"전자빔 증착" 검색결과 81-100 / 597건

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  Thermal Evaporation을 이용한 금속 박막 증착

  여기서 PVD에 해당하는 증착 법에는 스퍼터링(Sputtering), 전자빔증착법(E-beam evaporation), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 ... Evaporation열 저항 대신 전자 빔을 이용해 Target 물질을 기화시키는 방법. ... 좀 더 풀어서 말하면, 많이 쓰이는 산화물 반도체나 GaAs 등을 증착시킬 때 PVD방법들은 그 화합물들을 우선 소결하거나 녹여서 고체 상태의 target으로 제조해서 열 또는 전자빔으로

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2017.06.30

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  [기초공학실험]Cu film의 전기적 특성 분석 실험

  SEM전자빔이 시료표면을 주사한다. 이 빔의 에너지는 몇가지 다른 형태의 에너지로 분산된다. ... )이 없다.⑧ 아크 증착(Arc deposition)시와 같은 macro-particle 이 형성되지 않는다.⑨ 저온 증착이 가능⑩ 전자의 입사에 의한 기판의 손상⑪ 에너지의 비효율성⑫ ... 이렇게 형성된 전기신호는 증폭되고 시료상에 빔을 주사함과 동시에 대상시료표면이 관찰된다.

  리포트 | 8페이지 | 3,200원 | 등록일 2019.09.02 | 수정일 2020.08.10

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  [레포트] Vacuum Evaporation, 진공공학

  하지만 가속 전압이 높아지면 X-ray가 발생하고, 전자 빔 Source 위에 원자의 농도가 크므로 와류 또는 Discharge가 심한 단점이 있다. ... 저항체로 불가능하거나 어려운 물질(금속 또는 세라믹)을 전자빔을 이용하여 증발시킬 수 있고 화합물, 합금, 증발이 어려운 물질 등에 이용할 수 있으며 반응성이높은 원소에도 사용이 가능하다 ... Electron beam source 인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 beam을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여, 증착재료에 위치시키면 집중적인 전자의 충돌로

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.06.02

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  투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

  증착 입자를 발생시키는 방법이 있는데 그에 따라 이온 빔 스퍼터링이라고 부른다.이온 빔 스퍼터링 장치는 건에 타겟을 장착하고 전원을 공급할 필요가 없다.또 ... 이하의 매우 낮은 작업압력 하에서도 성막이 가능해 고품질의 박막을 재현성 있게 빠른 속도로 얻을 수 있는 장점이 있다.또한 이 종류의 스퍼터링 장치는 기존에 널리 사용되어 오던 전자빔 ... 전자 디바이스 제작에 폭넓게 이용되고 있다.여기에서 산화물이나 질화물박막을 원하는 조성으로 증착하고 싶을 때 추가적으로 가스를 공급하여 반응을 일으킬 수 있는데, 이를 DC/RF

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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  진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 결보

  결과에서는 TiN막에서는 CrN막쪽이 마찰계수가 낮고 내연동성에 뛰어난 것을 알 수 있다.c) 증발 물질을 증발시키는 방법증발 물질을 증발시키는 방법으로는 저항가열, 유도가열, 전자빔 ... 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착1. ... CVD(화학기상증착)법은 기체상태의 화합물을 가열된 모재표면에서 반응시켜고 생성물을 모재표면에 증착시키는 방법이다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.05.09

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  오제전자 분광법에 대한 조사- AES 레포트

  손상 관찰 실리콘 웨이포 표면에 실리콘 산화막 (SiO2) 증착 후 전자빔의 가속 전압 및 조사 각도 , 주입 전자량에 따른 실리콘 산화막의 손상 정도 평가 . ... 실리콘 산화막에 조사되는 전자빔의 Energy 가 낮을수록 낮은 조사 전자량에 의해 손상이 일어나며 , 시표면의 법선에 대한 전자빔의 조사 각도가 클수록 낮은 조사전자량에 의해 손상이 ... Auger Electron Spectroscopy(AES) 를 이용한 실리콘 산화막에 대한 전자빔 손상 관찰 .

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.07.18

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  [재료공학실험]SEM(예비보고서)

  방출량 증가를 위해서 금속을 증착하여 사용한다. ... SEM에서 분해능을 결정하는데 가장 중요한 인자인 전자빔의 직경은 빔을 집속시키는 전자렌즈와 전자총의 기능에 좌우된다. ... 전자빔의 입사 방향과 수직인 시료 표면이 가장 어둡고, 경사각이 작아질수록 밝아진다.

