Liquid Phase Epitaxy LPE교수님: 양 민 발표: 김태성 PPT제작: 구지은LPE이용과 기원I에피택시란?IILPEIII성장법IV결함V목차결론VII. ... growth) 또는 에피택시(epitaxy)라 한다 이 과정에서 기판은 그 위에 새로운 결정을 성장시키는 시드 결정(seed crystal)이 되며, 새 결정은 기판과 같은 결정구조 ... 결론2)LPE의 장점과 단점단점장점LD,PD제작을 위한 에피 저장 기술확보웨이퍼의 크기가 제한됨아주 우수한 에피층 (near-equilibrium growth)계면의 불확실도가 큼