"glow discharge" 검색결과 81-100 / 188건

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  sputter deposition에 대한 이해

  Glow discharge기체의 압력이 100∼103 Pa 정도의 진공내의 두 개의 전극간에 고전압을 걸어주었을 때, 양전극에 생기는 방전현상이다. glow discharge 중의 ... Sputtering 현상Glow discharge를 이용하여 ion을 형성하고 이를 전장으로 가속하여 고체 표면에 충돌시킨다. ... source를 사용하므로 DC방법보다 많은 장 점이 있다.- 부도체재료를 sputter 할 수 있고, 낮은 압력하에서 사용가능하다.(2) 주파수가 50kHz이상이면, negative glow

  리포트 | 20페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.09.07

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  반도체 공정의 이해

  Sputtering : 진공챔버내에 Ar 같은 기체를 넣고 음극에 전압을 가하면 음극으로부터 방출 된 전자들이 Ar 원자와 충돌하여 Ar 을 이온화시킨다 .( glow discharge

  리포트 | 29페이지 | 3,500원 | 등록일 2011.11.18

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  유전체의 특징

  glow, brush, streamer, 연면 corona② 전로파괴? glow discharge : 고전압, 저전류의 방전형식? ... 발광을 수반하지 않음(2) self sustaining discharge(자속방전)① partial(or corona) discharge? ... arc discharge : 저전압, 대전류의 방전형식③ spark discharge? 전로파괴가 시작되려고 할 때의 과도적인 방전형식2.

  리포트 | 64페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.01.22

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  플라즈마 공정

  Discharge sputtering) →가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다. ... discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭 ion-plating - 증착전 또는 증착과정중에 고에너지의 이온으로 형성되는 유속에 의해 지배되는 증착법. ... 있는 상태는 다음과 같은 3가지 상태가 복합적으로 일어나고 있다.반발이온화여기와 반발플라즈마의 특성전기적 특성 화학적 특성 물리적 특성 자기적 특성DC스퍼터링DC스퍼터링 (D.C Glow

  리포트 | 31페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.01.16

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  플라즈마 생성과 응용

  특징 정상상태의 안정한 Glow Discharge상태를 유지하여 모재(Materials)에 하전입자의 손상을 최소화하며 공정을 수행한다. -. ... discharge를 얻는다. ... 제조된다.플라즈마의 응용DBD 상압 방전은 그림 1-(a)와 같이 유전체의 전하축적(charge build-up)현상을 이용하여 교류전원에 의해 인가되는 전압 효율을 극대화시켜서 균일한 glow

  리포트 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.09.29

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  발광 박막의 제조2

  discharge가 발생하여 plasma가 보인다.target의 표면과 충돌하면, 중성의 target 원자들이 튀어나와 기판에 박막을 형성진공 증착법의 원리이론. ... 이온화 시킨다.Ar + e- (primary)= Ar+ + e- (primary) + e- (secondary)Ar이 excite되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow

  리포트 | 46페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.05.30

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  PEALD, Plasma Enhanced 원자층 증착

  후자는 low pressur glow discharge와 같은 것으로, 전자와 이온이 backgrund 기체 분자 보다 훨씬 더 큰 에너지를 가진다.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.07.05

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  방전

  글로 방전 ( Glow discharge )- 글로 방전은 극히 낮은 압력인 0.5 ㎜Hg 정도에서 기체를 수 ㎝ 채운 방전관에 전극을 놓고 높은 전압을 가하면 전류가 흐름에 따라 ... 코로나 방전 ( Corona discharge )- 코로나 방전은 기체 속 방전의 한 형태이다. ... 불꽃 방전 ( Spark discharge )- 불꽃 방전은 기체 내에 넣은 전극에 고전압을 걸었을 때, 갑자기 기체의 절연상태가 깨지면서 큰 소리와 함께 불꽃을 내며 방전하는 현상이다

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.07.12

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  VSDS를 이용한 환풍로 설계

  Dielectric Barrier Discharge플라즈마는 일반적으로 진공에서만 생성시킬 수 있는 것으로 알려져 있으며, Glow Discharge와 Arc Discharge가 가장 ... 만약 상압에서 균일한 Glow Discharge를 생성시킬 수 있다면 Batch type이 아닌 in-line 공정으로 표면처리 공정이 가능하고, 고가의 진공 장비가 필요 없는 경제성 ... 이 중에서도 Glow 방전은 전극의 양단에 약 수백V의 전압을 인가하여 플라즈마 내의 양이온이 음극과 충돌하여 발생된 2차 전자가 외부에서 인가한 전계에 의해 플라즈마로 가속되어 가면서

