"Thermal evaporator 단" 검색결과 61-80 / 106건

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  [재료공학실험]thermal evaporation system

  패러대이의 이러한 시도는 1880년 후반 열 기화법(thermal evaporation)을 발명하는 기초가 되었다. ... 또한 기판의 선택이 증착된 박막의 성질인 표면상태, 박막과 기판의 상호 작용, 접착력 등에 영향을 미칠 수도 있다.유도열 증발 증착법 (inductive thermal evaporation ... 이온 전류가 기체 분자 밀도에 비례함을 이용하여 압력 측정. (10-3 ~10-10 까지 측정)Oil diffusion pump히터에서 오일증기가 상승하여 3단으로 이루어진 노즐로

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.03

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  박막증착

  evaporation(열증착), e-beam evaporation(e-beam 증착), sputtering, CVD(화학증착), MOCVD, MBE 등이 있다. ... 단, 기판표면이 어느정도 파괴되는 것을 각오해야만 한다.2.3 박막의 제조방법박막의 제조방법으로 화학적방법과 물리적방법으로 구분할 수 있는데, 먼저 CVD(화학기상증착법)는 가스상의 ... dielectric, insulator, polymer 등)을 수 십 ~ 수 천 A(1 A = 10-4 micron) 두께로 특정 기판 상에 올리는 일련의 과정을 지칭하며 이러한 방법으로는 thermal

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.06.27

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  OLED실험 예비레포트

  이때 승화된 시료는 상단에 있는 기판 위에 균일한 박막을 형성하게 된다.※ Thermal Evaporator System구조도ChamberRPFVDPRVMVVVLN☞ 소자 특성 조사 ... 박막층을 이용하여 양극으로부터 주입된 전공(hole)과 음극으로부터 주입된 전자가 결합하여 빛을 내는 차세대 디스플레이이다.ㆍOLED는 1963년 Pope에 의해 유기물인 안트라센 단결정에서 ... 실험 장치Evaporator, α-step, 광학현미경, IVL 측정 장비, ITO glass, Photoresist, Wet station, Mask aligner, 표면단차측정기

  리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.01.16

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  진공의 기초와 증착이론

  공간 내에 아무것도 존재하지 않는 완전진공(0)이란 불가능 하며, 실제적으로 일정한 공간에 기체의 압력이 대기압보다 낮을 때를 진공이라 부른다.진공의 특성- 압력의 단위진공도는 압력을 ... ) 스퍼터링 (Sputtering) 이온플래팅 (Ion Plating)화학증착의 종류 Pack cementation Thermal CVD 플라즈마 CVD{nameOfApplication ... Physical Vapor Deposition(PVD)이라고 부르는 물리증착 2) Chemical Vapor Deposition(CVD)이라고 부르는 화학증착물리증차의 종류 저항가열식 증착 (Evaporation

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.10

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  스퍼터링

  종류에는 Thermal and E-Beam Evaporation, DC-diode Sputtering, RF Sputtering, Trided Sputtering, Magnetron ... Target의 온도가 높으면 sputtering yield가 증가하는데 그 이유는 어느 정도 thermal evaporation이 기여하기 때문이다.⑤ 튀어나오는 원자들은 상당한 에너지 ... ① Sputter yield는 target 원소의 heat of evaporation에 의존하는데, heat of evaporation 이증가하면 sputtering yield는 감소한다

  리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.04.13

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  [공학]Thermal Evaporation법을 이용한 발광박막의 제조

  실험 목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다.1-2. ... CVD는 증착하고 싶은 필름을 gasgudxo로 웨이퍼 표면으로 이동시켜 gas의 반응으로 표면에 필름을 증착시키는 방법이다.Thermal Evaporation에는 저항열을 이용한 ... 유기 단분자를 사용한 유기발광박막의 제조에 있어서는 이들 방법 중 일반적으로 진공증착법이 널리 사용되고 있는데, 이는 기판에 손상을 주지 않으면서 고진공 하에서 순수한 박막을 얻을

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.22

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  공업화학실험 환원반응 예비보고서

  열전도도 검출기(Thermal Conduct Detector, TCD), 수소염이온화검출기(Flame Ionization Detector, FID), 전자포획형 검출기(Electron ... 단, 정온 가스크로마토그래프에서는 분리관오븐에 검출기를 장치한 것도 무방하지만 이때에는 다음 4.3.2의 조건에 만족해야 한다.- 검출기 오븐(Detector Oven) : 검출기오븐은 ... (5) Extraction(6) Drying : MgSO4사용(7) Filteration : Filter paper 사용(8) Evaporation(9) 무게측정과 수율 계산(10)