  리포트 | 2페이지 | 2,000원 | 등록일 2018.03.12

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  아주대학교 A+ 2018 2-2 중급물리학실험 3D printing 결과보고서

  표면에 그래핀을 증착시키는 방식이다. ... 광경화 적층 방식(SLA)은 레이저 빔이나 강한 자외선에 반응하는 광경화성 액상수지(Photo-curable resin)를 경화시켜 조형한다. ... 레이저 소결 적층 방식(SLS)은 레이저 빔으로 분말 상태의 소결제를 포함한 플라스틱, 유리, 모래 금속 등을 녹여 형상을 조형한다.(2) Graphene이란 무엇인가?

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.04.01

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  인하대 공업화학실험 패터닝 예비 보고서

  이온 충격에 의한 물리적식각으로는 이온빔 식각, 스퍼터 식각, 그리고 RF(radio frequency) 식각이 있다. ... 화학적식각으로는 플라즈마식각, 반응이온 식각, 반응 스퍼터식각, 반응 이온빔밀링 등이 있다.P-N 접합이란: p형 반도체와 n형 반도체 각각의 전도율에 비해, 서로가 맞닿는 위치에서 ... 실리콘 산화막(SiO2)을 입히는 증착 과정이 존재한다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.09.25

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  증착공정

  증착기법으로는 열증착법(thermal evaporation), 전자빔증발법(e-beam evaporation), 스퍼터링법(sputtering)으로 나눌 수 있다. ... 음전하를 가진 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된기체 상태를 말한다. ... 고체에 에너지를 가하면 액체, 기체로 되고 다시 이 기체 상태에 높은 에너지를 가하면 전자와 원자핵으로 분리되어 플라즈마 상태가 된다.

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.01.27

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  콘크리트 SEM&XRD

  ) 의 효율을 증가 전자선 및 열로부터 시료표면을 보호 팽창 및 축소 억제 15~40nm 두께로 코팅 금 금 + 팔라듐 백금 백금 + 팔라듐 코팅방법 진공 증착법 Ion sputter ... SEM 음극 (Electron Gun, Source ,Cathode, Filament) ▷ 전자 빔 발생 . 양극 (Anode) ▷ 빔 전자가속. ... 집광렌즈 (Condenser Lens) ▷ 빔 전자 집속 . 스캔코일 ▷ 빔 을 패턴상의 전후 방향조사.

  리포트 | 48페이지 | 5,000원 | 등록일 2018.04.27 | 수정일 2018.04.30

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  [인하대 A+ 실험보고서] 공업화학실험 패터닝 예비보고서

  이 공정에서 중요한 것은 짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도를 높이는 것으로, 초기에는 가시광선이나 자외선을 사용하였으나 최근에는 전자빔을 사용하여 보다 미세한 패턴을 만들고 있다.식각 ... 반도체 생산과정 중에는 증착공정, 산화공정, 식각공정 등 여러 단계에서 다양한 종류의 화학반응이 사용된다. ... 또한 웨이퍼 위에 분자나 원자 단위로 물질을 입혀 전기적인 특성를 갖게하는 공정이 증착 공정이다.⑥ 금속화과정(Metallization): 소자들이 외부에서의 전기적 에너지를 받아

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.03.05

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  연세대학교 신소재공학과 재료공학기초실험 SEM 주사전자현미경

  전자빔의 시편의 각 점에서 이차전자의 신호를 수집하여 정해진 크기의 pixel로 기록한다. sem은 전자빔을 발생 및 가속시키는 전자총(electron gun), 전자빔을 가늘게 모아주는 ... 주사전자현미경(SEM)은 광선 대신에 전자 빔을 사용하기 때문에 현미경의 내부는 진공상태여야 한다. ... 이는 전자빔과 상호작용(반발력)하여 이차전자의 발생이 불안정해지기 때문이다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.05.08

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  반도체의 원리, 종류 및 공정 과정

  PVD도 방법에 따라 열증착법, 전자빔증착법 그리고 높은 에너지를 가진 원자를 원하는 타깃원자에 충돌 시킨 후 방출된 타깃원자가 웨이퍼에 박막을 형성하는 방법인 스퍼터링(sputtering ... 회로와 실제 웨이퍼 위에 그려질 회로 패턴을 설계하고 설계된 회로 패턴을 전자빔으로 석영 유리판에 그려 마스크(MASK or Retice)를 만든다. ... 그런데 이 때, 공핍층의 폭이 좁으면 많은 양의 캐리어가 흐르지만 폭이 넓어지면 자유전자가 통행하는 길이 좁아져 흐르는 자유전자의 수가 감소한다.

