"CVD종류" 검색결과 561-580 / 714건

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  [나노튜브] 탄소나노튜브(CNT)

  Carbone Nano Tube 의 줄임말로서 직경이 nm단위로 (1nm=10-9m)의 pore를 가지는 fiber의 한 종류로 볼 수 있다. ... 이 방법은 비교적 저온에서 탄소나노튜브를 합성 할 수 있는 장점이 있으며, 일반적으로 플라즈마 CVD에서 반응가스벙전에 사용하는 전원은 직류이며, 전원에 따라 플라즈마 CVD방법을 ... 분류할 수 있다.플라즈마 CVD장치플라즈마 CVD방법은 보통CNT를 합성하기 위한 기판을 접지시킨 하부전극위에 놓고, 반응가스는 상부전극에서 공급하는 형태로 열저항 히터를 하부전극

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.03.21

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  탄소나노튜브에관하여

  탄소나노튜브의 합성법에 따른 특허 건수에 있어서, 일본과 미국은 전기방전법이 주종을 이루고 있는 반면 한국은 기상합성법과 CVD법이 다수를 이루고 있다.합성법일본/ ... transport, Thermal transport, elastic behavior 등이 있으며 이 성질을 이용한 응용분야 및 연구가 활발히 진행되고 있다.(2) 탄소 나노 튜브의 형태와 종류-탄소나노튜브는

  리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.06.18

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  박막재료의 표면처리 및 PR제거

  확산 속도는 불순물의 종류와 분위기 상태 및 온도에 따라 달라지며, 확산되는 불순물의 양은 일반적으로 온도의 함수이다. ... 전자소자의 특성을 만들어줌.이러한 불순물주입은 공온의전기로속에서 불순물입자를 웨이퍼 내부로 확산시켜 주입하는 DIFFUSION(확산)공정에 의해서도 이루어짐.12.화학기상증착공정(CVD ... 그 조건은 첫째, 확산을 하기 위한 불순물의 농도차이가 충분해야 하며, 둘째는 불순물 원자의 이동이 쉽게 이루어지도록 하기위한 충분한 에너지가 있어야 한다.확산의 종류에는 증착확산과

  리포트 | 27페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.05.27

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  플라즈마와 RF

  얇은 게이트 산화막을 열화시킨다는 보고가 있어, 이에 대한 측정 방법으로 금속-안테나 구조를 이용, 전하축적에 의한 산화막의 파괴특성을 평가하는 것이 일반화되고 있다.②플라즈마 CVD얇은 ... 원자핵이 뒤섞여 존재한다.으며, 이에 따라 다양한 플라즈마의 생성 및 제어, 측정 기술, 플라즈마의 물성을 측정하는 플라즈마 진단법이 개발이 이루어질 것으로 전망된다.(4) 플라즈마의 종류저온 ... 압력을 100 Torr 부터 대기압(760 Torr) 이상 까지 유지하면서 저온 플라즈마를 발생하는 기술을 의미한다.특징대기압 플라즈마 시스템의 특징은 화학적 라디칼 생성에서 다른 종류의

  리포트 | 19페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.05.23

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  [공업화학 실험]박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

  (식각 장비의 종류와 원리를 중점적으로)①식각의 정의-여러 종류의 막이나 Si 기판의 일부 또는 전부를 제거하는 프로세스가 에칭이다. ... .-12단계 화학기상증착(CVD:Chemical Vapor Deposition)공정Gas간의 화학반응으로 형성된 입자들을 웨이퍼표면에 증착하여 절연막이나 전도성막을 형성시키는 공정이다 ... Filament Evaporation2) Flash Evaporation3) Electron-beam Evaporation4) Sputtering(4) 식각(etching)의 정의와 종류

  리포트 | 13페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.01.28

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  [화학공학]고강도 재료

  금속재료보다 비강도 비탄성이 극히 높은 재료.FRM (섬유강화금속) :금속 안에 매우 강한 섬유를 넣은 것으로, 금속과 같은 기계적 강 도를 가지면서도 가벼운 재료고상법: 저온, 고압下(CVD ... ..PAGE:1고강도 재료..PAGE:2목차1.고강도 재료의 원리2.고강도 재료의 역사3.고강도 재료의 종류 및 제조공정..PAGE:3고강도 재료의 원리◈고용강화: 원자반경이 다른 ... 착실하게 증가.항공, 우주 등의 특수 구조물등의 제작에 사용되므로써 1980년에는 강도가 2600MPa 에 이르고 급격히 고강도화가 이루어짐...PAGE:5..PAGE:6고강도 재료의 종류

