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"Wafer Cleaning" 검색결과 21-40 / 275건

  • [신소재기초실험]Wafer Wet Etching on lab
    이는 웨이퍼(Wafer)의 입자 및 유기물을 제거하기 위함이다. ... 세정(Cleaning)반도체 포토리소그래피 과정은 PhotoResis(이하 PR)가 빛에 의해 고분자화 및 광분해가 발생하기 때문에 uv가 차단된 공간(Clean Room)에서 진행되어야 ... 식각 용액에 담그거나 뿌려서 식각하는 방법-식각 용액이 웨이퍼 표면으로 이동-포면에서 화학적 반응-산화막은 물과 잘 접촉되는 친수성-실리콘은 물이 잘 안붙는 척수성-wafer 표면에
    리포트 | 17페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.01.07
  • Microscale Patterning with Photolithography and Etching Processes_결과레포트
    먼저 웨이퍼Cleaning, pr doping, soft baking을 순서대로 진행하였다. Photoresist는 AZ1512를 사용하였다. ... 플라즈마는 전하를 띠고 있어 웨이퍼에 반대 전하를 걸어주면 인력이 작용하며 웨이퍼를 물리적으로 식각한다. 이때 PR이 있는 부분은 보호되고 PR이 없는 wafer를 식각한다. ... NA는 렌즈의 직경이 클수록, 렌즈와 웨이퍼 사이의 간격이 작을수록 커진다. 또한 DOF(Depth of Focus)는 wafer에 패턴의 상이 선명하게 맺히는 범위이다.
    리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.12.12
  • 학점A+받는 영남이공대학 전자계열 마이크로컴퓨터 [반도체 공정과정]
    Cleanning & CMP (세정/화학적 기계적 연마공정) : 세정공정은 반도체 제조공정 중 발생하는 각종 오염용도를 화학용액을 사용하여 방지, 제거하는 것으로서 반도체의 전기적, ... 이 후 웨이퍼보호를 위해 실리콘산화막 등의 절연막을 웨이퍼 전체면에 증착시키면 웨이퍼 가공이 완료됩니다.? ... Lithography(노광공정) : 설계한 회로 패턴을 웨이퍼로 옮기는 기술입니다. 웨이퍼 위에 감광액을 떨어뜨리고 고속으로 회전시켜 감광막을 도포합니다.
    리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.11.01 | 수정일 2020.11.02
  • 반도체 7개공정 요약본
    WAFER 제조 3 /181.2 웨이퍼 연마 Edge Rounding : 웨이퍼의 테두리를 부드럽게 하는 공정 Lapping : 웨이퍼를 전반적으로 평탄하게 만드는 공정 Etch : ... 돌아오는 속도를 비교해 두께 측정 Dry Cleaning - CMP, 산화 공정 이후 남은 잔류물을 세척하는 공정 산화 장비의 간단한 구조 2. ... WAFER 제조 5 /18산화 - 고온 (800~1200°C) 에서 산소와 수증기를 웨이퍼 표면에 뿌려 산화막 (SiO 2 ) 를 형성시키는 과정 - 도체와 부도체의 성격을 모두 가진
    리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.12.06
  • 외국계,대기업 합격 경력 기술서 , 이력서 입니다.
    -> 6inch wafer )4) Set up machine and Stabilization of mass productions.5) Flip Chip Bonding Process ... an issue when progress process step with recipe3) 2007.01~2007.06 6lnch New Fab line set up ( 5inch wafer ... Machine.② In LED&MEMS Line Set up New fab Line and Cleaning/Dry Etcher/Depo.
