"turbomolecular pump" 검색결과 1-20 / 24건

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  고진공 펌프 조사

  터보분자펌프(turbomolecular pump)단순히 터보펌프(turbo pump)라고 부르기도 한다. 1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사들이 이를 제작하고 ... 또한 포획펌프이기 때문에 다른 고진공펌프와는 달리 보조펌프(backing pump)의 개념이 없다. ... 따라서 보조펌프(backing pump)오일로부터 역류에 의한 오염은 거의 무시해도 좋다.

  리포트 | 11페이지 | 3,500원 | 등록일 2012.06.03

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  [공학]Turbo pump 조사

  ※ 터보 분자 펌프(Turbomolecular pump)단순히 ‘터보 펌프(Turbo pump)’라고 부르기도 한다. 1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공회사들이 이를 ... 보조 펌프(Backing pump) 쪽에서 하면 터보 펌프의 흡입구 쪽이 더 고진공 상태이기 때문에 역류가 된다. ... 따라서 보조 펌프(Backing pump) 오일로부터 역류에 의한 오염은 거의 무시해도 좋다.

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.10.19

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  진공의_기초_최종

  정비율 잡음 저가의 운용비용 10 -1 Torr 에서 속도가 감소 가격 저렴 입자에 민감 긴 수명 저주파 울림 다양한 크기Turbomolecular -Pump systemTurbomolecular ... Rotary Pump펌프의 종류 Roots Pump펌프의 종류 Turbo Pump펌프의 종류 Turbo Pump펌프의 종류 Diffusion Pump펌프의 종류 Cryo PumpChapter ... 사용 영역펌프의 종류 Rotary Pumprotary vane pump Rotary Pump압력 평형형 베인 펌프 압력 불평형형 베인 펌프 Rotary Pump가변용량형 베인펌프

  리포트 | 88페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.01.25

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  신프3 광전자 결과

  (약10 ^{-3} Torr)4) Robot arm을 이용하여 기판을 Main chamber로 이동 시켜 준다.5) Turbomolecular pump를 이용하여 Main chamber를 ... 실험과정1) 물질을 증착시킬 substrate로 Mo기판을 준비한다.2) Load lock chamber에 기판을 집어 넣는다.3) Load lock chamber를 Rotary pump를

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.01.27

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  RF-magnetron sputtering 기법을 이용한 박막형 강유전체의 특성평가

  두 진공 형태의 장점만을 모아 하f pump interiorFig Turbomolecular pump 원리* Cryopumps : 액체 He(4K)을 흘려주면 공기가 다 고체가 되어 ... 의 종류① Mechanical pumpa) Rotary pump : 기계식, 선풍기처럼 공기를 밀어서 공기를 뽑아내는 형식.b) roots pump : Rotary pump와 유사하지만 ... 즉 사용 자체가 불가하다.★ 결론 : Mechanical pump와 Diffusion pump의 혼용 사용한다.

  리포트 | 13페이지 | 3,000원 | 등록일 2010.01.25

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  각종 진공 펌프 원리 사용방법 sputter

  pump)크라이오 트랩과 배플(cryotraps and baffles)메카니칼 크라이오 펌프(mechanical cryopump)터보 분자 펌프(turbomolecular pump ... 펌프 (venturi pump)송풍기/부스터 펌프 (blower/booster pump)High pump1x10^-3 ~ 1x10^-8 torr오일 확산 펌프(oil diffusion ... )Ultra high pump1x10^-8 torr 이하티타늄 서블리메이션 펌프(Titanium Sublimation Pump)이온 펌프(Ion pump)넌 이배퍼러블 게터 펌프(non-evaporable

  리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03

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  진 공 펌 프 레포트 자료

  컴프레서와 콜드헤드는 너무 낮은 온도를 제외하고는 가정의 냉장고와 매우 흡사하게 작동하며, 크라이오 펌프는 냉각수가 대기중으로 방출되지 않는 폐루프 냉장 시스템이다.터보분자펌프(Turbomolecular ... PUMP) 루츠 펌프 (RO PUMP) 승화펌프 (SUBLIMATION PUMP) 저온 펌프 (CRYO PUMP)펌프의 분류펌프의 종류는 사용 가능한 압력에 따라 저진공, 고진공, ... 베인 펌프 로타리 피스톤 펌프 (ROTARY PISTON PUMP) 로타리 기어 펌프 (ROTARY GEAR PUMP) 피스톤 펌프 (PISTON PUMP) 다이아후렘펌프 (DIAPHRAM