  리포트 | 18페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.04.30

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  [물리]반도체 기초 , 결정격자

  농도에피택셜 성장에피택셜 성장(epitaxial growth) : 기판웨이퍼 위에 방향성을 가진 단결정 막을 기르는 기술 화학기상증착(chemical vapor deposition : CVD ... molecular beam epitaxy : MBE) 에피택셜 성장에서의 격자 구조 이종에피택시(heteroepitaxy) : 기판과 다른 에피택셜층을 성장 격자구조 및 격자상수 α가 두 종류의

  리포트 | 31페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.03.26

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  투석생활

  GFR3Estimating progressionMild ↓GFR2Diagnosis and treatment Treatment of comorbid conditions Slowing progression CVD ... Failure515~29Severe ↓GFR430~59Moderate↓GFR360~89Mild ↓GFR290Kidney damage with Normal or ↑GFR1신대체요법의 종류신대체요법투석신장이식혈액투석복막투석센터혈액투석가정혈액투석지속성

  리포트 | 25페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.02.11

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  PACVD

  magnetron 등)7) 오염물, 유독성 용액을 사용하지 않고 해로운 부산물을 만들지 않는다.8) 순수한 물질을 source로 쓰고 진공환경에서 사용함으로 고순도 증착이 가능하다.9) CVD법에 ... 그러므로 negative glow는 양쪽의 sheath사이에 해당하는 부분이다.negative glow에서는 세 종류의 전자가 존재한다.1) 일차전자 : cathode sheath에서 ... 실제 ion plating 방전실제로 ion-plating 작업에서는 아르곤 기체 외에 다른 종류도 함께 쓰이고 있는데, 이들의 영향에 대해 알아보자.4.1 금속종대부분의 금속 vapour에

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.04.04

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  플라즈마, glow방전, 진공증착법

  저온 플라즈마의 적용분야○ Dry etching : 플라즈마에 의해 활성화 된 라디칼, 전자 등을 이용하여 etching.○ CVD라 한다. ... 가공 대상 물질은 Si, SiOb>2또한 초고집적 회로의 제작에는 여러 종류의 박막이 쓰여지며 대표적으로 실리콘 질화막(Si3N4) 이 있다. ... 이러한 변환이 일어나는 두 전극간의 전위차를 breakdown potential(Vb)라 부르고 가스, 전극물질의 종류 및 전극간의 거리, 가스 밀도, 이온화 정도에 따 라 다르다.

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.04.04

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  [화학공학] [실험보고서]박막의표면처리 및 식각 보고서

  또 확산시키는 불순물의 종류에 따라 p형층·n형층을 자유롭게 이룰 수 있게 할 수 있어 널리 활용되고 있다.플레이너트랜지스터 제조의 경우에는 산화막(산화규소막)에 뚫은 구멍을 통해 ... , 실리콘막, 금속막을 형성(퇴적)시키는 막으로 CVD(Chemical Vapor Deposition :화학적 기상성장) 및 PVD(Physical Vapor Deposition : ... SiO2, PSG, BPSG Si3N4 등의 절연막, 폴리실리콘막 및 W 등의 금속막은 CVD법에, A1, TiN 등의 금속 또는 도전성 막은 PVD법인 스퍼터링(Sputtering

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2005.06.14

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  수동소자집적화및 기술동향

  RuO2나 IrO2와 같은 여러종류의 글라스 세라믹 페이스트를 소자로 만들때 유용한 방법으로 열처리 온도가 600~1200도의 고온이 요구된다. ... RF 플라즈마를 이용한 CVD 박막 제조방법과 MOCVD 방법은 SrTiO3.(Ba.Sr)TiO3와 같이 보다 높은 유전 상수를 갖는 커패시터를 제조하는데 많이 사용된다.

  리포트 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2007.10.09 | 수정일 2018.11.24

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  [재료공학] CVD, PVD에 관하여...

  부생성 가스의 HCL은 확산층내를 역할산해서 비가스가 된다.이때 반응온도는 피막의 종류에 따라 다르고, 반응압격도 수 Torr로 행하는 저압법과 대기 압으로 행하는 상암법 2종류가 ... 종류가 많지만 자 주 이용되는 반응의 예로는TiCl(g) + CH(g) = TiC(S) + 4HCl(g)2TiCl(g) + N(g) + H(g) = 2TiN(S) + 8HCl(g)이 ... 반응 용기안은 가스의 흐름이 균일하게 분포하도록 설계되고, 그 가열은 외열식과 내열식등 2종류가 있다.외열식은 반응용기의 외 측으로부터 노로 둘러싸고, 반응용기와 처리품의 양쪽을 가열해서