    자기소개서 | 6페이지 | 6,000원 | 등록일 2023.08.20
  • Photolithography 결과보고서
    실험 과정① 웨이퍼 표면의 입자 문제뿐만 아니라 유기물, 이온, 금속 불순물의 오염을 막기 위해 화학적으로 세척한다.② 웨이퍼에 PR을 도포한 후 Spin coating 과정을 진행한다 ... 광학 현미경을 이용한 패턴 모양 확인Mask의 패턴 모양 그대로 Si wafer에 패턴이 형성되었다. ... 기판에 남아있는 Developer 용액을 제거하기 위해 물이나 IPA 등을 이용하여 헹군다.- 실험 시 주의 사항① PR이 빛에 의해 고분자화 및 광분해 되기 때문에 UV가 차단된 Clean
    리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.12.15
  • 반도체 공정 관련 내용 정리 리포트
    구동부), human, waferRCA 세정Tre진행Chemical for Cleaning Process : 1) H2SO4 : 탈수 및 산화 작용 2) H2O2 : 산화제, W용해 ... 결정Pattern 형성 공정 : PHOTO, ETCH, CMP박막형성 공정 : CVD/PVD, DIFUSSION불순물 주입 공정 : ION implantation표면 세정 공정 : Cleaning금속 ... coolingPR coating : static(정지 상태에서 nozzle 분사 후 wafer 고속회전, past) -> dynamic(저속 회전하며 nozzle 분사 후 wafer
    리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.03.12
  • (특집) 포토공정 심화 정리13편. Immersion ARF, Top coat, ARC, OAI
    2) Top coat 사용의 단점- Coating / Cleaning 공정 증가 (각각 1회 → 2회)- Topcoat 제거용 세정제 : 고비용의 시너→ 장기적으로는 매질이 스며들지 ... - DUV PR : 높은 반사도 → Standing wave effect, Poor CD Uniformity, Poor DOF Margin- Wafer 위에 얇은 반사 방지막을 형성 ... - 굴절률이 서로 다른 계면에서의 재반사되는 반사광을 최소화→ Wafer에서의 난반사 감소, Photoresist의 광흡수율 증가→ Undercut / Footing 등의 형태 방지
    리포트 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16
  • 마이크로컴퓨터 레포트(5)
    : 설계한 회로의 패턴을 웨이퍼로 옮기는 과정- 식각 : 웨이퍼에 그려진 회로 패턴을 정밀하게 완성하는 공정- C&C( Clean & CMP ) : 웨이퍼를 세정하고 화학적, 기계적으로 ... 패키징 공정- 전공정1) Back Grind : 웨이퍼 원판에서 회로가 없는 뒷면을 갈아 얇게 만드는 과정2) Wafer Saw : 얇게 만든 웨이퍼를 개별 chip으로 분리하는 공정3 ... 웨이퍼 제작 완료- 제작이 완료된 웨이퍼는 패키징 공정으로 들어간다.6.
    리포트 | 8페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.05.16
  • 기판 (glass, silicon 등) 클리닝 공정 정리
    Piranha cleaningPiranha 세정은 세정용액으로 황산과 과산화수소를 이용하며(H2SO4:H2O2 = 4:1) 90~130℃ 용액에서 10~15분정도 기판을 세척하여 웨이퍼 ... 주제: 다양한 기판 클리닝 공정에 대한 조사1.Wet cleaning1-1) RCA cleaningRCA SC-1(Standard Clean-1, APM) 세정공정은 암모니아와 과산화수소 ... 세정용액은 낮은 Redox potential에 의해 표면의 금속물질을 완벽히 제거할 수 없고, 이러한 문제점을 해결하기위해 SC-2 세정 공정이 등장했다.RCA SC-2(Standard Clean
    리포트 | 1페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.10.07 | 수정일 2021.10.29
  • [고분자재료실험] ITO scribing & cleaning 결과레포트 (만점)
    웨이퍼는 각각의 오염물들을 효과적으로 제거하기 위한 여러 가지 세정 용액을 혼합하여 일괄 처리 공정으로 세정 된다. ... 참고문헌문두경, 고분자 재료실험 유인물https://present5.com/si-wafer-cleaning-hyeongtag-jeon-division-of-materials/ ... 실험배경Clean room 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 진행한다. 기판(Glass) 세정 공정은 모든 공정 전후에 반드시 행해져야 한다.
    리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.01.21
  • ASML 면접 대비 자료 - 반도체 포토리소그래피 공정 순서 및 photo 공정 파라미터 정리
    그리고 D.I water(De -ionized wafer)는 이온이 없는 깨끗한 물로 깨끗히 씻어낸 후 N2가스를 불어서 물기를 깨끗하게 제거한다 ... 이전 공정에서 남아있었던 이물질을 cleaning (Cleaning 대상으로는 solvent,물, 이전 공정의 식각 현상 잔여물, PR, 공기 중의 먼지, 박테리아 CMP 후 발생입자
    자기소개서 | 3페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.11.17
  • 고분자 공학 Photolithography
    Cleaning: 유기 또는 무기 오염물이 웨이퍼 표면상에 존재하는 경우 습식 화학 처리에 의해 제거된다. ... 촉매 역할빛을 받았을 시 Polymer 결합을 끊어준다.빛을 받았을 시 기존의 입자를 뭉쳐준다.3) Photolithography 과정a) Surface preparationi) Wafer ... 사용될 수 있다.ii) Dehydration Baking: Substrate 위의 수분이 기름 성분인 PR과의 접착을 방해하여 수분을 제거하는Baking 과정이 필요하다.iii) Wafer
    리포트 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.12.09
  • 반도체공정 중간정리
    구조는 다이아몬드 큐빅 (테트라하드릴 구조) 이다.· Wafer Cleaning포토공정을 하기전 웨이퍼는 화학적인 방법으로 깨끗하게 유지되어야만 한다. solvent를 제거하기 위한 ... Class 1은 입자가 0.5um이상이면 1ft^3, 5um이상이면 0.065ft^3 크기의 먼지만 허용된다.· Common Wafer Surface Orientations흔한 웨이퍼의 ... · Wafer SizeWafer가 커지면 장비도 커지고 칩의 개수도 몇 배씩 늘어남.
