"러핑 펌프" 검색결과 1-20 / 34건

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  Thermal Evaporator 장비 Manual

  러핑 밸브를 잠그고 포라인 밸브를 열고 챔버 내의 공기가 디퓨전 펌프로 갈 수 있도록 해주는 메인 밸브를 열어줌9. 진공도 확인이온 게이지 장비를 이용해 측정10. ... 디퓨전 펌프가 예열이 되는 동안 포라인 밸브를 열고 로터리 펌프를 켜놓음디퓨전 펌프가 예열이 되면 디퓨전 전원 ON3. ... 포라인 밸브를 잠금 → 러핑 밸브를 열어 챔버를 저진공 상태로 만듦(1/10 ~ 1/100 Torr까지)8.

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.07.09

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  [레포트] 진공공학, Vacuum pump

  진공공학, Vacuum pump일반적으로 초기 진공을 형성하기 위해서는 러핑 펌프가 사용되며, 러핑 펌프는 저진공 영역에서 배기 역할을 완료하게 된다. ... 일반적인 러핑 펌프와 비교하여 배기속도가 높고 기계적인 펌프가 아니기 때문에 소음이나 진동이 없으며, 안정적이라는 장점을 가진다. ... (turbo molecular pump) 및 크라이오 펌프(cryo pump)가 있다.오일 확산 펌프오일 확산 펌프(oil diffusion pump)는 오일 중기를 기체 중에 분사시켜

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.08.22

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  4과목 건설시공학 (2016~2022년 기출문제에 나온 것은 밑줄)

  변방향 - 주간대▶ 러핑 크레인상하기복형으로 협소한 공간에서 작업이 용이하고, 장애물이 있을 때 효과적인 장비로서 초고층건축물 공사에 많이 사용▶ 철골 세우기용 기계 가이데릭(Guy ... 웰포인트 공법 (well point method) : 사질지반, 펌프를 통해 가제로 지하수를 뽑아내는 공법사질지반에서 효과가 좋다.지하수위를 낮추는 공법1~3m의 간격으로 파이프를

  시험자료 | 20페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.04.09

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  [반도체 공정 및 실습]Cryo pump

  위해 러핑 펌프를 사용함으로써 짧은 러핑 시간을 제공하고 진공 용기로 이동하는 러핑 펌프 오일의 역류 확률을 줄인다. ... 이것은 오일이 없는 기계적 진공 펌프를 사용하여 펌프 밖으로 러핑한다. 펌프 표면이 차가워지면 칠다운을 가동하고 러핑 펌프의 밸브를 꺼준다. ... Cryo pump가. 크라이오 펌프기체를 아주 차갑게 하여 펌프 내에서 얼거나 붙잡혀 있도록 배기하는 펌프이다.

  리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.09.01 | 수정일 2020.08.10

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  현대물리실험-Thermal Evaporation (열 진공증착) 결과레포트

  이 과정을 러핑(roughing)한다고도 표현한다. ... 실험장치는 챔버, rotary pump, diffusion pump, RV(roughing valve), MV(main valve), FV(foreline valve)로 이루어져 있다 ... 각 밸브를 적절한 시점에서 조작함으로써 진공을 만들어 주는 것이다.Main valve(MV)챔버와 2차펌프를 연결Foreline valve(FV)1차펌프와 2차펌프를 연결Roughing

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2018.05.30 | 수정일 2022.06.01

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  반도체 공정 실험

  (Chamber와 연결된 곳은 러핑밸브, 고진공펌프, 메인밸브이다. 메인벨브와 러핑밸브가 닫혀 있게 되면 Pumping System에서 Chamber는 격리된 상태가 된다.)? ... Chamber내 저진공을 만들기 위해 제일 처음 열어야할 밸브는 러핑 밸브이다.? 터보 펌프는 메인 밸브를 열어야 Pumping을 하게 되어 있다. ... (러핑밸브가 열린 채로 고진공 펌프가 작동하게 된다면 기압이 달라 역류하게 될 것이다.)따라서 러핑밸브를 닫고 고진공 펌프를 가동시킨다.?

  리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.12.04 | 수정일 2020.12.31

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  cu를 이용한 박막 증착 실험보고서

  터보 펌프도 오일확산 펌프와 마찬가지로 로터리 등의 1차 펌프로 러핑이 이루어진 이후 2차 펌프로 사용되는데, 2차 펌프들은 각각의 사용 진공도가 정해져 있으므로 1차 펌프로 필요한 ... 이때, 가능한 터보를 최대 회전속도로 가동시켜 놓은 뒤 1차펌프 배기후 밸브를 열어 터보와 연결을 시키는데, 1차 펌프로 충분히 낮은 진공이 이루어지지 않은 상태에서 터보 펌프 쪽 ... 결국 압축비가 높다는 의미는 퍼져있는 기체들을 빠른시간내에 펌프로 모아 배기구 쪽으로 이동시킬 수 있다는 의미로, 펌프의 배기능력을 나타내기도 한다.

