"SPUTTERING 종류" 검색결과 81-100 / 373건

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  실리콘 웨이퍼 표준 세정, Cr 증착, photolithography, Cr 식각 실험

  직류 3극 스퍼터링 장치의 개략도DC Sputtering의 특징을 요약 해 보면? 구조가 간단하며, 가장 표준적인 sputter 장치이다.? ... 이후 현상시키게 되면 패턴이 새겨지게 되고 barrier를 에칭하게 되면 원하는 패턴이 기판위에 새겨지게 되는 것이다.(2) PR의 종류간단하게 PR은 반응방식에 따라 두 가지 종류가 ... 종류 등을 우선 고려하고, 식각 방식, 가스 및 약품 등을 선택해야 한다.

  리포트 | 31페이지 | 2,000원 | 등록일 2016.04.26

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  무기합성 및 분석화학 실험 결과보고서(제올라이트)

  이 X-선은 원자의 종류 및 전자 궤도에 따라 다르므로 이를 이용하여 시편의 화학적 성분을 정성 혹은 정량분석을 할 수 있다.4. ... .- ICP-Sputtering의 특징ICP는 기존의 증착장치에 유도결합식 플라즈마(이하 ICP로 기술)를 추가로 발생시켜 증착막의 특성을 획기적으로 개선시키는 가장 최근에 개발된

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.11 | 수정일 2022.09.29

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  반도체 제조 공정의 종류와 기법 서술

  .● 반도체 공정에서 불순물 주입반도체는 불순물의 종류에 따라 n-type과 p-type 반도체 두 가지로 나눈다.반도체 기술에서 반도체 내에 임의의 불순물을 주입하여 type을 변화시키는 ... 이 후 베리어 메탈(barrier metal)로써 Ti막을 통한 접촉 저항을 감소시킬 목적으로 증착하고 TiN막을 PVD Sputter 방법을 이용하여 증착한다. ... 이용함으로 질소를 액체소스가 있는 용기로 주입 하여 액체소스를 버블링을 통하여 기체화의 경우 디씨 방식을 주로 사용하며, 알에프 방식은 주로 유전체 박막의 증착에 이용 된다.㉢ 스퍼터링(Sputtering

  리포트 | 17페이지 | 4,500원 | 등록일 2015.06.09

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  sputtering을 통한 metal deposition 및 I-V, C-V 측정

  과목명마이크로팹설계 및 실험실험제목Sputtering을 통한 Metal deposition 및 I-V, C-V 측정실험목적Si wafer에 알루미늄을 Sputtering을 하고 I-V ... I-V 측정값-측정된 I-V 그래프를 보고 Al과 Si wafer사이의 접합이 어떤 종류의 접합인지 알 수 있다.Ohmic contactShcottky contact측정된 그래프는 ... 서울대학교 플라즈마 표면 연구실 진공기술 강의자료'3.진공 증착 장비의 종류와 특징-스퍼터링'2. http://www.ee.byu.edu/cleanroom/ohmic-schottky.phtml3

  리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.04.21

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  FPCB 세미나

  휴대폰에 가장 많이 사용되는 다층 FPC는 대부분 Casting 방식에 의해 사용. ▶ Sputtering 제조 방식은 COF와 HDD Suspension에 주로 사용. ... 중대형 LCD의 경우 Sputtering 방식에 의해 생산된 동박 적층판을 사용. ▶ Lamination 제조 방식은 폭 넓게 사용되는 방식이 아니며 향후 응용분야 확대 필요.FPC ... 내굴곡성 및 내열성이 우수해야 한다.공 통 조 건FPC 소재의 종류FPC 소재의 종류FPC 원자재 공급형태참 고단 면ED - 1 OZ. 2 OZ.RA - 1/2 OZ. 1 OZ.양

  리포트 | 34페이지 | 3,000원 | 등록일 2014.01.14

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  [A+] LCD 디스플레이 개념, 특성, 분류, 형대, 구동방식 및 동작방식, 제조공정 방법 구조 분석

  액 정 디스플레이 (LCD ) 개념 , 특징 , 종류 구동방식 및 구조와 공정 방법 분석 [ 액정의 종류 이해 , LCD 소자의 이해 , TFT 의 구조와 공정 ]LCD 정의 , 개념 ... (Liquid crystal display ) LCD 종류 및 특성분석 3. ... LCD 종류 및 특성분석 – 스메틱 , 네마틱 , 콜레스테릭 (1) 스메틱 ( smectic ) (2) 네마틱 ( nematic ) (3) 콜레스테릭 ( cholesteric ) 4

  리포트 | 33페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.04.26

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  투명전극의 광학적 전기적 특성

  이번 실험에서는 두께가 다른 세 종류의 ITO전극을 사용하였는데 면 저항이 작을수록 전류가 잘 흐르고 전극의 두께가 두꺼운 것을 의미 한다. ... *glow discharge Sputtering - Sputtering은 glow discharge를 발생시키는 방법에 따라 DC와 RF Sputtering으로 분류하며 DC Sputtering에서는 ... 추가적으로 코팅기의 회전 속도와 용액의 두께 관계는 용액의 종류, 희석 비율 등에 따라 모두 다르기 때문에 적절한 코팅균일도를 가지기 위해서는 여러 가지 요소를 생각 해야 한다.