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.04.05

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  [반도체 박막]E-beam Evaporator

  Thermal ener효를 전달하여 metal evaporation을 하는 thermal evaporator는 Cr, Ti등 열전도율이 나쁜 metal의 mdckr에 문제가 있으나, ... 된다-공기 중의 활성 분자가 박막물질과 화합물을 형성한다-기화 혹은 증발을 위한 가열 장치나 증발 물질과 공기 분자가 반응하여 화합물을 형성하여 정상의 증발이 불가능하게 된다진공의 단위진공의 ... E-beam Evaporator의 용도 및 기능? E-beam Evaporator의 동작원리 및 구조? E-beam Evaporator의 적용분야?

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.26

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  pvd와 cvd

  ), 열증착법 (Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법 (PLD, Pulsed ... LOCOS에 사용되는 질화막, 게이트로 되는 단결정 Si막, 층간 절연막, 비활성으로 사용되는 산화막, PSG막의 실용화는 1970년대 후반 IC 양산화 시대에서 감압CVD를 실용화와 ... 구성요소를 이용한 실리콘의 이송에 의해 단결정막을 형성한 후 SiCl4, SiHCl3의 수소한원법에 의해 트랜지스터에 응용되어졌으며 열CVD의 본격적인 도입은 Si게이트 MOS 디바이스의

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.09.28

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  화공기사 필답형 핵심(요점)정리

  혼합물에서 기계적인 힘에 의하여 에너지가 전달되는 효과, 다성분계의 혼합시 기계적 구동력에 의한 에너지 이동현상- Soret effect(thermal-diffusion effect ... : 응축액이 적상이 되어 벽면을 미끄러져 내려오는 현상- 적상응축으로 촉진시키는 방법 3가지동관에 크롬도금을 한다벽면에 기름을 바른다증기 중에 소량의 유분을 함유시킨다.- 증발(Evaporation ... 단증류(=미분증류=회분단증류) : 액을 끓임으로써 발생시키는 증기를 액과 접촉하지 못하게 하면서 응축시키는 조작?

  시험자료 | 6페이지 | 3,100원 | 등록일 2011.05.27

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  pvd,cvd

  Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법 (PLD, Pulsed Laser Deposition ... PVD (Physical Vapor Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법 ( ... (a) 전자빔 증착식 (b) thermal evaporationCVD (Chemical Vapor Deposition)가열된 기판위에 불화물, 염화물, 브롬화무, 요오드화물, 수소화물

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.09

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  박막 증착과 4-point probe 의 이해

  (Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법 (PLD, Pulsed Laser ... 즉, 재료의 길이와 비례하고 , 단면적와 반비례한다는 뜻이 된다. 그럼 이 재료가 직각 기둥이고, 길이d 가 지면과 수평으로 누워 있는 변이라고 생각해보자. ... 실험이론PVD (Physical Vapor Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.07.09

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  기상증착법, 물리증착PVD와 화학증착CVD에 관하여

  ), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저 분자 빔 증착법(Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저 증착법(Pulsed Laser Deposition ... 이것들이 적당한 온도 영역에서 기판에 성막되어 박막 단결정을 이룬다.4.물리증착(PVD)과 화학증착(CVD) 비교-PVD와 CVD모두 반도체 공정이나 기타 산업에 많이 이용되는데 대개 ... -액체가 증기로 되어 수송되는 과정을 증착(Evaporation)이라 하고, 고체가 바로 증기가 되어 수송되는 것을 승화라 하며 이것이 박막이 되는 기본메카니즘이다.8박막의 두께-증발원과

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.12.25

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  화합물 반도체(Compound Semiconductor)

  CVD법에 있어서는 화학 반응을 일으키는 주된 에너지원으로 열 에너지가 많이 사용되는데 이런 경우를 열(thermal) CVD라고 한다. ... PVD법은 화학 반응을 수반하지 않는 증착기술로서 주로 금속 박막의 증착에 사용되며, 이에는 진공 증착(vacuum evaporation)법과 스퍼터링(sputtering)법 등이 ... 이러한 단위공정들은 대부분이 화학공학적인 원리와 밀접하게 관련되어 있고 이 외에도 반도체 칩 제조에 있어 기판으로 사용되는 단결정 웨이퍼(wafer)의 제조, 단결정의 원료인 고순도

