"landau damping" 검색결과 1-2 / 2건

• 

  [무전극램프, Induction Lamp, 전자유도램프]무전극램프(Induction Lamp)의 탄생 (2부)

  이외에 연색성 개선을 위하여 halide를 봉입한 경우도 있으며, 전계에 직류자계를 가한 경우 발생하는 Landau Damping을 이용하여 Helicon wave를 발생시켜 순수

  리포트 | 21페이지 | 29,000원 | 등록일 2004.07.14

  다운로드 장바구니
• 

  [직접회로] 생기교육자료 ETCH

  의해 가속되는 전자에너지를 조절 가능함LANDAU DAMPING MECHANISMω/kWAVE 진폭에 따라, 그 위상속도 근처에서 열운동하는 전자는 그WAVE에 잡혀서 전계에 의해 ... DAMPING은 충돌을 요하지 않으므로 HELICON SOURCE는10mTorr이하의 저압공정에 적합● HELICON WAVE의 위상속도는주파수및 안테나 길이로 조절가능 하므로 WAVE에 ... 전자의 운동방향응조절할수 있음(MORI, HELICON)특징● 고밀도 PLASMA(ECR의 100배)● 수평방향으로 전자를 가둘수있어 대구경화 가능● 독립적인 이온에너지 제어가능● LANDAU

  리포트 | 62페이지 | 1,500원 | 등록일 2002.12.22

  다운로드 장바구니