  리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.09.30

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  포토 레지스트 공정/ Photo regist 공정/감광액 코팅/TFT 공정/ 컬러필터 공정

  금속 - Sputtering, 화합물 - PECVD 기법 을 가장 많이 사용3. 세정 과정 : 증착 과정 후 다시 한번 세정 과정을 진행함 . 4. ... 컬러필터 는 제조에 사용되는 유기 필터의 종류에 따라 염료방식과 안료방식 이 있으며 , 제작 방식에 따라 염색법 , 분산법 , 전착법 , 인쇄법 등으로 분류된다 .1.

  리포트 | 15페이지 | 3,000원 | 등록일 2014.12.22 | 수정일 2015.05.15

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  [발광디스플레이 실험] Ni Sputtering을 통한 박막형성

  -성막속도가 여러 종류의 금속에 대해 거의 일정하다.-전류량과 박막두께가 거의 정비례하므로 조절이 쉽다.-RF sputtering에 비해 성막속도가 크다.-박막의 균일도가 크다. ... Sputtering: Sputtering 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. ... -생성된 막이 target의 조성과 반드시 일치하지 않는다.표 SEQ 표 \* ARABIC 2 RF Sputtering의 장점과 단점6.

  리포트 | 8페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.12.28

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  로이유리

  채광 효과 우수.(4) 로이 유리 종류1. ... (2) 로이 유리 개념(3) 로이 유리 특징(4) 로이 유리 종류(5) 로이 유리 적용(6) 과제를 마치며(1) 로이 유리란 ? ... 소프트 로이 유리 (Sputtering 로이 유리)① 정의유리의 표면에 적외선 반사율이 높은 은을 코팅한 유리.단순히 은만을 코팅하는 경우에는 가시광선 영역에서의 반사율이 높아지고

  리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.06.13 | 수정일 2017.03.09

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  [기계공학실험] 마이크로 표면 측정

  종류를 살펴보면 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔 증착 법(E-beam evaporation), 열 증착 법 (Thermal evaporation), 레이저 분자 빔 증착 법 ... 금속의 증기를 사용하는 증발(evaporation) 증착법과 물질에 물리적인 충격을 주는 방법인 Sputtering 증착 법으로 나뉠 수 있다. ... film100.782) substrate의 종류에 따른 adhesion energy의 그래프를 작성하시오.substrateAverage angleAl79.14Si95.91PDMS68.59nano

  리포트 | 10페이지 | 2,500원 | 등록일 2013.09.06

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  12DryEtching

  회로패턴을 형성시켜 주기 위해 화학물질(습식)이나 반응성 GAS(건식) 를 사용.Etching(식각)의종류Wet Etching 산(acid) 계열의 액상의 화학약품으로 웨이퍼 표면에 ... GAS를 공급해 반응을 일으켜서 증기압이 높은 물질 또는 휘발성 물질을 생성시킴으로써 식각하는 방법.Dry Etchingⅰ) Plasma Etching → chemical ⅱ) Sputter ... 감광막)등방성 에칭 : 모든 방향으로 에칭 되는 속도가 비슷하며 주로 습식에칭에서 나타 난다.이방성에칭 : 특정한 방향으로의 에칭속도가 빠 른 경우이며 주로 건식에칭에서 나 타난다.Sputter

  리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

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  ITO

  있는 신 재료는 주로 5종류이다. ... 현재 5 종류의 신 재료 모두 기존의 ITO를 능가하는 유연성과 굴곡성을 자랑한다.② 우수한 색감색감이 좋다는 것은 무색에 가깝다는 것을 의미한다. ... 종류의 금속에 대해 거의 일정하다. ③ 전류량과 박막두께가 거의 정비례 하므로 조절이 쉽다. ④ 박막의 균일도가 크다. ⑤ 높은 에너지의 공정이므로 밀착강도가 높다는 점을 들 수

