"glow discharge" 검색결과 61-80 / 188건

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  SPUTTERING

  Glow discharge 중의 기체입자의 이온은 10-5~10-3 정도의 분율로 존재한다. 또한 전자와 기체분자와의 비탄성 충돌에 의해 여기 상태에 있는 중성원자도 존재 한다. ... DC glow discharge sputtering system기체의 압력이 100~103 Pa 정도의 진공내 두 개의 전극 간에 고전압을 걸어 주었을 때, 양전극에 생기는 방전현상이다 ... discharge그림3.

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.12.18

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  금속 박막증착

  .※ DC스퍼터와 RF스퍼터의 비교DC스퍼터RF스퍼터target 재질전도체전도체, 부도체, 절연체target 제조방식진공주조HIP 또는 소결분말체Glow discharge를 위한 Ar10 ... 이중일부가 기판에 도달하여 박막을 형성한다.플라즈마에서 전자 및 이온의 충돌로 인해 전자의 레벨천이로 인한 빛이 발생하며 이런의미에서 2극 직류 스퍼터를 직류 글로우 방전(DC glow ... discharge) 라고도 한다.※ DC 스퍼터의 특성① DC 스퍼터링 장치에서 target에 이온이 충돌해서 발생하는 2차 전자에 의해 glowdischarge가 유지된다.이러한

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.08.24 | 수정일 2015.02.12

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  스퍼터링,비저항

  이온이 target 에 충돌할 때 target 원자가 튀어나옴과 동시에 2차 전자가 target 으로부터 튀어 나온다. 2차 전자는 glow discharge 에 이용되며 glow ... discharge 를 유지하게 해 준다. target 으로부터 튀어나온 원자는 무질서하게 날다가 기판에 응축되기도 하는데, 이때 박막이 형성되는 것이다. ... discharge가 계속유지된다.전자는 anode(기판)으로 이동하며 이온은 cathode로 이동하며 이를 통하여 current flow가 형성되는 것이다.

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.10.19

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  Diode-3주차 예비레포트

  .ⓐ Sputtering methodIn a sputtering method, generally a film is formed by causing a glow discharge to ... Because sputtering can be performed at a low discharge voltage, the bombardment of the film by oxygen

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.03.18

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  신소재 실험

  discharge를 이용하여 ion을 형성하고 높은 에너지(>30eV)를 가진 입자들이 target에 충돌하여 target 원자들에게 에너지를 전달해 줌으로써 운동량 교환을 통해 ... PlasmaPlasma는 Suptter장비의 기본이 되는 이론으로서, Plasma의 abnormal glow 영역을 이용하는 장비이다.1-1.Plasma의 정의Plasma는 흔히 ‘ ... 충돌된 원자에 에너지를 공급하여 최외각 전자를 여기시키고, 여기된 전자는 다시 안정한 궤도로 돌아오면서 고유의 에너지 간격에 해당하는 빛에너지를 발산Plasma의 Abnormal Glow

  리포트 | 13페이지 | 4,000원 | 등록일 2010.03.01 | 수정일 2018.10.22

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  반도체공정 (Etching & Doping)

  저온 plasma ( Glow discharge 에 의한 Cold Plasma )- 저온 plasma의 발생 방법① DC discharge가장 기본적인 방전 형태로 두 개의 전극에 ... ; (a) applied voltage ; (b) voltage across the discharge versus timeFigure 4하여 종말점을 확인한다.- 단점: Slow ... RF plasma의 방전 유지 압력이 DC plasma에 비해 낮다.Figure 4.1 Development of a self-bias in a parallel plate of discharge

  리포트 | 29페이지 | 4,500원 | 등록일 2007.01.27

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  스퍼터링(sputtering deposition)의 이론 및 원리

  )만 변경Ionization Glow discharge 를 유지하기 위해 가장 중요한 과정Excitation Relaxation Glow를 일으키는 원인이되는 과정Plasma (특성 ... : 기체에서 전류가 흐르는 현상 Glow discharge : 기체에서 전류가 흐르면서 빛이 나는 현상Plasma (생성)Elastic Collision 단순히 전자의 운동방향(KE ... 전체적으로 중성을 유지하고 있으나, 부분적으로 하전 되어있는 가스집단NeutralsPositive ionsNegative electronsSame densityPlasma (분류)Discharge

  리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.24

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  Plasma Nitriding, Plasma Radical Nitriding, Duplex coating

  discharge)을 적용시켜 얻어진 NH+라디칼에 의해 금속표면을 질화처리한다. ... 이 방법은 저압의 분위기 중에서 글로우(Glow) 방전을 이용하여 질소가스를 이온화하고, 그것을 음극의 피처리물의 표면에 충돌시켜 질화처리를 하는 방법이다. ... 사용하는 가스량도 가스질화법에 비해 1/250~1/300정도로 생산비용 절감 가능-초기 시설 투자 비용이 상대적으로 높음플라즈마 라디칼질화NH3 가스와 H2 가스의 혼합가스에 광휘방전(glow

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.05.19

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  인공 다이아몬드

  low-pressure glow discharge를 이용함으로써 화학반응을 촉진시키고, 열적 반응만 있을 때보다 더 낮은 온도에서 plasma-assisted 반응을 가능하게 하는 ... 따라서, 반응에 필요한 에너지를 glow discharge를 통해 공급하며, 기존의 CVD공정을 300～500℃로 낮추어 수행하는 PACVD법에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.-

  리포트 | 44페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.12.07

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  반도체

  .◎ DC-diode 아르곤 방전① negative glow대부분의 discharge 영역은 negative glow region으로 점유된다. ... 그러므로 negative glow는 양쪽의 sheath사이에 해당하는 부분이다.negative glow에서는 세 종류의 전자가 존재한다.1) 일차전자 : cathode sheath에서 ... 이 전자는 negative glow로 가속된 뒤 기체를 이온화시킨다.