  리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.06.20

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  진공펌프 조사

  로터리 등의 1차 펌프로 러핑이 이루어진 이후 2차 펌프로 사용되는데, 2차 펌프들은 각각의 사용 진공도가 정해져 있으므로 1차 펌프로 필요한 진공도 까지 먼저 배기를 해야합니다. ... 무엇보다도 이들 로터리 펌프가 중요한 이유는 이것이 가장 기본적인 펌프이기 때문이고, 많은 진공장치에서 로터리 펌프를 대부분 1차 펌프(rough pump)로 사용하여 초기 배기를 ... .1)Screw type vacuum pump산업용으로 개발되어 반도체용으로 쓰게이 되며 액체 성분이 펌프 내부로 유입되는 경우에 유용하지만 1단으로 구성된 시스템이기에 많은 에너지를

  리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.12.03

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  녹색 OLED 소자 제작 실험 제안

  이때 , 러핑 펌프로부터 크라이오 펌프로 역류가 발생하지 않도록 주의하여야 한다. ... 느려져 크라이오 펌프 내에 있는 다공질 활성탄에 가두게 되어 압력이 낮아지는 원리이다.사용법① 러핑 펌프를 이용하여 크라이오 펌프의 내부를 배기한다. ... 러핑 밸브를 차단하고, 고진공 밸브를 열어 고진공 영역으로 배기한다.크라이오 펌프는 기체분자들을 포획하는 펌프이기 때문에 반드시 일정한 시간이 지나게 되면 배기속도가 떨어지게 된다

  리포트 | 14페이지 | 4,000원 | 등록일 2012.06.03

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  녹색 OLED 소자 제작 실험 결과 보고서

  로타리 펌프, 러핑밸브를 열어 저 진공 분위기 형성한다. (torr 이하가 될 때까지 형성하였음)러핑 밸브를 닫고 및 게이트밸브를 연 후 로타리 펌프는 끈다. ... (torr 이하가 될 때까지 형성하였음) 러핑밸브를 닫고 및 게이트 밸브를 연 후 로타리펌프를 끈다. 이 때 크라이오 펌프는 작동 하여 챔버를 진공 상태로 유지시킨다. ... 증착한 기판을 꺼내고 Balance V2를 닫은 후 Main Door2를 닫는다.기판을 메탈 챔버에 장착한다.메탈 챔버 내부기판을 놓는 쉐도우 마스크 부분로타리 펌프, 러핑밸브를 열어

  리포트 | 11페이지 | 4,100원 | 등록일 2012.06.03

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  각종 진공 pump 원리 및 사용 방법

  진공 pump의 분류1) positive displacement 펌프 : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리펌프(rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular ... 진공 pump의 원리1) positive displacement 펌프① 로터리 펌프(Rotary vane pump) 로터리 펌프는 정지자(stator), 회전자(rotator)그리고 ... 퍼라인 밸브를 닫고 러핑밸브를 연다.4) 시스템이 아무런 이상이 없으면 러핑밸브를 잠그고 질소를 주입-퍼징시킨다.5) 디퓨전 펌프는 전원을 빼도 잔류열은 20분이상 보유하고 있으므로

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.06.03

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  각종 진공 펌프 원리 사용방법 sputter

  필요하면 러핑을 다시하라. 포라인 밸브를 닫고, 러핑 밸브를 열고, 크로스 오버 압력에 도달할 때까지 배기하라. ... 켜라③ 러핑 밸브를 열고 진공 용기를 50mtorr 압력까지 배기하라 (TC1 측정하라)④ 러핑 밸브를라 꺼⑤ 포라인 밸브를 열어라. ... 펌프 (venturi pump)송풍기/부스터 펌프 (blower/booster pump)High pump1x10^-3 ~ 1x10^-8 torr오일 확산 펌프(oil diffusion

  리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03

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  반도체공정 레포트 최종

  페닝게이지를 끈다.③ 디퓨전 펌프의 메인 밸브를 닫고, 전원을 빼고, 러핑밸브를 연다.④ 시스템이 아무 이상 없으면 러핑밸브를 잠그고, 질소를 주입시킨다.⑤ 퍼라인 밸브 러핑밸브가 ... *디퓨전 펌프의 경우 준비시간 20분 필요.③ 러핑밸브( R/V)를 열고, 게이지가 mTorr 영역으로 떨어지면 고진공으로 갈 준비를 한다.④ 러핑밸브를 잠그고 Foreline 밸브 ... 디퓨전 펌프의 전원을 넣는다.