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.12.01

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  플라즈마 응용

  등의 가공에 사용되는 것으로서, Ar또는 Ar+ 중의 직류 아크 방전을 이용한 플라즈마 젯, 고진공중의 고속도 전자빔을 수 마이크로까지 집중시켜 가공, 용접, 증착에 사용하는 전자빔 ... 정보를 얻는 장치이며 전자 빔의 가속에는 리플이 작은 안정한 직류전원이 요구된다. ... 전자 빔을 고체 표면에 입사시키고 고체로부터 방출되는 입자의 에너지나 질량 등을 측정하면 고체를 구성하는 원소의 종류나 깊이, 방향의 분포 등을 알 수 있다.

  리포트 | 4페이지 | 8,000원 | 등록일 2019.06.23

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  물리 증착법(PVD)에 대한 조사[정의 및 원리, 특성, 종류 등]

  PVD의 구분- PVD는 기체생성방법에 따라 열증착법, 스퍼터링법 및 전자빔증착법으로 나뉜다.4.1. ... 생성된 증발 입자들 중 일부는 증발원과 기판사이에 형성된 비활성 가스나 반응성 가스의 플라즈마 또는 전자빔에 의하여 이온화 상태가 된다. ... Hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 beam을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여 증착재료에 위치시키면 집중적인 전자의 충돌로 증착재료가 가열되어 증발한다.- 이렇게

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.01.06

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  반도체 제조 공정

  회로 설계를 통해 만들어진 패턴을 실제 1~5배로 확대하여 쿼치라고 불리는 유리판 위에 전자빔을 이용해 새기면 마스크가 완성된다.-쿼치 (석영유리) 란? ... 식각과정을 거쳐 만들어진 회로 패턴의 특정 부분에 이온형태의 불순물을 주입하여 전자소자의 영역을 만들어주고 가스관 화학반응을 통해 형성된 물질을 웨이퍼 표면에 증착함으로서 여러 가지 ... 박막증착공정반도체 소자들을 상호 연결시키고 그 표면을 증착하는 과정이다. 우선, 웨이퍼 전체면에 금속막을 형성하고, 그 막을 가공하여 소자간 배선패턴을 완성합니다.

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.01.27

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  메모리 반도체의 제조공정

  설계하는 공정③ 마스크 제작 : 설계된 전자회로를 전자빔 등의 설비를 이용하여 유리판에 옮기는 공정으로, 여기에서 제작된 마스크는 포토공정에서 웨이퍼에 회로를 형성할 때 사용하게 ... 확산, 포토, 식각, 증착, 이온주입, 연마 등의 세부공정으로 구성- (확산, diffusion) 고온(800~1200℃)의 전기로에서 웨이퍼에 불순물(dopant)* 을 확산시켜 ... 완성하기 위해 산·알칼리 용액 등을 이용한 습식방법 또는 반응성 가스를 이용한 건식방법으로 불필요한 부분을 선택적으로 제거해주는 공정* 마스크(mask): 회로패턴이 새겨진 유리판- (증착

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.06.30

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  CVD의 구조

  B.T CVD vs PVD CVD PVD 화학적 변화 변화 요인 물리적 변화 고온 (because 화학 반응 ) 온도 상온에서도 가능 MOCVD, HVPE 등 종류 스퍼터링 , 전자빔 ... 증착법 , 열 증착법 등CVD Chapter 2CVD CVD(Chemical Vapor Deposition) Chapter 2 PECVDChapter 2 PECVD PECVD(Plasma ... 초고온에서 전자 ( 음전하 ) 와 이온 ( 양전하 ) 으로 분리된 기체 상태 전하 분리도가 상당히 높다 전체적으로 음과 양의 전하수가 같아서 중성 Ionized GasChapter

  리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2017.06.05 | 수정일 2017.06.06

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  패터닝 예비보고서(학부 실험)

  회로와 실제 웨이퍼 위에 그려질 회로 패턴을 설계한다.5) 마스크 제작 : 설계된 회로 패턴을 전자 빔으로 석영 유리판 위에 그려 마스크를 만든다.[2단계] 웨이퍼 가공1) 산화 ... : 웨이퍼 표면에 형성된 각 회로에 알루미늄을 증착하여 배선을 연결시키는 공정이다. ... 간단히 말하면, 기체가 이온과 전자로 해리하고 있는 상태를 말하는 것이다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.06.17

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