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.06.24

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  [반도체공정]터보분자펌프

  한국진공연구조합, 주장헌 ⑵ 소재분석 및 증착 실무, 상학당, 윤성원 외3인 ⑶ http://www.kovra.or.kr/ ⑷ http://en.wikipedia.org/wiki/Turbomolecular_pump ... 압축하여 펌프의 배기구 쪽으로 내보내는 원리를 가짐Turbo-molecular pump란? ... *진공 시스템 구성 예고진공 영역에서 일정한 배기량 유지 → 중·저진공 영역에서 배기량이 저하되므로 보조펌프 (rotary vane pump등) 와 함께 사용되고 있는 것이 일반적축

  리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.12.27

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  진공의 기초

  Turbomolecular pump고속 회전 표면을 이용하여 배기, 빠른 배기속도와 청결, rotor와 stator로 구성원리 : 기체분자가 표면과 충돌 분자유동 범위에서 기체입자와 ... Rotary vane, oil-sealed mechanical pump목적 : 펌프 냉각, 윤활, 봉인, 배출밸브의 개봉원리 : 기체는 베인에 의해 압축 대기압보다 높은 압력 생성 ... 현상진공상태에서 펌프 중단은 오일 증기의 역류로 이어지기 때문에 정지하는 동안 입구로부터 펌프공기를 항상 배출해야 함터보로 리핑하면 속도가 느리다:펌프의 작은 배출구로 인해 큰 전도손실을

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.28

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  진공 및 박막 실험 최종 보고서

  높이기 위해 회전수를 증가시키면, 고속 및 고압으로 인하여 열이 발생하며 이는 회전자의 팽창을 유도하여 펌프의 손실을 초래할 수 있다.4) Turbomolecular Pump (터보 ... 있도록 한다.- Heating → Jet Assembly → Cryotrap → Foreline(배출)그림 11 부스터 펌프그림 12 부스터 펌프의 원리3) Booster Pump ... Pump)의 관찰오일확산 펌프는 히터에서 끓어 형성된 오일 증기가 증기탑을 따라 상승하다가 아래쪽을 향한 노즐에서 초음속(약 300m/초)으로 분출된다.

  리포트 | 53페이지 | 6,000원 | 등록일 2012.11.24

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  Vacuum Pump

  로터리 펌프는 윤활제의 역할뿐만 아니라 회전에 의한 마찰열의 감소와 정지자와 vane사이의 공간을 막아주기 위하여 오일을 사용하게 된다.Fig.1 Rotary pump 구조로터리 펌프의 ... 오일을 사용하지 않아 로터리 펌프보다 빠른 속도로 회전할 수 있으나, 로터리 펌프등으로 보조배기를 해줘야 한다.Fig.3 Roots Pump 작동 원리구조는 크게 heater와 jet ... PumpTurbomolecular PumpDiffusion PumpCryogenic PumpSputter-Ion Pump10-1010-810-610-410-21102저진공 펌프로서

  리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.05.20 | 수정일 2015.04.09

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  진공증착 (Sputtering)_pre

  pump-venturi pump-blower/booster pump1×10-3~1×10-8 torr-oil diffusion pump-cryopumps-cryotrap-turbomolecular ... , 더러운 펌프오일은 좋지 못한 펌프작동의 원인이 된다.2) 고진공 펌프(Oil Diffusion Pump)옆의 그림에서 보듯이 diffusion pump는 원통형으로서 외부에 냉각수가 ... 진공펌프진공펌프(vacuum pump)는 대기압 이하의 압력에서 기체를 흡입하여 대기압에서 배출하는 데 사용되는 압축기를 의미한다.진공 상태를 만들기 위해서는 많은 펌프가 사용되는데

  리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.06.10

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  진공 펌프

  크게 나누면 기계적 펌프와 분사펌프로 나눌 수 있는데,기계적펌프는 기계적 작동에 의해서 기체를 흠입하으로 펌프된다.{- 분류법어떤 확산 펌프들은 응축된 오일을 정제 할 수 있도록 간단한 ... *스크루 펌프*******************크로형 펌프******************터보 펌프********************************수봉식 펌프******증기분사펌프오일확산 ... 아래 그림은 펌프의 전형적인 작동 범위를 나타낸 것으로 그전체의 압력범위는 대기압에서부터{{ 10}^{11 }torr 이며 펌프는 그 압력범위로 러핑펌프, 고진공 펌프, 초 고진공