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.11.05

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  deposition 방법

  기판을 증착재료 가까이 놓으면 용발된 재료가 기판에 날라와 균일하게 증착되는 것이다.박막 증착 방법의 종류- 화학 기상 증착법(CVD Chemical Vapor Deposition) ... Sputtering의 경우는 이온화된 원자(Ar)를 전기장에 의해 가속시켜 박막재료(source material)에 충돌시켜면, 이 충돌에 의해 박막재료의 원자들이 튀어 나온다. ... 이러한 Sputtering 현상을 이용하여 wafer 표면에 금속막, 절연막 등을 형성하게된다.박막증착은 특히 반도체산업에서 핵심적인 분야인데 그동안 이온 빔(ion-beam), 전자

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.06.05 | 수정일 2013.12.01

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  magnetron sputter를 이용한 박막 형성 실험레포트

  전자 온도는 약 104~105˚K이지만 기체 온도 Tg는 실내 온도 정도로 낮아 저온 플라즈마라고 부른다.② 플라즈마의 종류전기적 특성전체적으로는 중성이지만 1/만개~백만 개의 이온과 ... 그 외에도 렌즈나 안경테 등의 코팅에도 진 공을 이용하고 있으며, 지금도 새로운 산업이나 작업에 진공을 이용한 실험들이 계속되 고 있다.3> Sputter이란? ... ① Sputter : 물리 기상증착법은 원하는 박막 물질의 기판이나 덩어리에 에너지를 가하 여 운동에너지를 가지는 해당 물질이 물리적으로 분리되어 다른 기판에 쌓 이게 함으로 박막층이

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.08.18

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  현미경 관찰법 (OM, SEM, TEM)

  현미경의 종류광학현미경의 관찰준비광학현미경으로 미세조직을 관찰하기 위한 시료는 다음 예시처럼 제작할 수 있다.1) 마운팅- 에폭시 레진과 경화액을 무게비로 25:3 로 혼합하여 실시 ... 이 때의 시편은 mass 형태의 시편이다.코팅재료특징Au(1) Sputtering 방법에 표준으로 사용 (2) 코팅 용이 (3)전자빔 조건안정80Au-20Pd(1) Au의 장점을 모두

  리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2016.04.21

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  신소재공학실험 집적회로실험보고서 반도체 집적회로 IC

  실험일시 : Cleaning & Sputtering Process - 2012년 11월 19일Photo & Etching process - 2012년 12월 4일5. ... 현상액현상액의 종류는 PR종류에 따라 다음과 같이 나뉜다.negative PRXylene , Standard Solventpositive PRNaOH, Tetramethyl, ammonium ... (실험종료 13시 34분)-식각 공정⑤ Sputtering이 완료된 유리 기판을 spincoater에 넣고 가운데부터 감싸도록 스포이드로 PR액(AZ1512)을 골고루 떨어뜨려 덮어준다

  리포트 | 37페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.06.29

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  LCD의 구조, 원리 및 응용분야, 향후 연구개발방향

  반도체막으로는 활성층을 이루는 비정질 실리콘(a-Si:H)과 접촉 저항층을 이루는 도핑된 비정질 실리콘막(n+ a-Si:H)이 있다.Sputtering 공정(증착공정)Sputtering은 ... LCD 31.1 서론 31.2 액정(Liquid Crystal)의 발견 및 역사 31.3 액정의 종류 및 특징1.4 응용되는 액정의 주요 물성 62. ... 대표적인 디스플레이의 종류로는 LCD(Liquid Crystal Display), LED(Light Emitting Diode), FED(Field Emission Display)

  리포트 | 24페이지 | 5,000원 | 등록일 2013.06.19

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  CVD, PVD, ALD의 비교와 UV-visible기기의 설명 및 원리

  (Sputtering PVD, Source의 직선 이동)접착력이 약하다. ... (종류마다 다름)재료의 선택이 다양하여 금속, 절연체 등에서도 할 수 있다. ... 바닥 상태에 있는 원자나 분자는 그 종류에 따라 특정 파장의 자외선 및 가시선을 흡수하여 전자 전이를 일으키면서 흡수 스펙트럼을 나타낸다.3.

  리포트 | 39페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.05.02 | 수정일 2016.06.14

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  [실험레포트] ICP, AAS

  또 고체 시료를 흑연 도가니 중에 넣어서 증발시키거나 음극 스퍼터(Sputtering)에 의하여 원자와 시키는 방법도 있다. ... 또 분석방법의 발달로 분석가능한 원소가 금속뿐만 아니라 B, P 등과 같은 비금속 원소에 이르기까지 약 70여 종류의 원소로 확대되었다. ... 주요 측정원소에 따라서 불꽃을 만들기 위한 조연성 가스와 가연성 가스의 조합, 불꽃의 온도, 특징은 과 같다.어떠한 종류의 불꽃이라도 가연성 가스와 조연성 가스구된다.

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.12.05

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