"glow discharge" 검색결과 101-120 / 188건

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  각종 진공 펌프 원리 사용 방법 sputter 1

  Ar이 excite되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다. plasma내의 Ar

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.03

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  PVD와 CVD법

  선택에 따라 다양한 박막 형성대량처리 가능control이 쉽다공 정precursors 유입, 확산 기판 표면에 흡착하여 화학반응 byproduct들이 표면에서 핵 생성(islands glow ... Vapor Deposition진공상태에서 plasma를 이용해 고체상태를 기체상태로 바꿔 기판에 증착하는 방식plasma ; 양/음전하가 동일하게 존재하는 이온화된 가스plasma discharge ... : 고융점 filament, baskets, 전자beam, 융점이 낮은 재료 증착에 유리- 장점 : 빠른 속도, 고융점 재료의 증착 가능- 단점 : X-ray 발생, 와류 또는 discharge3

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.28

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  [반도체 공학] pvd의 종류및 증착원리

  이렇게 생성된 2차 전자는 glow discharge에 이용되며, glow discharge를 유지하게 해 준다. ... 따라서 이온화되는 효율이 낮아 스스로 glow discharge를 유지하기가 불가능해진다. ... 이는 glow discharge가 유지되기 위해서는 최소로 요구되는 압력(lower pressure limit)이 있다는 것을 의미한다.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.09.30

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  반도체공정 레포트 최종

  discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다.- Plasma 내의 Ar+ 이온은 큰 전위차에 의해 cathode(target)쪽으로 가속되어 ... 이온화 시킨다.Ar + e-(primary) = Ar + e-(primary) + e-(secondary)- Ar 이 excite 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.01.25

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  ITO Glass

  discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 플라즈마를 보인다. ... 기체원자와 충돌하여 Ar을 이온화 시킨다.Ar +(primary) = Ar +(primary) +(secondary)Ar이 excite 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며 이때 glow

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.17

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  [재료공학]Ion Plating ( 이온플레이팅 )

  sheath로 나뉜다.1) negative glow대부분의 discharge 영역은 negative glow region으로 점유된다. ... 이온플레이팅은 은 박막의 성질을 향상시키기 위하여 glow discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭이라 할 수 있다. ... 따라서, 열전자 방출을 통한 triode discharge은 대부분의 이온을 최대 에너지로 전송한다.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.06

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  진공증착 (Sputtering)_pre

  따라서 이것은 glow discharge을 일으킨다.(+)전기를 띤 가스 이온은 (-)전기를 띤 음극 쪽으로 이끌리게 되며, 그 결과로 생긴 이온 전류의 흐름은 압력의 단위로 측정된다

  리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.06.10

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  PLA의 고유점도와 표면개질 측정

  아르곤이 열을 받게 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 플라즈마를 보인다.

  리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.10.16

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  [박막공학]박막형성의 원리

  (a) change of negative self-bias with RF discharge cycle and(b) plasma potential, cathode voltage and ... Simplified RF sputtering system [2].혹자는 RF를 사용하여 discharge를 하면 target이나 기판 모두가 스퍼터링 될 것으로 예상하기도 한다.

  리포트 | 30페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.12.27

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  Sputter

  Ar 이 excite 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다.-. ... 그러나 reactive sputtering에서는 진공압력 gauge나 glow discharge용 filament의 수명을 짧게하고 DC sputter동안 target 표면에 산화물

  리포트 | 2페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.12.24

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  Thin film Deposition(박막 제조)

  plasma discharge : Cathodic Arc Deposition - High power arc : Pulsed laser deposition- High power laser ... resistive heating : Electron Beam Physical Vapor Deposition - Electron bombardment : Sputter deposition - A glow

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.04.03

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  연소 화학 기상 증착법(Combustion Chemical Vapor Deposition)

