"마그네트론 스퍼터링" 검색결과 41-60 / 209건

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  카이스트(한국과학기술원) KAIST 반도체공학대학원 자기소개서 연구계획서

  스퍼터링 방법으로 증착한 ZnO/TiO2 이중층 박막과 공반응물의 효과 연구, 준 마이크로스트립 구조 기반 신축성 마이크로파 전송선 설계 및 제작 연구 등을 하고 싶습니다. ... 열화 특성 분석 및 예측식 모델링 연구, 직접 변조된 분산 피드백 레이저용 비선형 전자 분산 보상기를 갖춘 6Gb/s 트랜시버 연구, 전기화학발광소자의 특성에 관한 연구: RF 마그네트론

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.07.07

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  한양대학교 일반대학원 신소재공학부 학업계획서

  스퍼터링으로 제조된 Sn 치환 LiMn2O4 박막의 전기화학적 특성 연구, 고출력 Na 이온 배터리용 프러시안 블루/rGO 혼합 전도체 음극의 고체-고체 계면 전하 저장 연구 등을 ... Co3O4 나노입자로 구성된 거대다공성 미세구체로서 Zn-공기 배터리용 고효율 이중 기능 산소 전기촉매 관련 연구, 최근 진행된 Pt 기반 전기 촉매의 암모니아 산화 반응 연구, 고주파 마그네트론

  자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2023.05.09

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  중앙대학교 일반대학원 기계공학부 학업계획서

  스퍼터링 비정질 탄소 코팅의 미세 구조, 마찰 성능 및 생체 적합성에 대한 타겟 전력의 영향 연구, 대면적 로봇 촉각 감지를 위한 심층 신경망 기반 전기 임피던스 단층 촬영 감지 ... 표면에 대한 유효 슬립 길이 추정을 위한 일반 기준 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 Al Piston 단조 공정의 FE 해석에서 마찰 조건이 재료 흐름에 미치는 영향 연구, 마그네트론

  자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.03.07

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  한양대학교 일반대학원 화학과 학업계획서

  스퍼터링으로 제조된 산화동박막의 분광학적 및 형태학적 조사 연구, 70mol% MeCN(aq)에서 R2NH/R2NH2+에 의해 촉진되는 Aryl Phenylacetates의 제거 ... 이용한 미세다공성 유기 고분자의 광촉매 수소 생산 강화 연구, 다양한 응용 분야에서 잠재적으로 사용하기 위한 엽산 기능화 탄닌산 기반 금 양자점의 합성 연구, 다양한 산소 비율에서 마그네트론

  자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.02.29

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  한양대학교 일반대학원 반도체공학과 학업계획서

  스퍼터링으로 증착한 Mg-doped Zinc Tin Oxide막의 특성에 미치는 산소의 영향 연구, 다중 모드 기술을 통한 비고정 환경에서의 일회성 모방 연구, 의사 난수 논리 BIST를 ... 테스트 방식 연구, 흐르는 자화 플라즈마의 냉열 결합파 연구, 28nm FD SOI CMOS 공정을 사용한 140GHz 저잡음 증폭기 설계 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 rf 마그네트론

  자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.03.03

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  성균관대 신소재공학부 대학원 학업계획서

  제가 신소재 분야에서 관심이 있는 것은 반응성 이온 식각기를 이용한 O2/Cl2 가스 내 Ru 전극의 패터닝 연구, RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 SiO2에서 성장된 ZnO 박막의

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2022.10.06

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  [신소재공학실험]미세 조직 관찰 및 화상분석

  (일반적인 마그네트론 스퍼터링의 자기장은 부분적으로 혹은 전체적으로 자성 target에 의해 비껴지게 된다.)3. 실험 방법가. ... 더욱이 활동적인 배경가스를 사용하면, 반응성 이온빔 스퍼터링이 가능하다. 이 기술은 자성물질의 박막을 필요로 하는 용도에 매우 성공적이었다.