  리포트 | 24페이지 | 1,500원 | 등록일 2003.06.15

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  고진공_및_잔류가스_분압_측정

  .1 실험 장치① UHV chamber(Ultra High Vacuum) : 보통 고진공을 만들 때는 Turbomolecular pump가 주로 사용되는데,torr 정도의 초고진공을 ... 있는 공기분자를 회전식 피스톤으로 배기시키는 가장 기본적인 진공 펌프이다.③ Turbo-molecular Pump : 터빈을 고속으로 회전 시켜 분자를 기계적으로 배출하는 펌프이다.영역에서 ... 다음은 Turbo pump를 끄고 turbo pump가 멈출 때까지 기다린다. 약 30분 후, Rotary pump를 끄고 venting 한다.4.

  리포트 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.01.11

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  Vacuum Technology in ULSI application

  generation1) Cryogenic PumpVacuum generation2)Turbomolecular pumps (TMP)Vacuum generation2) TurboMolecular ... The Classification of Pumps 1) Entrainment pumps - Rotary vane , Rotary piston - Turbomolecular - Diffusion ... pumps (Compression pump) - Forepump, ~10-3Torr * Two types of oil-sealed pumps a Rotary piston. b Rotary

  리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.01.18

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  태양전지

  진공rotary 펌프와 diffusion 펌프, turbomolecular 펌프를 이용해서 진공을 만드는데 우선 대기중에서 rotary 펌프를 이용해서 1×10^-3 torr의 진공상태를 ... 만든후에 diffusion 펌프를 이용해서 1×10^-5 torr 이상의 진공상태를 만든다. ... 진공 펌프가 연결되어 있는 반응용기 내에 SiH4 가스와 H2가스를 도입하여, 평행 평판전극 사이에 플라스마를 생성한다.

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.11.17

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  [기계이론]진공펌프

  이는 대기압에서 펌프유체의 산화로 인한 유체의 파괴가 되기 때문이다.- Turbomolecular Pump기체 분자에 역학적인 힘을 가해 그것을 특정 방향으로 튕겨 날려서 배기를 하는 ... 종류① Roughing Pumps- Rotary Piston Mechanical Pump② High Vacuum Pumps-Diffusion Pump펌프의 유체를 Boiling Point ... 그리고 양전하 물질은Cathode로 이동하여 Cathode에증착하게 되어 물질을 제거한다일반적으로 기계적 펌프를 사용하고 TSP를 사용한 후 Ion Pump을 사용하며이때의 진공도는

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.10.18

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  [진공]진공에 대하여

  ), 터보분자펌프(turbomolecular pump) 등 대부분의 기 계적인 펌프가 이에 속한다. ... 흡착펌프(sorption pump)나 냉온펌프(cryopump)가 이에 속한다. 이 들 중 이온펌프(ion pump)는 기체의 형태를 바꾸는 펌프로 따로 분류하기도 한 다. ... '포획펌프(capture pump)'라고도 부른다. 진공용기 내부의 공간으로부 터 기체분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부 를 수 있다.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.10.10

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  [재료공학실험] 박막증착실험(진공, pvd, cvd)

  mechanical pump)+(micromaze trap)+터보분자펌프(turbomolecular pump)2. ... 다음은 고진공 또는 초고진공에서의 펌프조합 예이다.- 저진공펌프(mechanical pump)+(cryo trap, baffle)+확산펌프(diffusion pump)- 저진공펌프( ... 최소한으로 만들어주어야 하는 진공도를 저진공 펌프로 만들어 준 후에 고진공 펌프를 사용해 고진공이나 초고진공을 만든다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.15

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  [재료공학실험] 표면 분석 장치 XPS와 XPS 내에 작동하는 네가지 펌프

  터보 분자 펌프 (turbomolecular pump)단순히 터보 펌프(turbo pump)라고 부르기도 한다. 1958년 Becker에 의해 고안되었고, 많은 진공 회사들이 이를 ... 흡착펌프(sorption pump)처럼 배출구가 없는 포획펌프(capture, storage pump)이므로 많은 양의 기체를 처리 해야 하는 박막 증착이나 etching 등에는 ... 이들을 하나하나 살펴보면 다음과 같다.2.로타리 펌프 (rotary vane pump)대학실험실에서 가장 많이 사용되는 저진공 펌프이다.

  리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.01.16

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