  리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2002.10.02

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  복합재료의 종류와 제조공정에 대하여

  나일론* 특징 나일론은 그 종류가 수천 가지에 이르나 합성섬유로 응용되는 것은 주로 나일론6.6 과 나일론6 두 종류이다. ... 텡스텐 섬유에 CVD를 함으로써 만들어지는 SiC 섬유도 있지만 고온성질은 탄소섬유를 원료섬유로 한 것이 SiC가 고온에서도 탄소와 반응하지 않기 때문에 우수하다. ... 종류로 장섬유와 단섬유(유리솜. 글라스울)가 있다. * 용도 강화된 플라스틱 복합재료로 된 화학탱크, 절연제, 중전기기, 선박설비.

  리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.01.07

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  진공

  이 때 반응온도는 피막의 종류에 따라 다르고, 반응압격도 수 Torr로 행하는 저압법과 대기 압으로 행하는 상암법 2종류가 있는데, 현 상태에서는 막의 조성, 막 두께의 균일성, 원료가 ... 따라서, CVD의 경질 ... 초경질피막을 코팅해서 공구, 금형 및 기계부 품의 수명을 연장시킬 목적으로 이용되고부터, 기계공업, 일렉트로닉스, 원자력, 광학 등의 광범위한 분야로 응용되고 있다.【 세라믹 코팅 법의 종류

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.03.30

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  레이저의 원리 및 이용분야

  용접 가공 이중금속간 용접 이종금속간 용접 가능 불가능 표면처리 조사, 처리별도 표면 조사와 동시에 열처리 Marking punching에 의한 비접촉, 무변형 원형변질 레이저 CVD ... 레이저의 원리 레이저의 특성 레이저의 종류 레이저의 이용 분야1916년 아인쉬타인에 의해 이론적 가능성 제시 1953~55년 미국과 소련에서 Microwave를 증폭시키는 MASER ... 개발 1960년 Hughes 항공사의 마이만에 의하여 최초로 루비레이저 발진에 성공 1961년 Bell Lab에서 He-Ne 레이저 개발 1963~67년 다양한 종류의 레이저 개발

  리포트 | 15페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.04.12

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  [반도체공학]LPE

  한번의 실험으로 여러종류의 metal을 기판 위에 성장 시킨다. 특징 완성된 기판을 자세히 보면 테라스 무늬가 나타난다. ... 때문에 예를 들어 시료 1.Al 2.In 3.Au 일 경우, 1번 시료를 성장시키고 난 후 2번으로 옮겨 가기 때문에 1번의 윗부분이 조금 깎여 나가기 때문에 나타나는 무늬인 것이다.CVD

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.04.14

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  [반도체]열CVD 와 플라즈마CVD

  또한 기상의 온도는 라디칼의 종류나 농도를 변화시키게 되어 막의 질에도 영향을 미친다. ... CVD의 정의와 분류CVD의 정의와 특징CVD는 Chemical Vapor Deposition의 약칭이며 기체원료로부터 화학반응을 거쳐 박막이나 입자 등의 고체재료를 합성하는 공정으로 ... p-CVD구조의 해석이 발전되어 있다.

  리포트 | 35페이지 | 4,000원 | 등록일 2003.01.10

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  No.26 진공 정보의 지식화

  W - CVD와 식각 공정에 관하여16. 배기 시간(Pumping down time)의 계산17. Stainless Steel Passivation18. ... 진공펌프진공펌프의 기능과 종류유회전 진공펌프 / 건식 진공펌프분자펌프 / 증기펌프 / 게터펌프게터 이온펌프 / 저온펌프3. ... 진공의 역사/ 진공의 단위 및 진공의 분류/ 진공에 사용되는 부호2.진공 관련 이론기체 법칙 / 전도 / 표면 물리학3.진공의 제작 : 진공펌프펌프의 성능에 관련된 용어진공 펌프의 종류

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.11.28

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  진공 기초 (진공 기술 및 펌프)

  (반도체,브라운관, 진공관 등)진공상태를 만들면⊙ 진공도금을 이용해서 여러 종류의 재료에 도금을 할 수 있다. ⊙ 과자봉지에 알루미늄 도금을 하면 빛을 차단해서 맛과 풍미를 보존한다 ... 가스, 소결, 소입, 소둔, 주조, 용해, 전자빔, 진공조 표면처리금속공학분광기, 복사기, 고온현미경, 렌즈증착광학공업전자관, TV브라운관, 반도체제조, LSI, 광IC, 증착, CVD

  리포트 | 19페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.08.25 | 수정일 2017.12.04

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