"Soft-lithography" 검색결과 41-60 / 115건

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  반도체 제조공정

  WaferSiO2Photo ResistIllumination lightMASKNegative photolithographyLithography 공정CoolingHMDS 도포P / R 도포Soft ... Q AOverview 반도체 제조공정 분류 Oxidation 공정 Lithography공정 Etching 공정 Ion Implantation공정 CVD공정 Metallization공정 ... Jung-Jae Lee반도체 제조공정Contents1. 반도체 제조공정2. 반도체장비Furnace Track장비 노광기 Etcher Implanter Sputter CMP3.

  리포트 | 19페이지 | 3,000원 | 등록일 2018.08.29 | 수정일 2018.09.04

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  마이크로니들 패치의 soft lithography적 접근

  나노생명공학 ReportRapidly-Dissolvable Microneedle Patches Via a Highly Scalable and Reproducible Soft Lithography ... 논문에서 사용한 PRINT process는 soft lithography의 ‘top-down’ 방법과 기존의 polymerization을 결합해, 크기, 모양, 화학적 구성을 조절할 ... 수 있으며 복원가능한 nano- 그리고 micro- 스케일을 제작하는 이 논문에서 제시한 고유한 방법이다.

  리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.01.03

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  생산공학 연세대 기말고사대비 자료 중요예상문제 및 답안 정리 [A+]

  E-beam 리소그래피마스크 없이 E-beam을 이용하여 몰드를 제작한다. Electro 느리다.3. ... : 빛에 반응하여 조직이 바뀌는 폴리머 + 감광제 + 감광제와 함께 점도를 조절하는 용매Negative PR은 현상과정에서 현상액에 의해 팽창되어 해상도가 낮아지는 단점이 있다.Soft ... Photo lithography로 몰드를 제작하는 과정을 도식화해서 설명하라.1. 일반적인 포토리소그래피포토리소그래피는 빛을 이용하여 돌판에 그림을 그린다는 의미이다.

  리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.06.30 | 수정일 2020.04.07

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  PLED소자제작 결과레포트

  Photo-lithography : 감광액을 Coating한 Substrate에 빛을 조사하여 원하는 Image를 형성하는 기술* Micro-lithography : 미세 Pattern형성을 ... 폴리메타크릴산 메틸, 나프트키논디아지드, 폴리브텐-1-슬폰 등이 있다. ... Photo resist를 Coating 한 후, 이 기판 위에 미리 Pattern이 형성된 Photo Mask를 진공으로 밀착시키거나(Contact printing), 가볍게 접합(Soft

  리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2016.07.15

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  패터닝 예비보고서(학부 실험)

  Experimental details(1) 산화막(SiO2)의 패터닝(patterning) - Lithography 공정(2) 패턴된 산화막의 표면 색깔과 패턴 모양 관찰 - 광학 ... 세정해야한다.2) 표면처리(HMDS) : 웨이퍼 표면을 화학 처리하여 감광액의 접착성을 증가시킨다.3) 감광액 코팅 : 감광액을 웨이퍼 표면에 마이크로 단위로 코팅하는 공정4) Soft ... 주로 진공 증착법이 많이 사용된다.(3) Lithography리소그래피는 돌 표면에 새긴 그림이라는 의미의 기술로서 전체적인 반도체 노광 공정 기술로 쓰이며 미세화의 아주 중요한 기술이다

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.06.17

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  ITO Pattering 공정 예비레포트

  Photo-lithography : 감광액을 Coating한 Substrate에 빛을 조사하여 원하는 Image를 형성하는 기술* Micro-lithography : 미세 Pattern형성을 ... Photo resist를 Coating 한 후, 이 기판 위에 미리 Pattern이 형성된 Photo Mask를 진공으로 밀착시키거나(Contact printing), 가볍게 접합(Soft ... Photo lithography에 사용하는 각 공정의 원리와 공정 시 주의점을 습득한다.3.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.07.15

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  재공실 - 은 나노 잉크 예비보고서

  Lithography 공정은 E-Beam Lithography, UV Lithography, Soft Nano Imprint Lithography, Photo Lithography, ... Soft Lithography 등으로 다양하게 나눠진다. ... 이러한 문제를 해결하기 위하여 Ethanol이나 n-propanol과 같은 다른 용매들을 첨가하여 점도를 낮추며 분산성을 유지하기 위한 노력들이 이루어지고 있다.3.