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.01.25

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  Leak 탐지 방법과 잔류 Gas 분석 방법 발표

  독성이 없으며 폭발하기 쉬운 물질이 아님헬륨 리크 탐지기 시스템 표준 시스템 성분 확산 펌프 시스템과 비슷하나 두 개의 기계식 펌프를 가지고 있다는 것이 차이 첫 번째 펌프 : 러핑 ... 진공상태를 유지 콜드 트랩은 수증기와 오일과 같은 응축된 기체를 트랩 또 하나의 러핑 펌프는 확산 펌프의 동작을 분산시키지 않도록 테스트 포트를 적당한 압력 레벨까지 진공으로 만들어 ... 펌프로 사용하고 리크 탐지기의 테스트 포트에 연결 두 번째 펌프 : 포 펌프나 백킹 펌프로 사용 분석기 튜브도 사용표준 시스템 성분 원리 확산펌프와 기계식 펌프의 조합은 분석기의

  리포트 | 24페이지 | 4,000원 | 등록일 2012.06.03

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  선체의 장 ppt파일

  크레인은 유압펌프와 붐을 올리거나 내리는러핑윈치, 붐을 회전시키는 슬루잉 윈치 및 카고를 감아올리는 호이스팅으로 구성되어 있음. ... 크레인은 일반적으로 전동유압식이 많이 이용되며 전동기를 이용하여 1대의 유압펌프를 운전하여 호이스팅 윈치, 러핑 윈치 및 슬루잉 윈치를 작동시킬 수 있기 때문에 경제적임. ... ♧크레인 하역설비♧하역용 펌프원유를 비롯한 액체 화물의 하역은 펌프에 의해 이루어짐. 보통 적화는 육상의 펌프를 이용하고, 양화는 선박의 펌프를 사용함.

  리포트 | 56페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.05.22

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  선박의장

  크레인은 유압펌프와 붐을 올리거나 내리는러핑윈치, 붐을 회전시키는 슬루잉 윈치 및 카고를 감아올리는 호이스팅으로 구성되어 있음. ... 크레인은 일반적으로 전동유압식이 많이 이용되며 전동기를 이용하여 1대의 유압펌프를 운전하여 호이스팅 윈치, 러핑 윈치 및 슬루잉 윈치를 작동시킬 수 있기 때문에 경제적임. ... ♧크레인 하역설비♧하역용 펌프원유를 비롯한 액체 화물의 하역은 펌프에 의해 이루어짐. 보통 적화는 육상의 펌프를 이용하고, 양화는 선박의 펌프를 사용함.

  리포트 | 54페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.09.29

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  Vacuum pump(진공펌프) 와 gauge

  ◎진공 펌프 (Vacuum pump)1. 진공이란?물질이 전혀 존재하지 않는 공간. ... 로터리 베인 펌프(Rotary pump)일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공 펌프로, 기본 원리는 밑의 그림과 같다. ... 만일 공정 압력과 시스템이 요구하는 기본 압력이 둘다 러프진공 범위에 있다면 하나의 러핑펌프로 충분하다.

  리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.03.23

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  진공증착

  이들은 고진공 펌프의 포펌프뿐만 아니라 러핑펌프로도 사용될 수 있다.오일 회전 펌프(Rotary Vane, Oil-Sealed Mechanical Pump)그림 3. ... 이 펌프는 피스톤 회전 펌프보다 더 낮은 러핑압력을 더 얻는데 쓰인다. 펌프 모듈은 오일 통 내에 잠겨있다. 이 오일은 오염물질을 제거하기 위해 정제되어져야 한다. ... 오일 회전 펌프의 단면도오일 회전 펌프는 기체를 대기압보다 약간 높은 지점까지 압축함으로써 기체를 밖으로 방출시킨다.

  리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.02

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  건축시공 - 가설공사

  ( 고압 ) BP4000HDR 180/150 CON’C PUMP ( 고압 ) BP4000HDR 180/150 CON’C PUMP ( 고압 ) BP4000HDR 180/150 CON ... 설치함전력 공급배치도 S/S S/S A 동 D 동 C 동 B 동 직원식당용 현장사무실용 1 공구 2 공구 지하층Star City 주요 사용장비타워크레인 , 호이스트 , 콘크리트 펌프 ... 소요대수를 선정 Tower Crane ( 타워크레인 ) 설치 계획장비 및 건물간의 간섭을 감안하여 타워 크레인을 설치하고 일부 미 도달 부분을 하이드로 크레인을 사용하여 계획종류 : 러핑크레인

  리포트 | 46페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.03.27

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  진공증착

  이들은 고진공 펌프의 포펌프뿐만 아니라 러핑펌프로도 사용될 수 있다.오일 회전 펌프(Rotary Vane, Oil-Sealed Mechanical Pump)그림 3. ... 이 펌프는 피스톤 회전 펌프보다 더 낮은 러핑압력을 더 얻는데 쓰인다. 펌프 모듈은 오일 통 내에 잠겨있다. 이 오일은 오염물질을 제거하기 위해 정제되어져야 한다. ... 오일 회전 펌프의 단면도오일 회전 펌프는 기체를 대기압보다 약간 높은 지점까지 압축함으로써 기체를 밖으로 방출시킨다.

  리포트 | 20페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.06.25

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