"turbo molecular pump" 검색결과 1-20 / 84건

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  진공공학-진공증착.,진공펌프,진공펌프2-레포트

  기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 rotary vane pump, turbo-molecular pump 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속합니다.entrapment pump ... 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 ... 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있습니다. sorption pump 나 cryo pump, ion pump가 이에 속합니다.1.

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.04.09 | 수정일 2021.04.10

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  진공펌프레포트

  기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 rotary vane pump, turbo-molecular pump 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속합니다.entrapment pump ... 액체질소가 다 증발하면 다시 온도가 상승하고 이에 따라 molecular sieve 속에 갇혀 있던 기체가 방출되어 흡착펌프 내부 압력이 오르게 되는데 이 방출은 펌프에 붙어 있는 ... 작동원리에 대해 설명을 하면, 순환적인 과정이기 때문에 우선 진공용기와 펌프사이의 valve는 잠겨 있고, 펌프 속의 molecular sieve는 아주 깨끗한 상태에 있다고 가정하고

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.04.11

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  재료공학실험2(세라믹) 실험노트6

  진공은 저진공, 고진공, 초고진공 상태가 있으며 rotary pump에서 저진공을, turbo molecular pump로 고진공을 만들어 사용한다.3) 도금처리 된 시편을 SEM ... Picture of Ion spin coater2) 지그(jig) stage에 시편을 결합한 뒤 진공상태에 있는 SEM 장비를 사용하기 전에 진공을 한 번 제거한 후 다시 pumping

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.09.08 | 수정일 2022.09.09

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  고진공및잔류가스분압측정 물리 실험리포트 (물리학실험2, KAIST)

  molecular pump,rotary pump(5) 이론적 배경◦ 질량분석기 [mass spectrograph]이온을 가속시켜 전기장이나 자기장을 지나게 함으로써 그 진행방향을 ... ◦ quadrupole mass spectormeter(4) 실험장치◦ Heater, UHV chamber(Ultra High Vacuum) , Mass spectrometer, Turbo ... 성질 때문이다.터보 펌프를 사용하는 경우 시스템이 최저 도달 압력은 압축 비에 의해 결정되는데, 분자량이 클수록 압축비가 크고, 분자량이 작을 수록 압축비가 작다.

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.12.31

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  반도체공학실험 보고서(Circular Transmission line model)

  (5 Point)우선 TMP (Turbo Molecular Pump)는 운동량 전달 방식의 고진공펌프다. ... 이러한 TMP는 2차 진공 펌프로서, 1차 진공 펌프로 저압 상태를 맞춘 다음에 최고 출력으로 TMP를 작동시키고 연결해야한다. ... Vacuum system : Pumps, Chamber, Gasket, MFC, etc, …(1) Differences and principles of Cryo pump and T.M.P

  리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.01.12

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  펌프의종류 레포트

  진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다. ... displacement 펌프로 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 rotary pump, turbo-molecular펌프 등 대부분의 기계적인 펌프가 여기에 속한다.1) rotary ... 이용한 펌프Diffusion pump Cryo pumpTurbo-molecular pump Ion pumpRotary pump< Gas Transfer Pump >positive

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.05.23

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  [레포트] 진공공학, Vacuum pump

  (turbo molecular pump) 및 크라이오 펌프(cryo pump)가 있다.오일 확산 펌프오일 확산 펌프(oil diffusion pump)는 오일 중기를 기체 중에 분사시켜 ... 그리고 펌프의 하단부에는 압축된 기체분자를 포라인 펌프로 방출하기 위한 배기구가 있다.터보 분자 펌프터보 분자 펌프(turbo molecular pump; TMP)는 매우 청결한 기계적인 ... [터보 분자 펌프 구조]크라이오 펌프크라이오 펌프(cryo pump)는 원래 cryogenic pump의 줄인 말로써, cryo는 저온이라는 의미이다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.08.22

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  고진공 펌프

  고진공 펌프는 크게 Turbo molecular pump( 터보 분자 펌프 )와 Diffusion pump( 확산펌프 ) 로 나눌수 있다. ... Cryo Pump( 크라이오 펌프 )도 고진공 펌프에 포함할 수도 있다.여러 가지 진공펌프의 작업 가능 압력◆ Turbo molecular pump ( 터보 분자 펌프 )1958년 ... 매우 청결한 기계적 압축을 이용한 펌프로, 부드럽게 작동하며 시스템 작동에 있어 거의 진동이 없고, 순수 기계적 진공 펌프이다.◆ Turbo molecular pump의 원리터보 분자

  리포트 | 21페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.05.05

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  [LED 디스플레이] FED display - CNT를 이용한 Field Emission Display의 실험

  진공 Pump (Turbo Molecular pump) - 3. Field Emission Theory (Fowler- Nordheim Theory) - 4. ... Turbo Molecular Pum p 공기 입자성 에 근거를 두고 , 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 저 회전자와 그사이에 있는 고정자를 써쓴다 . ... Pump 의 개략도16.