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2022.03.21

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  [신소재공학실험]박막 실험

  스퍼터링 방법은 다음과 같은 장, 단점이 있다.장점- 넓은 면적에서 균일한 박막두께 증착 가능- 박막 두께의 조절이 비교적 용이함- 진공증착에 비하여 보다 정확한 합금 성분 조절 가능단점 ... 실험 배경현재 magnetron sputter는 반도체, LCD 등을 포함하는 microelectronics 산업에서 박막 형성을 위한 주요 장비로 널리 쓰이고 있으며, 소자의 고집적화 ... 본 연구에서는 TFT-LCD용 color filter제조시 ITO 박막 형성을 위해 사용하는 magnetron sputter내부의 플라즈마 분포 및 ion kinetic energy에

  리포트 | 9페이지 | 3,600원 | 등록일 2022.08.28

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  신소재프로젝트3 광전자 A+ 예비레포트

  REPORTⅠ. 박막 태양전지(구조, 각 층의 역할)박막 태양 전지는 실리콘 웨이퍼 대신 값싼 유리, 플라스틱 또는 금속과 같은 기판 상에 하나 이상의 얇은 층 또는 광전지 물질의 박막 (thin film, TF)을 증착시킴으로써 만들어진 제 2 세대 태양 전지이다(셀..

  리포트 | 14페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.10.07

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  Transparent Display에 적용될 수 있는 다양한 기술 논문 정리(한글)

  RF 마그네트론 스퍼터링을 통해서 증착 된 비정질 반도체 ZTO를 채널 물질로 사용하고, 300℃ 에서 600 ℃ 사이의 포스트 증착 어닐링 온도에 따라, 5cm2V-1s-1와 50cm2V

  리포트 | 12페이지 | 3,900원 | 등록일 2021.11.08

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  DC Magnetron sputtering

  입사한 아르곤 가스의수에 hematic, illustrating the magnetic confinement and the resulting electron trajectories.magnetron ... DC Magnetron sputteringSputtering의 원리이온 스퍼터링은 에너지를 가진 입자에 의해 표면을 bomardment하여 이때의 운동량 교환으로 고체 표면 으로부터 ... 사용할 수 있는 장점이 있으며, 일반적으로 DC방법을 사용하나 비전도성 표적재료인 경우는 AC과정인 RF전위를 이용하여 스퍼터링 할 수 있다.

  리포트 | 12페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.12.24 | 수정일 2013.11.17

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  sputtering (스퍼터링)

  DC장치와 같이 보이나, bias 전압을 기판에 걸어줌으로써 접착성이 우수하고 치밀한 조직을 얻을 수 있는 장점이 있다.3) Magnetron sputteringTarget의 이온화를 ... 크게 sputtering과 evaporation으로 나눌 수 있다.스퍼터링 (sputtering)의 원리스퍼터링은 DC 또는 RF 전원이 두 전극 사이에 가해지면 음극에서 방출, 가속된 ... 이러한 Ar 이온의 물리적 충돌에 의해 타겟 물질이 증기 형태로 방출되며, 중성 상태의 타겟 증기는 마주보고 있는 웨이퍼 기판에 증착하게 되는 것이다.스퍼터링 방법은 다음과 같은 장

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.12.07

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  스퍼터링(Sputtering) 결과 레포트

  이 현상을 스퍼터링 현상이라 하며, 튕겨나간 원자들이 음극 반대편에 위치한 접 전달한다는 점이다.스퍼터링은 DC Magnetron, RF Magnetron, BIAS, Reactive ... 실험 목적RF - Magnetron Sputtering을 이용하여 500℃에서 ZnO 박막의 증착 및 분석2. ... 이것을 공업적으로 이용한 것이 스퍼터링이다.

