"Soft Lithography" 검색결과 21-40 / 119건

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  [고분자재료실험]ITO patterning 결과레포트

  실험목표OLED/PLED/OTFT/OPV device의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 pattern으로 식각하는 법을 습득한다.Photo lithography에 사용하는 각 ... (pre-bake)Soft bake 과정은 도포한 PR과 남아있는 용매를 4~7% 까지 제거하고 기판과의 접착을 강화하기 위함이다. ... 하지만 산소와 반응하고 positive PR에 비해 독성이 강한 물질을 사용한다.2) Baking 조건, 노광 시간, etching time 등 최적의 조건을 찾아본다.Soft bake

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.01.21

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  [성균관대][전자재료실험][A+] 전자재료실험 최종발표 ppt 자료입니다. 많은 도움 되었으면 좋겠습니다.

  순서 : E-beam 으로 Metal 을 증착 – Cleaning – 표면 화학 처리 – PR 도포 – Soft baking – Mask alignment – exposure – development ... 전자재료실험 수업자료 , 성균관대학교 신소재공학부 , (2013) 그림 6 허혁 , MOS CAPACITOR 의 각 주파수에 대한 C-V 특성분석 , 동아대학교 , 1992 그림 8 lithography

  시험자료 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2022.02.06

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  나노화학실험 SAMs & DTP 예비보고서

  접착력 행상제, 계면활성제, 경화제, 산화방지제 등 다양한 제품이 쓰인다.[5.3] Etching : 포토공정 후 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 공정[6.1] Soft ... 이러한 점을 극복하고자 등장한 방법이 soft lithography이다. soft lithography 방법은 soft한 유기물질 (작용기를 갖는 alkane과 고분자 물질)을 사용하여 ... PDMS는 soft lithography에서 high quality pattern과 구조를 얻는데 몇가지 장점이 있다.

  리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.06.30 | 수정일 2020.07.05

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  Microscale Patterning with Photolithography and Etching Processes_결과레포트

  Result실험과정위의 사진에서 1000nm, 500nm, 300nm, 10nm의 마스크를 사용하여 lithography를 진행하였다. ... Soft baking을 통해 PR 코팅 후 웨이퍼를 구워서 UV expose 전에 PR 속의 solvent를 적절하게 제거해야 한다. ... stepExperiment deviceCritical factorsRemarksPR coatingSpin coater회전속도(RPM), PR점도점성이 작을수록, 속도가 빠를수록 얇음Soft

  리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.12.12

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  photolithography 공정 과정 결과보고서

  PhotolithographyPrupose of experiment반도체 8대 공정 하나인 Photo lithography를 즉, 포토 공정을 직접경험하여 원하는 패턴을 wafer위에 ... 그 순서에 맞게 설명하면 아래와 같다.Wafer 준비Wafer를 아무런 준비 없이 감광제 코팅을 하게 되면 wafer와 감광제 사이에 이물질이 간섭하여 mask 무늬를 조사하는 lithography ... Soft baking때와 마찬가지로 100에서 baking을 시켜준다Gold coaterHard baking을 끝낸 wafer을 gold coater를 이용해 pattern위에 구리를

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.01.28

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  Microscale Patterning with Photolithography and Etching Processes_예비레포트

  Spin coating을 활용하면 PR을 쉽고 빠른 방법으로 다양한 두께로, 균일하게 코팅할 수 있다.Soft bake: 액체 상태인 PR을 경화하고 웨이퍼와 PR의 접착력을 높이는 ... [Lithography]PR doping: Spin coater를 활용하여 PR을 다음과 같은 단계로 코팅한다.RPM 2000, 5sec -> RPM 1000, 40sec -> RPM

  리포트 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.12.12

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  PDMS를 이용한 미세접촉 인쇄 예비 보고서, 예비 레포트 A+

  소프트 리소그래피(Soft lithography)[9]소프트 리소그래피란 유연한 유기물질(작용기를 갖는 알칸과 고분자물질)을 사용하여 기존의 포토리소그래피에서 사용하는 복잡한 장치를 ... 리소그래피(lithography)[8]리소그래피란 극히 미세하고 복잡한 전자회로를 반도체 기판에 그려 직접회로를 만드는 기술을 의미한다.

