"스퍼터" 검색결과 201-220 / 240건

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  [반도체공학]박막증착

  에피성장(epitaxy)산화(oxidation)노광전사(lithography)자외선(UV)노광묘화선(e-beam)노광X선노광박막가공(patterning)습식식각건식식각-플라즈마식각스퍼터 ... KOH와 같은 용액에 견딜 수 있어야 한다.ㆍ기계적 강도가 높아 마찰이나 먼지의 장벽으로 적당하다.ㆍ반도체 센서에 사용되는 것은 무결정질이다.ㆍ열과 플라즈마 CVD에 의해 증착 또는 스퍼터될

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.23

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  [공업화학 실험]박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

  또 에칭 기구의 측변에서 보면 화학 반응을 이용하는 화학 에칭과 이온 등을 가속시켜 기판을 충격하여 스퍼터 현상에 의해 에칭을 하는 물리 에칭이 있다.

  리포트 | 13페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.01.28

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  [공학기술]Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조

  .* 진공 증착의 개념도진공증착은 스퍼터 증착법과 더불어 박막 작성의 기본 기술이다.

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.06.02

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  증착법의 원리와 특징

  “스퍼터”현상을 이용한 피막형성법은, PLD법의 일종이다.프로세스로서는,① Ar등 물활성 가스를 도입한 진공중 에서② 타겟을 음극으로 하여 양극과의 사이에 그로방전을 발생시켜, Ar프라즈마를

  리포트 | 12페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.04.21

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  [공학]기초 반도체 공정

  다이오드는 많은 변수들이 상호 연결이 되어 있어 독자적 조절이 어렵고, magnetron은 제어를 크게 할 수 있으나, 많은 magnetron 모양에서 낮은 압력으로 작동하기 때문에 스퍼터된

  리포트 | 161페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.12.30

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  Atomic Absorption Spectroscopy (AAS)

  또 고체 시료를 흑연도가니중에 넣어서 증발시키거나 음극 스퍼터(Sputtering)에 의하여 원자와 시키는 방법도 있다.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.05

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  ion plating (이온도금)

  Ion Plating(이온 도금)의 정의증발된 입자가 플라즈마 속을 통과하면서 이온화하고 스퍼터와 같은 고에너지를 가지고 도금이 되므로, 도금속도도 크고, 밀착도 좋으며, 뒷면에도

  리포트 | 20페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.06.09

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  [공학기술]ion plating(이온도금)

  이온 보조 증착(ion-assisted deposition) 장치이다.이중 이온빔 장치에서 첫 번째 이온 소스는 불활성 또는 반응성 이온빔을 타깃(target)에공급하여 타깃을 스퍼터시켜

  리포트 | 26페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.06.08

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  진공펌프의 종류와 내용

  분자 펌프,TSP, 흡착 펌프, NEG 펌프10-7~less초고진공 (ultra high)오일 확산펌프, 터보 분자 펌프, 흡착펌프, 저온 냉각 펌프, 승화펌프, 게터 이온 펌프, 스퍼터

  리포트 | 19페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.06.07

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  진공의 원리와 진공펌프 및 게이지

  따라서 이 펌프는 확산 펌프 또는 스퍼터 이온 펌프와 결합하여 쓰여야만 한다 .진공펌프의 종류 ( 기타 ) 20 로타리 피스톤 펌프 (Rotary Piston Pump) ‘ 키니펌프

  리포트 | 32페이지 | 3,300원 | 등록일 2007.05.25

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  [전자공학] 박막형성법과 그성질

  물리적 방법중 스퍼터법스퍼터 법은 박막이 되어야 할 재료의 target을 글로 방전으로 이온화시킨 가스를 충돌시켜 끌어낸 입자를 기판에 붙이는 방법으로 진공증착법으로는 붙이기 어려운

  리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.01.18

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  [반도체공정]반도체 기초공정

  진공도는 진공계로 측정하며, 진공펌프로는 기름의 증발 등 오염물질이 발생하지 않는 스퍼터이온펌프 ·터보분자펌프 ·크라이오펌프 등을 많이 사용한다.