  리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.10.29

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  Soft Lithography

  Soft Lithography에는 프린팅 방식의 Microcontact Printing이 있으며, Molding 방식의 Transfer Printing, Near-Field Lithography ... Soft Lithography정합접촉의 효과를 높이고 간편한 공정을 지향하는 방식으로, 탄성 중합체(Elastomer) 재질의 PDMS 스탬프의 물리적 접촉을 이용하는 공정을 Soft ... Soft Lithography는 대면적 고분해능 패터닝 공정 시 유리한 경제적인 방법이라고 볼 수 있다.

  리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.02.21

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  Soft Lithography 와 그의 특징, 종류 및 장․단점,PDMS 물질의 장·단점

  Soft Lithography- Soft Lithography와 그의 특징, 종류 및 장?단점에 대하여 조사- PDMS 물질의 장? ... 단점에 대하여 조사- PDMS 물질을 대체하기 위해 개발되고 있는 여러 가지 물질에 대하여 조사- Nano imprint Lithography와 Soft Nano imprint Lithography에 ... Soft Lithography1) Soft Lithography란?

  리포트 | 9페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.02.21

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  홍익대학교 화학공학과 화공기초실험 MEMS 실험(예비보고서)

  / Soft lithography란? ... 가격이 저렴하고 생체 적합성이 있으며, 밀폐력이 좋아 마이크로플루이딕 시스템에 적합하열 하여서 용배 성분을 날리고 딱딱하게 굳어지는 원리를 말한다.○ Photo lithography ... : 나노미터에서 마이크로미터 크기의 미세한 구조를 제작할 수 있으며, Photolithography / soft lithography 기술을 이용하여 제작된 센서, 밸브, 기어, 반사경

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.10.10

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  7세대 노광기(Stepper) 설계 [정밀기계공학 레포트_논문형식]

  Soft Lithography와 Nano imprinting 방법은 인쇄기법과 비슷하게 접촉을 통하거나 molding을 이용하는 면에서 보다 기계공학적이라고 할 수 있다. ... , X-ray Lithography는 기존 공정에서 사용하는 UV light 파장보다 작은 파장을 이용하여 나노 패터닝을 구현하려는 시도이다. ... 따라서 향상된 나노패터닝 공정을 개발하기 위해 여러 가지 비전통적 나노리소그래피들이 연구되고 있다.Election Beam Lithography, Extreme UV Lithography

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2014.06.21 | 수정일 2017.05.14

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  Microlens array photography and reflow report(레포트/보고서) - 설계및생산공학2 (2014)

  이를 만들기 위해서 lithography 기법이 사용된다. 먼저, 마스크 기판에 PR(Photo resist)을 균일하게 도포한다. ... 이론과정 : Wafer Cleaning → Spin Coating → Soft bake → UV Exposure → Develop → ReflowMicrolens array master는 ... 이것은 beam-profiler를 이용하면 된다. Beam-profiler는 다음과 같이 생겼다.원리는 다음과 같다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.04.04

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  [재료공학실험]리쏘그래피 (lithography)

  Soft nano imprint lithography 기술의 장, 단점Soft lithography는 고분자 스탬프 표면에 있는 패턴 형상을 기판에 전사하는 모든 방법을 통칭하는 기술이다 ... 이러한 문제점들을 해결할 수 있는 방법으로는 상온저압 프린팅 공정기술인 UV나노임프린트 리소그래피(ultraviolet nanoimprint lithography, UV-NIL)를 ... 나노스탬프 제작기술은 UV-NIL의 핵심 요소 기술이라 말할 수 있다.soft nano imprint lithography 공정시 유의해야 할 점UV노출 후 경화된 레지스트와의 분리를

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.24

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  photolithography 공정 및 metal contact 조사

  중요한 단위 공정에는 다음과 같은 것이 있는데,광학처리공정 - Photo-lithography산화막 형성 공정 - Oxidation불순물 주입 공정 - Ion implantation불순물 ... 즉 photo-lithography 공정은 마스크 위의 무늬를 깨끗하게 정리된 wafer 위에 인쇄하는 공정이므로 마스크 위의 무늬가 아무런 크기의 변동 없이 실리콘 표면 위에 옮겨 ... 이 공정에서는 마스크에 있는 패턴을photo-lithography 공정을 이용하여 실리콘 wafer 위의 산화막 층으로 옮기는 작업이다.먼저 실리콘 wafer 표면 위에 얇은 산화막