  박막이 형성Thermal evaporationPVDSputter DepositionAr+DC SputteringRF SputteringTarget 재질전도체전도체,절연체,비금속,유전체Glow ... Discharge를 위한 PAr10~15mTorr3~5mTorr성막속도성막속도 크며 PAr 에 덜 민감성막속도 낮고 PAr 에 민감Shield크기작다 - 성막면적이 크다크다 - 성막면적이 ... BaTiO3,WO3화합물ZnO,AlN,TiN,Si3N4,ZrN SiC,TiC,MoS,FeSi,InPIon-platingDC ion plating RF ion plating HCD법 Arc Discharge법

  리포트 | 18페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.17

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  PDP (PLASMA DISPLAY PANNEL) PDP의 구동원리및 이론 메커니즘, 제조방법,

  . - 전자 홍수 구간(avalenche) 전자 홍수 구간을 통해 전구간에서 정규 glow 방전이 일어 나면서 전극들 사이에 발광 구간 형성.CathodeAnodeXe+eeeXe+XeeXe ... ___+++XYVexWall Charge 형성 (Stop DisCharge)___+++XYVW2VexVO : 인가 전압 Vf : 방전 개시 전압 Vw : 벽 전압 Vex : 방전 유지 ... current)___+++XYWall Charge 형성 (Stop DisCharge)___+++XYVW1Vex전압을 인가X0VY0VVex방전 개시___+++XYVex + Vw118세기초방전유지

  리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.12.18

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  ITO,ITO glass,,박막 증착 기술,전착(electro deposition)

  Ar이 excite되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다.-. plasma내의

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.10.20

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  구리필름 전기적 특성

  Ar을 이온화시킨다.Ar + e-(primary) = Ar+ + e-(primary) + e-(secondary)Ar이 excite되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow ... discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다. plasma내의 Ar+이온은 큰 전위차에 의해 cathode(target)쪽으로 가속되어 target의

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.14

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  Plasma의 기초 이론과 원리

  History of plasma and discharge1750년대: Benjamin Frankiln 이Leyden 병을이용하여“번개는전기현상이다.”라는것을밝힘최초의방전에관한학문음전기와양전기등의개념을도입번개를피하기위한피뢰침을고안최초의전기공학자19세기

  리포트 | 26페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.07.25

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  각종증착장비에대하여...

  discharge가 발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다.③ Plasma 내의이온은 큰 전위차에 의해 cathode(target)쪽으로 가속되어 target의 ... )에 전압을 가하면 cathode로부터 방출된 전자들이 Ar 기체원자와 충돌하여, Ar을 이온화 시킨다.② Ar 이 excite 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.04.13

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  ITO Glass

  discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭이라 할 수 있다. ... Sputtering시에는 전자의 이동을 용이하게 하기 위해서 진공상태를 만들어줘야 한다.② DC/RF sputtering③ Ion plating이온플레이팅은 은 박막의 성질을 향상시키기 위하여 glow

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2010.05.27

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  유해물질 사용제한 지침서, RoHS

  Discharge Mass Spectrometer) ppt ~ % Hg 흡광광도법 (UV/VIS Spectrophotometer) ppm 원자흡광광도법 (Atomic Absorption ... Plasma Atomic Emission Spectrometry) ppb ~ % 유도결합플라즈마질량분석기 (ICP-Mass Spectrometer) ppt ~ ppm 글로우방전질량분석기 (Glow

  리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.10.08

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  [공학기술]ion plating(이온도금)

  이온 도금 도금(Ion Plating)원리 및 장비 공정(이온 도금(ion plating)은 글로 방전(glow discharge)을 이용하여 기판에 지속적으로 이온충돌을 가하면서 ... 또 가스가 들어 있는 방전관에 직렬저항을 넣고 전극 전압을 방전개시전압 이상으로 높이면 글로(glow) 방전을 거쳐 이 상태로 된다. ... 끓는점이 높은 전극을 사용해서 금속의 발광 분석을 하고, 고온을 이용한 아크 가열은 금속을 용접하거나, 전기로, 아크로 등을 만드는 등 용도가 넓다.④ 불꽃 방전 방전(spark discharge

  리포트 | 26페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.06.08

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