-temp PL / Low-temp PL ELⅥ LED 측정 분석 SEM Room-temp PL / Low-temp PL EL Scanning Electron Microsocopy 전자빔 ... 법 FAB 공정 리소그래피 식각 LED 발전과정 LED 최신동향 실생활 이용 PPT 디자인 Packaging 공정 LED 색구현 법 PL, EL, SEM EPI 공정 양자우물구조 증착법 ... 분석 SEM Room-temp PL / Low-temp PL EL Room-temp PL / Low-temp PL He- Cd laser 를 조사하여 wafer 내부에서 여기된 전자와

  리포트 | 82페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.12.24

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  비철금속과 희소금속에 관한 조사

  그러나 이 타협은 박막(얇은 막)인 동안만 적용되고, 두꺼운 전하 케리어는 금속의 도전율을 증가시키지만 투명도는 감소된다.인듐 주석 산화물의 박막은 가장 일반적으로 전자빔 증착, 증기 ... 증착, 스퍼터링 기술의 범위에 의하여 표면에 증착된다.높은 비용, 제한된 인듐의 자원, 부서지기 쉽고, 인듐 주석 산화물 레이어의 휨성이 부족하며, 레이어 증착에 필요한 높은 진공 ... 기간산업의 기초소재로 건설, 전기통신 및 전자 산업 등에 사용 될 분만 아니라 철, 구리와 연동한다는 특성이 있다.보크사이트는 국내 유일의 수산화알루미늄 제조업체인 (주)KC가 수입nesium

  리포트 | 24페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.24

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  열처리에대해

  내마모, 내식성개선과 금형, 기계부품 등 철강의 표면경화, 전자공업에 주 로 이용4.2 화학증착(Chemical Vapor Deposition, CVD)4.2.1 원리? ... 수소, 질소, 아르곤등의 수송기체와 함께 증착하고자하는 금속 화합물의 기 체인 반응기체를 Reactor에 불어넣어 화학반응을 일으켜서 고상의 물질을 기판에 증착시키게 하는 표면처리법4.2.2 ... 재질의 소재 표면에 피막을 형성시키는 것이 가능하므로 부 품, 부재의 표면에 내마모성, 내열성, 내식성, 내약품성, 전기절연성, 도전성, 광학적 성질을 부여할 수 있다.② 화학, 전자

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.30

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  SiO2 박막의 식각 및 PR 제거

  이미지 접근법으로 광원대신에 안정된 전자빔 소스를 웨이퍼 패턴이미지를 생성하기 위해서 사용된다. ... 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공 정으로 나뉘어 지는데 첫째로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공 정으로 ... 레티클 스피드로 반대편에 투영된다.② SCALPEL (SCattering with Angular Limitation Projection Electron Beam Lithography)전자빔

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.19

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  강자성 및 증착시 박막 두께 계산

  이것은 광학현미경으로도 쉽게 관측되며 편광(偏光)·편향중성자·전자빔·X선으로도 관측할 수 있다.많은 강자성체에서 쌍극자 모멘트는 강한 결합(strong coupling)에 의해서 평행하게 ... 즉 이 원자들은 원자핵에 대한 전자의 운동과 전자 자신을 축으로 하는 스핀 때문에 전자석(電磁石)이 된다. ... Sputter이용하여 박막 증착시 두께 계산방법sputter를 이용해서 박막을 증착할 때 증착하는 속도와 시간을 조절하여 증착되는 물질의 두께를 조정할 수 있다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.12.11

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  F E D (Field Emission Display)

  이때 알루미늄 산화막이 홀의 안쪽 모서리에 증착됨에 따라 홀의 크기가 줄어들게 된다.9) 기판 표면에 대해 수직방향에 위치한 곳에 증착 물질을 두고 전자 빔 증착법으로 몰리브덴 증착한다 ... (일부 업체 개발 성공)전자빔이 스페이서 쪽으로 가지 않도록 전자빔 제어를 완벽하게 할 수 있는 구조를 개발하는 것임.• 진공중 패키징 과정패키징 방법에서 진공속에서 activation후에 ... 대전되어 스페이서와 이웃한 화소의 전자빔을 스페이서 방향으로 왜곡시켜 화질을 크게 떨어뜨림.

  리포트 | 25페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.12.13

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  건식도금(pvd, cvd)

  즉 저전압, 대전류의 전자빔이 HCD건에서 생기는 특징이 있다.이 전자빔이 증발시킨 증발원자는 대전류(전자의 수가 많은)의 전자빔 속을 뚫고나가게 되며, 이때 전자와 충돌하여 이온으로 ... 이때 HC는 고온으로 가열되어 많은 열전자를 구멍 뚫인 양극(+)을 향해 방출하게 되며, 이 양극에서 나온 전자는 전자빔(beam)인 전자총이 되어 양극으로 된 증발물질을 때려서증발시키게 ... 즉 증발류가 노즐을 나오는곳에서 전자빔(electron beam) 충격을 받아 클러스터중의 몇 개의 원자가 이온화되어 가속되며, 도입된 가스와 반응하기도 한다.

  리포트 | 21페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.10.17

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  e-beam 증착법

  ◎e-beam 증착법◎◎전자빔이란◎전자총에서 나오는 속도가 거의 균일한 전자의 연속적 흐름.전자선(電子線)이라고도 한다. ... ◎전자빔을 이용한 증착법◎진공 증착법은 광학박막 분야에서는 가장 일반적인 피막 기술로서 현재는 오직 이 방법만이 사용되고 있다. ... 이 방법에서 어려운 점은 증착물질을 증착원에 균일하게 점은 증착물질을 증착원에 균일하게 증착속도를 일정하게 유지하는 것이다전자빔 증발원은 저항 가열이나 유도가열 대신에 물질의 증발이

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.04.29

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