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.02.10 | 수정일 2023.02.16

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  2019 패터닝 예비보고서 (74.5/80)

  Soft bake 후에는 웨이퍼와 마스크를 정밀하게 정렬하고 노광 공정을 진행한다. ... 포토리소그래피Lithography공정이란 노광 공정이라고도 하며 웨이퍼에 도포한 빛을 조사하여 광화학 반응을 발생시킴으로써 포토레지스트에 마스크 패턴을 전사하는 공정이며 반도체의 제조 ... 않고 재료뿐만 아니라 전기 전자 분야까지 넓은 폭의 지식을 가지고 있으므로 반도체 산업에 있어 요구되는 인력이다.실험 방법1) 산화막(SiO2)의 패터닝(patterning) - Lithography

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.04.14

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  서울과학기술대_반도체제조공정_클린룸 견학 보고서 A+

  먼저 Photo(노광) 공정(Lithography 공정, Patterning 공정)은 패턴이 그려진 Mask를 활용하여 Wafer의 표현에 회로 패턴을 만드는 공정으로 이후 Etch ... Time 등의 레시피를 조정하여 원하는 방식으로 PR을 골고루 도포한다.PR의 도포가 끝난 wafer는 PR을 고체에서 액체로 만드는 데 사용된 용매인Solvent를 없애기 위해 Soft

  리포트 | 8페이지 | 2,500원 | 등록일 2024.04.01

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  ITRS 2005 요약

  또한 Lithography와 Etching 모두 지속적인 개선이 필요하다. ... 이 보고서는 High κ, Metal Gate, Cu/low-κ, SOI, Novel Devices, Microsystems, Flash Memories, Soft Errors, ESD ... DRAMDRAM Scaling에 필요한 요구사항이 매우 많고 어려워진다. 193nm ArF 몰딩 Lithography 기술과 관련된 공정은 70nm 이하의 하프 피치(hp) DRAM의

  리포트 | 22페이지 | 3,500원 | 등록일 2020.12.12

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  나노재료공학_기말 REPORT

  -PDMS(Polydimethysiloxane) : Soft lithograpy의 탄성 중합체 스탬프의 재료중 하나. ... 광학 리소그래피가 100nm이하의 구조물을 제작하기 힘든 이유를 설명 하시오.Lithography란? LSI에서의 패턴형성을 위한 미세 가공 기술. ... 해상도 1㎛ 정도까지의 패턴이 얻어지며, VLSI(초대규모 집적 회로)의 제조에 쓰인다.출처 : [네이버 지식백과] 리소그래피 [lithography] (전자용어사전, 1995. 3

  리포트 | 16페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.13 | 수정일 2020.11.22

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  반도체 8대 공정 정리

  공정은 크게 7 개의 세부 공정으로 구분된다 . ① 웨이퍼 준비 (Surface Preparation) , ②PR 도포 (Spin Coating 방식 ) , ③ 소프트 베이크 (Soft ... Bake) , ④ 노광 (Lithography: Alignment and Exposure) , ⑤ 노광 후 베이크 (Postexposure bake) , ⑥ 현상 (Development

  리포트 | 56페이지 | 2,500원 | 등록일 2024.06.09

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  수원대학교 화학공학과 나노화학공학 기말고사 정리본

  원자나 분자단위로 물질을 공급해 박막형태로쌓이도록 하는 방법-물리적 증착법: 사용하는 물질이 순수한 원자-화학적 증착법: 반응물질을 공급하여 반응을 통해 특정원자나 분자를 쌓음.* Soft ... Lithography(소프트리소그래피): 광자나 전자를 사용하지 않고 도장을 찍어내는 방식-주로 탄성중합체 재질의 PDMS라는 스탬프를 이용해서 진행-연한 재질의 탄성중합체 재료를 ... 사진 인쇄 기술과 비슷하게 빛을 이용하여 복잡한 회로 패턴을 제조하는 방법-Litho=석판(Mask)-Photo graphy=빛을 이용하는 그래프* Focused Ion Beam Lithography

