"turbomolecular pump" 검색결과 21-24 / 24건

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  [진공 및 증착기술] 진공, CVD 및 PVD

  플라스틱 몰딩, 그리고 각종 조명기구 제작 등에 사용하고 있다.{2 로타리 펌프(rotary pump)대학실험실에서 가장 많이 사용되는 저진공펌프이다. ... 또한 분자드레그펌프가 같은 축의 뒷부분에 붙어서도 비슷한 성능을 발휘할 수 있다.{{2 크리이오 펌프(cryogenic pump)Cryopump라고도 부르는데, 터보펌프나 로타리펌프에서와 ... 즉, 두개의 pumping unit가 직렬로 연결되어 있어 일단계 배기과정을 거쳐 배출된 개스가 대기 중으로 방출되지 않고 이단계 펌프의 흡입구로 들어가도록 설계되어 있어 일단계 펌프보다

  리포트 | 13페이지 | 2,000원 | 등록일 2004.11.22

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  [박막공학 진공장비] 진공이론

  trap의 내부 표면이 차가워짐 - 냉각된 표면이 가스를 냉동, 또는 농축 시킴으로써 가스를 trap 시킴Turbomolecular Pump (1/2)구조 - rotating disk ... 보다 작으면 pump로 부터 배출될 수 없다. ☞ 더 이상 chamber의 압력을 낮출 수 없다. ☞ Oil을 사용하여 sealing ☞ Pump내 마지막 sealing을 만드므로 ... - rotary pump 두 개를 직렬 연결하면 낮은 압력에서 pumping speed 를 높일 수 있고 ultimate pressure를 낮출 수 있다.Rotary Piston

  리포트 | 51페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.07.08

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  Wafer 결정성장 방법

  [그림 12]은 전형적인 다실 MBE 시스템의 모양을 보여주고 있다.이 시스템은 스텐레스강으로 만들어졌으며 이온(ion),크라이오(cryo),터보몰레큘(turbomolecular), ... 확산(diffusion), 흡착(sorption) 및 승화(sublimation) 펌프들의 적절한 조합으로 UHV의 진공도를 유지 할 수 있다.반사 고에너지 전자 회절(RHEED

  리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.10.03

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  단위공정

  1.(a) Determine the exact number of 5 mm x 5 mm dies that will fit on a wafer with adiameter of 200 mm. Neglect the wafer flat and disregard the imper..

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2001.10.17

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