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.05.18

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  투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

  Reactive sputtering에 적합③DC/RF 마그네트론 스퍼터링 장치기존 스퍼터링 방법에 자기장을 사용하면 마그네트론이라는 단어를 붙여 마그네트론 스퍼터링 방법의 특징을 띄게 ... 된다.마그네트론 스퍼터링 장치는 타깃 표면에서 Ar 양이온의 충돌로 발생한 2차 전자를 자기장을 이용하여 방전 공간 안에 가둬둠으로써 매우 효과적으로 플라즈마를 형성할 수 있어 1mtorr ... 정의2.2전공펌프의 종류2.3진공펌프의 원리3.진공 게이지3.1진공 게이지의 정의3.2진공 게이지의 종류 및 원리4.스퍼터링4.1스퍼터링의 정의4.2스퍼터링의 종류4.3스퍼터링의

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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  스퍼터링

  마그네트론 스퍼터링 (Magnetron Sputtering)마그네트론 스퍼터링 기술은 발생된 플라즈마(아르곤 등의 비활성가스)를 영구자석을 이용해 만든 자기장을 이용해서 수백볼트의 ... 직류 스퍼터링 (DC Sputtering)스퍼터링 방법은 스퍼터링 가스를 진공상태인 chamber에 주입하여 증착시키고자 하는 타겟물질과 충돌시켜 플라즈마를 생성시킨 후 이를 기판( ... 이때 RF 스퍼터링을 사용한다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.21

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  [고체 물리] 스퍼터링 결과 보고서

  Sputtering 실험1. 실험결과TargetCuSubstrate(name-orientation)SiliconChamber pressure(Torr)6.6 TIMES 10 ^{-3}Ar Flow(sccm)18Growth time(minute)402. 토의사항우리 실험..

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.07.30

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  [기초공학실험]Cu film의 전기적 특성 분석 실험

  열전도성이 좋지 않아 열충격에 약하다.- 제한된 증착 속도로 증착 ⇒ 금속 target을 반응성 증착으로 절연막 형성- 생성된 막이 target의 조성과 반드시 일치하지 않는다.③ magnetron ... 스퍼터링에 의해 튀어나간 원자(스퍼터원자)를 기판 위에 퇴적시켜 박막을 만들며 이를 스퍼터링법 또는 물리적 증착 방법이라고 한다.1) Sputtering의 원리sputtering은 ... 이와 같이 원자 또는 분자 레벨의 입자가 큰 에너지를 갖고 고체와 충돌할 때에 고체를 이루는 원자가 외부로 튀어나가는 현상을 스퍼터링 또는 스퍼터라 부른다.

  리포트 | 8페이지 | 3,200원 | 등록일 2019.09.02 | 수정일 2020.08.10

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  DLC코팅 레포트

  특히 마그네트론 스퍼터링에 관해서는 겉면의 자력을 내면 보다도 강력하게 한 언밸런스 마그네트론 스퍼터링 (UBMS) 이 DLC 성막용으로 많이 이용되고 있다 . ... 왜냐하면 통상의 마그네트론 스퍼터링과 비교하여 처리물에의 이온 조사 ( 照射 ) 효과가 크기 때문에 , 피막의 밀착성에 유리하기 때문이다 . ... 스퍼터링 또는 아크 증발법이 이용되고 있다 .

  리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.07.14

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  VLSI공정 5장 문제정리

  DC sputtering 이며 타겟으로 금속만 가능하다.RF sputtering은 13.56MHz의 RF power를 사용하여 자기 바이어스를 일으키므로 부도체 타겟도 가능하다.Magnetron ... 스퍼터링은? ... 스퍼터링된 원자들은 진공을 통하여 이동하여 웨이퍼 표면에 증착된다.E-beam 증착과 비교하여 스퍼터링의 장점은?

  리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2018.06.05 | 수정일 2020.05.03

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  박막증착

  -후자는 스퍼터링 하는 동안에 그 전기적 에너지를 일컫는다.(1)다이오드/마그네트론 스퍼터링초기의 다이오드 스퍼터링 소스는 plasma 최적화를 위해 전기장모양으로 만들어진 target을 ... (일반적인 마그네트론 스퍼터링의 자기장sma를 사용한다. 박막이 더 낮은 기판온도에서 만들어지므로 PECVD는 온도에 민감한 박막이나 기판용이 선호된다. ... 이러한 배열은 균형 잡힌(Balanced) 마그네트론으로 불리며 가장 일반적으로 사용된다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.06.05 | 수정일 2013.12.01

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