이학학사 학위청구 논문CNT(탄소나노튜브) 특성 및 이를 이용한FED(Field Emission Display)설계 기술2004 년 10 월인하대학교 이과대학물리학과박 주 철차 례Ⅰ ... laser는 연속적인 파장의 모드가 가능하므로, 같은 시간에 가장 많은 튜브를 만들 수 있다.1-3-3 화학 기상 증착법(chemical vapor deposition)화학 기상 증착법(CVD
이런 노력으로 말미암아 4학년 때는 졸업실험논문의 리더로써 PLASAMA PROCESS에 관한 x개월간의 실험을 맡아서 진행하기도 했으며 당시 제가 실험을 통해 얻은 지식과 경험을 ... SET-UP에도 참여할 수 있었습니다( 작년 하반기에는 PVD(PHYSICAL VAPORIZED DEPOSITION)방식만 고집해 오던 저희 부서에서 양산라인 SRAM제품에 최초로 CVD
학사학위논문HF-CVD法에 의한 카본나노튜브(CNT) 의 증착 및 특성 연구Properties and Deposition of Carbon Nano-Tube(CNT)by Hot-Filament ... 플라즈마 화학기상증착법(PE-CVD)142-4-2. Hot Filament 화학기상증착법(HF-CVD)152-4-3. 수소원자의 역할162-5. ... CVD목 차목차IList of figuresⅡList of TablesⅢ1.
본 논문에서는 이에 착안하여 흡착원자 즉 원자증착에 대한 기술의 동향을 살펴본다. ... 이는 기존의 CVD증착 방법으로는 해결할 수 없을 기술을 대체하게 될 것이고 메모리나 로직 소자를 생산하는데 가장 중요한 기술이 될 것이다. ... 이에 대해 PVD, CVD방법의 장점을 최대한 이용한 원자 층 증착기술(ALD : Atomic Layer Deposition)이 개발되었다.(2)◎본론1.