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.02.02

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  스퍼터링

  플라즈마를 만드는 것도 이 전원을 사용하였고, 이 비대칭 전압의 첫반주기 동안에 기판이 양로 대전되고, 스퍼터된 입자와 작동기체(Ar+), 여러 가지 분술물들에 의해 포격 당한다.다음

  리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.11.25

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  [건축시공] 건축시공 앵커볼트매입과 기초상부고름질

  생기는 산화철의 표피- 스펫터 : 용접시 튀어나온 슬래그 또는 표면에 생기는 산화철의 표피- 스퍼터 : 용접시에 녹는 철이 경화된 것b. ... 가공조립이 완료된 철골 구성재는 밀스케일, 스퍼터: 슬레그, 기름 기타 오손부는 제거 청소하고 강재면의 녹막이 칠을 1회 하여 운반한다.- 밀스케일 : 압면강재가 냉각될 때 표면에

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.13

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  [공업화학실험]박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

  electric field)에 의해 가속된 후 충돌할 때의 운동량 이전에 의해 표면마멸 현상이 일어나는 것으로서, 여기에는 이온빔(ion beam) 식각(혹은 이온빔 밀링(milling)), 스퍼터

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.25

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  [반도체] 플라즈마에칭

  지속적인 식각을 위한 스퍼터에의한 반응생성물의 탈착(2) 이온 충격에 의한 표면 손상운동에너지가 크고 기판에 수직한 방향을 갖는 이온 flux는 약 10∼40 Å 정도의 수 원자층에 ... 이러한 중합막은이온 flux에 노출되는 부분만이 스퍼터에 의해 폴리머가 탈착해 표면이 드러남으로써 화학반응에 의한 식각이 일어나고 이온 충격이 불가능한 식각 측면만중합막이 형성되어 ... 작은 원소인 불소는 2개의 불소원자가 Si과 쉽게 반응하여 SiF2나 SiF4와 같은 휘발성 반응생성물을 쉽게 만드나 직경이 큰 Cl, Br은 2개의 원소가 Si와 결합하기 위해선 스퍼터에

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.05.13

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  박막의 제조방법

  스퍼터율(sputter yield)사.

  리포트 | 52페이지 | 3,000원 | 등록일 2006.12.06

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  [진공증착기술]Ion Beam Deposition (IBD, IBAD)

  즉 이온빔의 표면충돌에 의하여 표면의 불순물 원자들을 스퍼터 에칭시켜 주면 이후 이루어지는 증착층과 기판간의 접촉을 양호하게 하여 주므로 기판과 증착층간의 전류의 흐름에 의하여 이루어지는

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.25

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  [건축] 새로운 건축자재

  .▷ 스퍼터 로이 유리 : 이 제품은 표면에 Ag, Au 등과 같은 적외선 반사 특성이 우수한 금속을 진공 중에서 얇게 코팅한 것으로서 제막된 막의 균질도나 물성은 뛰어나지만 유리기 ... 일반적인 스퍼터 로이 유리의 방사율은 0.1정도로서 파이만 이를 더욱 낮게 하기 위한 노력이 계속 진행중이라 한다.3 색상의 다양화일반적으로 로이유리는 높은 가시광선 투과율이 특징이기 ... 뿐만 아니라 적절한 차 폐계수(0.4∼0.7)를 갖는 금속막을 부가한 다기능 제품, 열처리가 가능한 제품도 출시되고 있다.- 고려사항1 내구성(내화학성 및 내마모성) 증진일반적인 스퍼터

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.12.03

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  [박막증착]박막증착

  따라서 고체 원판형 target에서 많은 양의 낭비가 생기고, target을 가로질러 스퍼터된 원자의 밀도가 고리 모양의 분포가 된다.

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.04.20

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