  리포트 | 16페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.02.06

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  PVD와 CVD

  Ar이 excite되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며 이 때 glow discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다.Plasma 내의 Ar ... 단점 -X-ray 발생 -전자빔 source 위에 원자의 농도가 크므로 와류 또는discharge가 심하다. ... 증착 입자에 포함시켜 박막 형성을 하는 기술 Ion Plating Evaporation과 Sputtering Technique의 복합과정 Substrate는 High Voltage Glow

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2009.10.27

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  [발광디스플레이 실험] Ni Sputtering을 통한 박막형성

  discharge가 계속 유지된다.장점단점-구조가 간단하며, 가장 표준적인 sputter 장치이다. ... 의하여 가속된 전자가 Ar 원자와 충돌하여 Ar 이온을 생성하며, 이를 통하여 더 많은 전자가 생성되고 이렇게 생성된 전자가 다시 전기장에 의하여 가속되어 Ar 이온을 만들면서 glow ... 전파관리상 라디오 주파수와 간섭을 피하기 위하여 주로 13.56MHz 의 고주파 전원을 작동하도록 규제하고 있기 때문인데, 이 진동수가 국제적으로 플라즈마 공정에 허용되었다.DC discharge

  리포트 | 8페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.12.28

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  신소재공학실험 집적회로실험보고서 반도체 집적회로 IC

  오염한 오염 가능성.(2) 스퍼터링의 종류(가) 직류 인가 스퍼터링(D.C Glow Discharge sputtering)가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다

  리포트 | 37페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.06.29

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  진공 증착장비의 기본(sputter, CVD, PVD)

  discharge가발생하여plasma가보인다. ... cathode로부터방출된전자들이Ar기체원자와충둘하여Ar을이온화시킨다.Ar+ e-(primary)= Ar++ e-(primary) + e-(secondary)Ar이excite되면서전자를방출하면, 에너지가방출되며,이때glow

  리포트 | 26페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.07.14

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  [전자공학]Sputter

  Glow discharge기체의 압력이 100～103 Pa 정도의 진공내의 두 개의 전극 간에 고전압을 걸어주었을 때, 양전극에 생기는 방전현상이다. glow discharge 중의 ... 높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌에 의해 타겟(target)이라고 불리워지는 물질의 표면으로부터 원자들이 떨어져 나오는 메커니즘으로 설명되어질 수 있다.일반적으로 스퍼터링은 Glow ... discharge를 이용하여 먼저 ion을 형성하고 이를 전장으로 가속시켜 타겟(고체표면)에 충돌시킨다.

  리포트 | 21페이지 | 3,000원 | 등록일 2005.09.13

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  Sputtering 방법을 통해 증착한 Cu-Ti 박막의 후 열처리 온도에 따른 Cu-Silicide 형성과 비저항의 미치는 영향과 특성 평가 실험

  이러한 글로우 방전(Glow Discharge)을 이용하여 Ion을 형성하고, 이를 전자기장으로 가속하여 타겟 물질인 고체 표면에 충돌시킨다. ... (glow discharge) ② Sputtering의 특징? 거의 모든 원소를 sputtering 할 수 있으며 합금이나 화합물도 조성을 유지하면서 증착이 가능? ... Discharge가 형성된다.

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.06.25

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  기기분석-AAS-예비.

  Glow Discharge Lamp????? ... DCPElectric Arc4000-5000방출Arc-Source Emission SpectroscopyElectric spark40,000방출Spark Source SpectroscopyGlow Discharge

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.07.24

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  PACVD

  discharge 영역은 negative glow region으로 점유된다. ... 개요Plasma-assisted physical vapour deposition (PAPVD) 은 박막의 성질을 향상시키기 위하여 glow discharge를 이용하는 물리증착과정의 ... 그러므로 negative glow는 양쪽의 sheath사이에 해당하는 부분이다.negative glow에서는 세 종류의 전자가 존재한다.1) 일차전자 : cathode sheath에서

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.04.04

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  SPUTTER

  타겟에 이온이 충돌해서 발생하는 2차 전자에 의해 glow discharge가 유지. ... discharge를 발생시킴. ... 이온이 많이 생겨 discharge 전류가 증가하고 스퍼터 속도가 향상된다.

  리포트 | 27페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.07

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  플라즈마, Chemical Vapor Deposition 와 Physical Vapor Deposition

  Chapman “glow discharge processes”, 1980 *Vp – Vf = = DC and RF DischargeConfiguration of cathode and ... affected electrons which perform an oscillating motion in the plasma Different ionization mechanism Discharge

  리포트 | 28페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.06.18

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