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.29

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  DC 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용한 Cu 증착률의 스퍼터링 압력 및 Power 의존성 조사

  Target의 온도가 높으면 스퍼터율은 증가하는데 그 이유는 어느 정도 thermal evaporation이 기여하기 때문이다.⑤ 튀어나오는 원자들은 상당한 에너지(수십 eV)를 가지고 ... 단결정 target의 경우 이온들이 침투하기 유리한 결정면에 대해서는 스퍼터율은 감소한다.④ 스퍼터율은 아주 높은 경우를 제외하고는 target의 온도에 민감하지 않다. ... 의존하는데, heat of evaporation이 증가하면 스퍼터율은 감소한다.② 대부분의 금속에 있어서 문턱 에너지(threshold energy)가 존재한다.

  리포트 | 37페이지 | 6,000원 | 등록일 2008.01.16 | 수정일 2014.08.20

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  화학적 기상 증착법 (Chemical Vapor Deposition,CVD) (친절한 설명과 핵심적인 내용을 논문 형식으로 작성)

  그래서 요즘엔 전구체를 사용함에 있어서 CVD와 같은 화합물이 아닌 단원자 상태의 전구체를 사용해 박막을 형성하는 원차층 증착(Atomic Layer Deposition: ALD)법을 ... CVD 공정의 장점으로는 아래의 여섯 가지를 들 수 있다.1) 융점이 높아서 제조하기 어려운 재료를 융점보다 낮은 온도에서 용이하게 제조할 수 있다.2) evaporation과 sputtering과 ... CVD 공정에서 활용되는 화학반응의 에너지를 공급하는 방법에 따라서 Thermal CVD, plasma CVD, Photo CVD로 분류하기도 한다.

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.17

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  [반도체][ppt 자료] 박막 증착 방법

  열 증발 증착법 (thermal evaporation deposition) 유도열 증발 증착법 (inductive thermal evaporation deposition) 전자빔 증발 ... (단, 이상적인 코사인 방출시)물리 기상 증착법: 증발 증착법점 증발체미소 면적 증발체일정한 두께의 박막을 얻기 위해서는 구 모양의 웨이퍼 홀더를 사용해야 함.점 증발체일 경우 구의 ... 증착법 (electron-beam evaporation deposition)특성 증발 과정 시, 증발체는 보통 높은 진공 상태에서 열이 가해짐.

  리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.10.24

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  디스플래이공학실험-oled

  유기EL에서는 E beam보다 Thermal Evaporator가 보다 정밀하고 균일한 증착이 가능하다.*?. ... 이런 현상은 자연에서는 반딧불의 발광하는 원리와 비슷하다.OLED의 원리와 구조전원이 공급되면 유기물질인 단분자/저분자/고분자 박막에 음극에서는 전자(-)가 전자 수송층의 도움으로 ... 우리 시편에서 빛이 나지 않았던 이유는 처음에는 Evaporation이 너무 두껍게 되어서 전기가 통하지 않을 것이라고 생각했었으나 다른 조의 시편에서 빛이 들어오는 것으로 봐서는

  리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.03.28

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  [공학]MBE(Molecular Beam Epitaxy)

  )Materials ApplicationsMBE의 장단점초고진공을 사용하기 때문에 챔버내 잔류불순물의 부착이 매우적어 고순도의 박막을 얻을 수 있다증착속도가 대단히 느리기 때문에 단원자층 ... auxiliary Ti-sublimation and cryogenic pumps ◈ Liquid N2 cryopanels : additional pumping ⇒ prevent re-evaporation ... cracking cell를 이용하면 As2, P2 형태가 가능하여 결정 표면의 부착계수를 높일 수 있음MBE System◈ Substrate heater : deliver excellent thermal

  리포트 | 24페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.29

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  OLED 보조물질(저분자&고분자)

  evaporation.AlLiF (0.5nm)EmitterITOGlassThe structure of device2. ... motion principle of OLEDType of OLEDSmall molecular polymerComparisonComparison유기 EL 디스플레이고분자 ELD (PELD)단분자 ... inserting the LiF buffer layer at the cathode/organic interface, the 0.5 nm-thick LiF was deposited by thermal

  리포트 | 46페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.06.03

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