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.12.02

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  터보 분자 펌프

  압축하여 펌프의 배기구 쪽으로 내보내는 원리를 가짐Turbo-molecular pump? ... 사용 예1mmHg (Torr)=1.3332mbar*청정도와 연속적으로 가스를 대량으로 처리할 수 있다는 장점으로 플라즈마 식각에 많이 사용됨반도체에서의 이용박막에 이용되는 Turbo-molecular ... PumpLiquid Nitrogen Trap**기체 수송식 펌프에 속하는 기계적 펌프 고진공 chamber에서 분자 흐름(molecular flow) 상태의 가스가 펌프로 들어오면,

  리포트 | 16페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.08.17

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  Pump의 종류와 magnetron sputtering

  ● 원리 터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 fig1과 같이 플레이드에 부딧힌 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.09.26

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  진공 펌프의 종류와 특징,작동 원리에 대해 쓴 레포트입니다.[A+자료]

  본 문서에서는 몇 가지 진공 펌프의 기본 원리와 특징을 조사하였다.1. Rotary Vane pumpRotary pump는 1905년 W. ... Gaede에 의해 고안되었으며 회전펌프라고도 한다. ... 사용되는 진공 용기는 공기 중에 노출되어 있으므로, 몇 가지의 진공 펌프로 공기를 제거하여 진공상태로 만들어야 한다.

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.12.17 | 수정일 2016.12.26

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  펌프의 종류와 원리

  Turbo Molecular Pump (Torr 까지 가능)이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 ? ... Rotary Pump (대기압~Torr 까지 가능)0. Rotary vain pump일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리는 옆의 그림과 같습니다. ... Rotary piston pump흔히"키니펌프"라 불리어지고 있는 펌프로서 기본 작동 원리는 옆의 그림과 같습니다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.12.25

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  고진공 저진공 펌프에 대해 조사한 레포트 입니다.

  진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프(rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다.[ ... }(SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)(2) Turbo molecular pump [터보 분자 펌프]▲ 회전하는 ... 블레이드에 부딪힌 분자가 튀겨나가는 모습[Turbo molecular pump 의 원리]터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.05.30 | 수정일 2017.01.09

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  로터리펌프오일펌프터보펌프

  분자 펌프 ( Turbo-molecular pump )5 TH Positive displacement 터보 분자 펌프 ( Turbo-molecular pump ) 처음에는 가능한 ... 터보 분자 펌프 오일 확산 펌프 흡착 펌프 냉온 펌프 이온 펌프5 TH Positive displacement 로터리 펌프 ( Rotary vane pump)5 TH Positive ... displacement 오일 확산 펌프 (Oil diffusion pump) Cooling Water Coils Oil 담긴 부분5 TH Positive displacement 터보

  리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2014.12.08

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  펌프 pump

  그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 합니다.● Turbo Molecular Pump (10 ^{-1} SIM 10 ^{-10})이 펌프는 공기 입자성에 ... Oil Rotary Vane Pump3. Oil Rotary Piston&Gear Pump4. Oil Rotary Pump 장단점 및 시장조사5. 그 외 진공펌프1. ... 베인펌프(OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)- 이 방식은 윤활유를 정량펌프로 소량씩일정하게 실린더 내로 주입 시킨다는 점에서 만유식과 차이가

  리포트 | 13페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.08.18 | 수정일 2021.11.20

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  터보펌프, 터보분자펌프 ppt 발표 파일

  High Vacuum Roughing Pumps Turbo Pump Diffusion Pump Cryo Pump Ion Pump Tit. ... Pump Liquid Nitrogen Trap 3 10 -3 torr ~ 10 -9 torr 2 . ... 가벼운 분자들은 배기시키기 어려움 배기 성능은 회전자의 회전 속력 에 관계됨 blade 의 경사각도 , 넓이 , 거리 등이 변수로 작용 그 밖의 성능 변수ROTOR BODY HIGH PUMPING

  리포트 | 13페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.12.29

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  [진공기술][진공][진공펌프][진공장치][진공도측정도구][피라니게이지]진공기술의 응용과 진공펌프의 분류 및 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지에 관한 분석

  )4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)2. ... 이 때는 보일러를 만지기에는 너무 뜨겁다.4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 ... Entrapment 펌프1) 이온 펌프(Ion pump)2) Cryogenic pump3) Getter pump3.

  리포트 | 8페이지 | 5,000원 | 등록일 2009.05.06

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  진공 기초 (진공 기술 및 펌프)

  진공펌프의 기초원리 - Rotary Vane Pump - Booster Pump - Oil Diffusion Pump - Turbo Molecular Pump진공의 정의진공(Vacuum ... 그러나 중­저진공 영역에서는 배기량이 저하됨으로 Rotary vane pump 등의 보조펌프와 함께 사용되고 있는 것이 일반적이다.Turbo Molecular Pump{nameOfApplication ... molecular pump터보분자펌프molecular drag pump분자드래그펌프분자펌프운동량 전달식claw pump클로펌프scroll pump스크롤펌프screw pump스크류펌프roots

  리포트 | 19페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.08.25 | 수정일 2017.12.04

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  제출용 고진공

  공기분자를 회전식 피스톤으로 배기시키는 가장 기본적인 진공 펌프이다.3) Turbo-molecular Pump터빈을 고속으로 회전 시켜 분자를 기계적으로 배출하는 펌프이다.영역에서 ... pump를 켜기 전에 Turbo molecular pump의 venting valve를 밀착되게 꼭 닫는다.② 로터리펌프를 켜고 피라니 게이지로 진공도를 확인하여 50mTorr이하가 ... 그리고 가스 압력이 너무 커지면 필라멘트가 탈 수 있으니, mass spectrometer를 꺼야 한다.- 반드리 로터리 펌프를 먼저켠 후에 Turbo pump를 켠다.

  리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2012.10.20

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