    리포트 | 8페이지 | 3,000원 | 등록일 2022.10.22 | 수정일 2024.04.30
  • 마이크로 렌즈 어레이 패브리케이션 (Microlens Array Fabrication) 보고서
    Cleaning정밀한 microlens 형상을 얻기 위해서는 silicon wafer 위에 불순물이 있어서는 안 된다. ... Photolithography & Reflow process를 이용한 Microlens array 제작1) PhotolithographyPhotolithography란, 반도체 웨이퍼 ... 공정 진행에 앞서 silicon wafer에 HMDS를 먼저 도포하여야 한다. HMDS는 wafer의 표면을 소수성으로 바꾸어주기 위하여 사용한다.
    리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.08.30 | 수정일 2022.08.23
  • LG,삼성,외국계대기업합격한 어마한 PT자기소개서, 경력기술서 입니다 . 이거 하나면 끝입니다. 잘 참고 하시면됩니다.
    제거 방법 개선 : Wafer scratch 감소 (3) 신규 공법 추가  Die sorter set up 양산 적용 4) Capacity 관련 (1) Al lift off 공정 ... Mask 전용 SRD 사용 (Mask 전용 carrier 개발)(2) Anodic Bonding 개선 ⓐ Graphite 사용 : 전기 전도도 개선 ⓑ Bonding dummy wafer ... Metal 두께 및 Chamber 별 Gap 및 Pressure 설정 (3) Spin Track Set up (Sub) PR Coating 및 Develop 조건 설정 (4) Si Wafer
    자기소개서 | 15페이지 | 6,000원 | 등록일 2020.03.22 | 수정일 2023.02.09
  • [물리화학실험] Fundamental substrate study & optical microscope 예비레포트
    SiO_2: doped Si wafer:Si^4+,Si^2+,SiO_2(Si wafer가 공기 중에서 산화되어자연 생성)2)표면처리표면처리(Surface Cleaning)은 표면에서 ... P(Phophorus, 인)-doped Si wafer: Si crystal wafer, Phosphorus? ... 모든 표면가공(Surface Treatment)의 이전 단계이며 보호막역학을 할 수 있는 작용기 층를 코팅(Surface Coating)하기 전에 시행될 수 있다.Surface Cleaning
    리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.10
  • [수업자료][반도체][반도체사전] 반도체 용어 영어 번역본입니다. 국내에서 하나밖에 없는 자료입니다.
    The unit is CRI.웨이퍼 [Wafer]반도체 집적회로를 만드는데 사용하는 주요 재료로, 주로 실리콘(규소, Si), 갈륨 아세나이드(GaAs) 등을 성장시켜 얻은 단결정 ... ]화학물질처리, 가스, 물리적 방법을 통해 웨이퍼 표면에 있는 불순물을 제거하는 공정.The process of removing impurities from the wafer surface ... 색을 표현할 수 있는 능력을 수치로 표현한 것.A numerical expression of the ability to express colors on a display.세정공정 [Cleaning
    리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.08.05
  • 캡스톤디자인1 Solarcell Project 최종발표
    Cleaning • HCL : 산화된 부분을 제거 • Organic cleaning: Aceton - IPA- DI water 1. ... Photolithography 를 하는 이유 1) 전극을 형성하기 위해서 2) 회로 패턴을 웨이퍼 위에 형성하는 과정 3-1-2. ... Spin coating Process 1) wafer 를 Vacuum chuck 에 고정 2) 준비된 wafer 위에 Negative PR 을 떨어뜨림 . 3) 점진적으로 rpm 증가
    리포트 | 37페이지 | 10,000원 | 등록일 2021.07.16
  • 2020년 하반기 삼성전자 파운더리사업부 직무분석파일 및 실제 기출면접 정리자료
    (Fabrication Building) : 반도체 산업은 장치산업- 반도체 chip을 생산하기 위해 wafer 단위로 공정을 진행할 수 있는 공간- Clean Room 안에 공정 ... 하는 Clean Room은 반도체 집적회로(IC) 제작 시설이다. ... 말 그대로 웨이퍼를 산화하는 다.
    자기소개서 | 13페이지 | 3,900원 | 등록일 2020.12.25
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2024년 07월 05일 금요일
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