  시험자료 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16

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  분석화학 기기분석 Microfluidic Channel 실험 보고서 (학부 수석의 레포트 시리즈)

  1.1 Soft lithographyMicrostructure나 nanostructure을 만들기 위한 printing, molding의 과정을 포함하는 technique으로, 일반적으로

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.06.16

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  [A+레포트] 마이크로리소그래피 실험 Microlithography

  실험 목표 Objective of ExperimentPhotolithography를 이용하여 마이크로미터 패턴을 형성하는 실험을 수행함으로써 Lithography의 원리 를 이해한다 ... 속도로 spinning을 할지 예측할 수 있게 해준다.Ref) Shipley product information – OCG process application noteBAKING- Soft

  리포트 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.11.16 | 수정일 2021.11.18

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  인하대 공업화학실험Patterning and treatment of SiO2 thin film A+ 예비보고서

  포토공정 (Lithography란?)웨이퍼 위에 회로패턴이 담긴 마스크 상을 빛을 이용하여 비추어 회로를 그리는 작업.3-1. ... 위해서는 감광액의 막이 얇고 균일해야 하며, 빛에 대한 감도가 높아야한다.* PR의 종류 (왼쪽의 그림)양성PR은 노광되지 않은 영역을 남기고, 음성PR은 노광된 영역을 남긴다.3-3 Soft

  리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.11.27

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  ITO Patterning 예비

  Photo lithography에 사용하는 각 공정의 원리와 공정 시 주의점을 습득한다.실험 원리저분자 혹은 고분자물질을 적용한 모든 유기발광 다이오드(OLED, PLED), 유기태양전지 ... 일반적으로 유기전자 디바이스의 patterning 공정에서는 batch 방식을 사용하고 이 때 stripper로는 고농도의 알칼리 용액을 사용한다.조사 내용Soft baking코팅이

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.12.16

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  [실점 100점 A+ 레포트]리소그래피 장비를 통해 본 화이트 리스트 제외 사건의 특징

  Soft bake ? 포토레지스트에 남은 유기 용매를 제거하는 과정이다. 이를 통해 포토레지스트의 밀도가 높아진다.4. 마스크와 웨이퍼를 정렬한다.5. ... 참고문헌1) 진종문, [반도체 특강] 빛과 돌로 만드는 반도체, 포토-리소그래피 (Photo-Lithography SKhynixnews)2) 한국물리학회, 「물리학과 첨단기술」, 안진호

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.11.18 | 수정일 2020.12.17

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  [신소재기초실험]MOS 소자 형성 및 C-V 특성 평가

  실험)Soft-bake 과정으로 Heater 또는 oven 70℃정도에 1분동안 구워준다.5) 마스크배열(alig㎚ent)포토마스크는 한쪽 면이 감광 유제나 금속막으로 패턴이 되어있는 ... Photo-lithography(사진식각공정)1) wafer cleaningwafer표면의 입자문제뿐만 아니라 유기물, 이온, 금속 불순물의 오염을 막기위해 화학적으로 세척웨이퍼 세척과

  리포트 | 10페이지 | 3,600원 | 등록일 2020.04.19 | 수정일 2020.08.13

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  Microfluidic channel 제작 및 Diffusion 실험

  PDMS를 이용한 soft-lithography, 현미경을 이용한 패턴확인초 록이번 실험에서는 Soft lithography를 이용하여 Microfluidic channel을 제작하고 ... 결 론이번 실험에서는 microfluid의 양상을 살펴보기 위해서 먼저 Soft lithography의 방법을 통하여 Microfluidic channel을 만들고 channel에 ... water, Rhodamine(푸른 형광빛이 나는 노란빛을 띤 붉은색을 특징으로 하는 염기성 염료)2.2 Method먼저 채널의 패턴을 Substrate Pretreat – Coat – Soft

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.11.28

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