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.06.02

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  sputtering

  .- 부도체재료를 sputter 할 수 있고, 낮은 압력하에서 사용가능하다.(2) 주파수가 50kHz이상이면, negative glow region에 있는 전자들은 기체 원자들을 직접 ... 이온화 할 수 있는 충분한 에너지를 갖게 되어 실질적으로 discharge를 유지하는데 필요한 전자들의 수가 감소한다. ... 거의 모든 물질이 RF discharge에서 sputter되지만, 생성된 막이 target의 조성과 반드시 일치하지는 않으며, 금속, 합금, 산화물, 질화물, 탄화물 등의 증착 등에

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.03.24

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  도금

  region 에 진입되어 전자가 부가되는 에너지에 의해 cathode discharge 에 의해 glow discharge 를 유지* 특징― 열에너지 ＋ 플라즈마 에너지― 이온화 ... 이온들을 가속화된 상태로 제공- ion 이 cathode에 부딪히면 열과 중성원자의 발생과 2차전자 방출- 방출된 2차 전자는 가속화되어 dark space 로 되돌아와서 (-) glow

  리포트 | 39페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.11.03

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  [기기분석]AES-ICP

  -이 밖에 아래와 같은 원자화 장치가 있다.전열 원자화 장치(Electrothermal Atomization)글로우 방전 원자화 장치(Glow-Discharge Atomization ... 전극 없는 방전등(Electrodeless discharge lamp, EDL)-이는 원자 선 스펙트럼을 내는 유용한 광원이며 속빈 음극등보다 방출 복사선의 세기가 보통 10∼100배

  리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.05.08

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  이온 플래팅

  이 전자는 negative glow로 가속된 뒤 기체를 이온화시킨다. ... 따라서, 열전자 방출을 통한 triode discharge은 대부분의 이온을 최대 에너지로 전송한다. ... 사용할 수 있다.향상된 커팅속도는 高생산이 가능하다.● Mecher Productivity(기계부품)공정온도가 낮은, 최상의 밀착력을 얻는 HCD (= Hollow Cathode Discharge

  리포트 | 19페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.09.27

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  PDP의 기술동향

  ① 신 방전 모드 개발PDP의 방전은 방전 공간의 크기가 100~200 μm 정도로 작아서 Glow Discharge 영역 중에서 방전효율이 상대적으로 낮은 Negative Glow를

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.06.30

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  금속 산화물 및 질화물 합성 (예비)

  이런 진공챔버내에 Ar 등의 불활성 기체를 주입시킨 후 1 ~ 100 mTorr을 유지하면서 타겟과 기판사이에 전기적인 방전(glow discharge)을 일으켜 이온화된 기체, 즉

  리포트 | 18페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.04.04

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  ITO

  discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭이라 할 수 있다. ... 국부적으로 모아 Ar기체원자와의 충돌을 촉진시킴으로써 Sputter yield를 높이는 방법이다.4) Ion platingIon plating은 은 박막의 성질을 향상시키기 위하여 glow ... 이러한 단점은 RF Sputtering함으로써 해전체Target 제조방식진공주조HIP, sintered powderGlow discharge를 위한 Ar10~15m Torr2~5m

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.11.05

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  박막재료의 표면처리 및 식각실험

  충분히 커지게 되며, 불연속적인 glow-to-arc transition으로 이르게 된다. ... A～E영역은 코 로나 방전 외에는 눈에 보이지 않으므로 Dark Discharge라고 한다.계속적으로 전압을 증가시키면, 글로우 방전영역이 나타나는데, 이 영역에서는 전류 가충분히 ... 이러한 전이후에 직류 고 전압 장치의 내부저항에 따라 I와 K지점 사이의 어떤 지점에서 방전이 정착된다.⑦ I～K구간 : 아크영역(Arc Discharge)이라고 하며, J지점에서

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.05.27

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  플라즈마(plasma)에 관하여, 정의, 의미..

  Glow Discharge, D.C. ... Glow Discharge, Microwave Glow discharge를 사용하며 반응 물질을 플라즈마 에너지로 활성화 시킨 비평형 상태서 증착을 하므로, 열역학적으로 불가능한 화학

  리포트 | 47페이지 | 4,000원 | 등록일 2007.09.07 | 수정일 2014.07.01

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  잡음과 방전

  기체방전[氣體放電, gas discharge]기체 중에서 생기는 방전.

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.03

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  [물리과 실험] 글로우방전

  Glow DischargeGlow Discharge은 두 전극사이의 전압이 감압환경에서 희귀가스를 분해하여 전자-이온 쌍을 생성하는데 필요한 에너지 이상일 때 시작된다.Glow Discharge ... 충분한 에너지를 얻는다.그 다음에 있는 것은 Faraday dark space와 positive column 등이 있다2 RF Glow Discharge최초로 저기압 하에서의 Glow ... Paschen (1865~1947)에 의해현대식 Glow Discharge의 개발과 응용에 관한 연구가 시도 되었다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.22

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