특히 dry etching의 경우 ion 가속만을 이용하는 IBE(ionbeam etching)나 sputtering과 같이 magnetron을 이용하는 sputtering etching이 ... 비선택적 etching이며, ion 가속에 반응성 gas(reactive gas)를 사용하는 RIE(reactive ion etching)는 선택적 etching이다. ... 이런 스텝퍼 투영(projection) 시스템의 이점은 웨이퍼 전반에 걸친 표면 평탄도의 미소 변화에 대처하기 위해 재초점화(re-focusing)와 재정렬화(realignment)
Thinning은 ion의 magnetic focusing에 의해 시편의 일부에 한정될 수 있으며 ionbeam내에 시료를 회전시켜 양면에 전반적인 thinnig을 만들 수도 있다.섬유 ... Ion-beam thinning은 금속, 광물, 다이아몬드, 탄소섬유 및 다른 응용에 사용된다. ... 또 Ion Collector 도 Ion 을 끌어당기고 Ion이 중성으로 될때는 전자를 버린다 .이 과정은 작은 `Ion Current' 를 만들어 다시 Ion Current 는 증폭된다