  리포트 | 13페이지 | 4,000원 | 등록일 2015.06.12

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  Lithography Technology (반도체 리소그래피)

  이는 다시 세부적으로 Lighit Source에 따른 Optical과 Non-Optical Lithography로 구분되고 있다. ... 변화에 대한 민감도를 줄이게 된다.Soft bake 후에는 웨이퍼와 마스크를 정밀하게 정렬(align)하고 노광 공정을 진행한다. ... 웨이퍼 표면에 HMDS와 같은 gas분사를 통하여 Si-O-H 형태의 친수성인 웨이퍼 표면을 소수성으로 바꾸어 주어 웨이퍼와 감광제의 접착력을 향상시킨다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.06.18

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  (포토리소그래피) Manufacturing Processes - Photolithography

  ㎚) EPL: electron projection lithography IPL: ion projection lithographySouce: 1) International Technology ... 단결정 표면의 작은 결함이 있어도 회로선폭이 커서 소자 특성에 큰 영향을 미치지 않았으나, 선폭이 감소하면서 결함에 의한 특성 저하가 주요한 이슈로 부각되고 있다.2) 리소그래피 (Lithography ... 또한 최종 단계에 저속회전으로 감광제주변의 잔여물을 제거하게 된다.4) Soft bake감광제에 남아있는 유기 용매를 제거하기 위하여 낮은 온도에서 soft bake를 실시한다.

  리포트 | 16페이지 | 2,500원 | 등록일 2013.11.20

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  [발광디스플레이실험] Photolithography

  총 45sec가 걸리는 공정이다.이런 식으로 제조 된 박막을 Soft Bake(소프트 베이크)한다. 110도에서 13분간 처리하는 소프트 베이크는 PR을 기화 시켜 단단하게 만드는 ... type의 일반 PR이 아닌 film type의 dry film을 사용하기도 하며 이 경우 spin coating 대신 laminating 공정을 통해 PR을 coating 한다.2) Soft ... 부분이 잘 용해되지 않고 경화되는 resist를 negative resist라 하는데, negative lithography는 이 resist를 이용한다.

  리포트 | 8페이지 | 10,000원 | 등록일 2013.06.14

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  PHTO 공정 ( 포토공정)

  눈에 보이지 않는 미세한 배선을 실수없이 반복적으로 그리는 방법이 무엇일까.현존하는 최적의 방법이 바로 ‘Lithography'이다.Lithography는 라틴어의 Lithos(돌) ... 비교적 낮은 온도이기 때문에 SOFT BAKE 라고 하며, PR의 점성을 향상시켜 WAFER 표면과의 결합력을 증가시키고, 구조를 견고하게 한다.EXPOSURE(노광공정)EXPOSURE ... 설명COATING 공정(도포공정)COATING 공정은 말그대로 WAFER 위에 PR을 ‘코팅’시키는 공정이지만 다시 아래와 같이 세분화 할 수 있다.ADHESION → PR COATING → SOFT

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.05.21

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  PDMS 패턴 예비

  제목Benchtop Nanoscale Patterning Using Soft Lithography2. ... 목적Soft Lithography에 흔히 사용되는 PDMS를 이용하여 nanoscale master를 만들어 본다.3. ... thiol분자 등으로 패턴을 직접 그리는 Dip-pen lithography 등을 이용하여 그 크기를 획기적으로 줄이는데 그 목적이 있다.

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.19

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  Nanobio 기술의 현재와 미래

  그러나 이러한 Multilayer Soft Lithography 방법은 미세유체 칩을 연결하는 interfacing 문제에 있어서는 획기적인 방안을 제시했다고 할 수 있으나 아직까지 ... 연구그룹과 Fluidigm에 의해 상용화된 Multilayer Soft Lithography기술은 유체가 흐르는 채널과 공기가 흐르는 채널을 교차시킨 다층구조의 채널을 이용하여 병렬분석이 ... 바이오센서, 바이오칩, Lab-on-a-chip 분야에 대해 말했었다.

  리포트 | 18페이지 | 3,000원 | 등록일 2014.03.26

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