"sputtering 종류" 검색결과 41-60 / 444건

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  [물리학과][진공 및 박막 실험]진공장비 분해조립 및 Si Wafer cutting

  예를 들어 sputtering을 이용할 때는 mTorr의 기압이 필요하나 CVD의 경우에는 그보다 100배 이상의 압력이 사용되고 있다. ... 진공펌프를 종류 별로 상세히 설명하기 위해서는 각 종류마다 한 권 씩 책을 써도 모자랄 정도로 많은 지면이 요구되고, 또 유체공학 및 기계공학적인 전문 지시기 없이는 이해하기 힘든면이 ... 진공 펌프의 원리진공펌프의 종류가 여러 가지로 구분되고 있는 것은 각 펌프의 작동 원리가 서로 다르고, 이에 따라 펌프의 최대 진공도 및 쓰이는 용도가 각기 다르기 때문이다.

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.23

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  [2019 A+ 인하대 공업화학실험] 패터닝 결과보고서 공화실 결보

  이는 C2F6가 증가할수록 Ar+의 물리적식각, 즉 sputtering가 감소한다. ... O2는 PR층을 깎는 ashing을 한다.실험 중 빛의 색여기상태에 의해 나타나며 유입되는 가스의 종류에 따라 나타내는 색이 다르다.결론이번 실험에서는 패터닝이 완료된 웨이퍼를 가지고 ... 전체 기체 유량은 20 sccm이고 power은 700W 이며 압력은 5mTorr, dc-bias voltage는 300V이다.

  리포트 | 17페이지 | 3,500원 | 등록일 2020.04.13 | 수정일 2020.04.18

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  기기분석2 현미경 레포트

  구조 형ion에 대해서만 알아보도록 한다.a) 회로 수정FIB Etching(식각)/Deposition(증착) : LMIS로부터 발생한 이온을 강하게 시료에 조사하면 충돌로 인해 sputtering이 ... 분야에서 가장 활발하게 STM을 이용해 분석하고 있으며, 다음과 같은 연구에 응용할 수 있다.- 반도체 재료에서 허용될 수 있는 결함의 정도- 반도체와 금속의 접합부의 전기적 성질- 종류가 ... 터널링 전류 j와 두 도체 사이의 간격 s의 관계는 다음과 같은 식으로 유도할 수 있다.이 식에서 V는 두 도체 사이에 인가된 전압을, k와 s는 물질 상수와 probe 형상에 의해

  리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.08.31

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  [고체 물리] 스퍼터링 결과 보고서

  토의사항우리 실험의 목적은 박막 성장 방법 중의 하나인 sputtering을 이용해 substrate 물질인 silicon에 target물질인 구리를 증착시키는 것이다. ... 그리고 이러한 둥근 모양은 heat distribution이 골고루 잘 되게 한다.그리고 이 실험이 오래 걸렸던 이유 중 하나는 온도가 떨어질 때까지 기다려야했기 때문인데, sputtering에 ... Vacuum gauge의 종류와 원리에 대해 알아보자.희박한 기체의 압력을 측정하는 장치이다.

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.07.30

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  [기초공학실험]Cu film의 전기적 특성 분석 실험

  종류 ① DC sputtering직류전원을 이용한 sputtering 방법이다. ... DC sputtering에서는 target이 산화물이나 절연체일 경우 sputtering되지 않는다. ... RF sputtering은 금속 이외에도 비금속, 절연체, 산화물, 유전체 등의 sputtering이 가능하다.?

  리포트 | 8페이지 | 3,200원 | 등록일 2019.09.02 | 수정일 2020.08.10

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  sputtering(스퍼터링)

  이러한 electron은 chamber안의 sputtering gas(주로 Ar)를 때리게 되고 sputtering gas는 다시 target 표면을 때리게 된다. ... 스퍼터링(Sputtering)1) 스퍼터링(sputtering)의 정의Figure 1. ... 원자 이외에 또 다시 secondary electron 도 나오게 되는데 이들은 다시금 sputtering gas 를 때려 연쇄적인 반응을 일으켜 플라즈마를 발생시킨다.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.12.01

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  투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

  Reactive sputtering : RF보다 불리함-RF sputtering-a. 전도체, 절연체, 비금속, 유전체b. HIP 또는 sintered powderc. ... Reactive sputtering에 적합③DC/RF 마그네트론 스퍼터링 장치기존 스퍼터링 방법에 자기장을 사용하면 마그네트론이라는 단어를 붙여 마그네트론 스퍼터링 방법의 특징을 띄게 ... 정의2.2전공펌프의 종류2.3진공펌프의 원리3.진공 게이지3.1진공 게이지의 정의3.2진공 게이지의 종류 및 원리4.스퍼터링4.1스퍼터링의 정의4.2스퍼터링의 종류4.3스퍼터링의

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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  SPUTTERING

  장.단점 -------------------- 8sputtering 종류 -------------------- 8참고자료? ... sputtering 종류- DC Sputtering그림 4. basic dc sputtering system스퍼터링 방법은 스퍼터링 가스를 진공상태인 chamber에 주입하여 증착시키고자 ... -------------------- 3sputtering -------------------- 3sputtering 원리 ------------------- 4sputtering

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.12.18

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  VLSI공정 5장 문제정리

  RF sputtering을 비교하여라.glow방전을 위해 DC power를 사용하는 것이 DC sputtering 이며 타겟으로 금속만 가능하다.RF sputtering은 13.56MHz의 ... 방전 전류를 증가BUT , 100Ev 이상의 전압에서 이온화 단면이 감소 –Ar의 압력을 증가.입사각이 약 80도 일 때 최댓값을 나타낸다.가 커지면 스퍼터링 효율도 증가한다.DC sputtering와 ... -대면적을 균일한 두께로 증착 가능-두께 조절 용이-정확한 합금성분 조절-step coverage, grain structure(입자구조), stress(응력) 조절가능-전처기 청결

  리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2018.06.05 | 수정일 2020.05.03

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  진공의 이해

  ► DC sputtering • 원리 - 충분한 농도(1~5CNT/나노 초정밀 가공/NEMS 소자나노산업생체재료/멸균/신약바이오 산업정보통신산업통신부품용 박막제조/EMI 부품/ 광통신 ... N/m2= 7.5 x 10-3 Torr 주요 압력 단위 환산 관계진공의 단위 및 분류증착 장비증착 기술 - PVD (Physical Vapor Deposition) • 스퍼터링 (sputtering ... pumpMain valveforeline valveroughing valveconductance valvetargetcathodeSputtering 의 특성 • 거의 모든 원소를 sputtering

  리포트 | 58페이지 | 2,000원 | 등록일 2018.06.10

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  표면개질공학 sputtering 원리와 특징, 현상과 응용

  입사하는 입자에 따라 sputtering yield가 크게는 100배 정도까지 차이가 나는데 이것은 target의 종류에 따라서는 10배 정도밖에 차이가 안나는 것과 비교하면 매우 ... )로 정의된다.영향을 미치는 주요 변수로는 target의 종류, 입사 에너지, 입사각도, target surface의 crystal 구조 등이 있다. ... , RF plasma sputtering, magnetron sputtering등이 있다.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.01.05

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  건축용 유리제품의 종류와 로이복층유리의 특징

  로이유리의 종류는 코팅 제조방법에 따라 파이롤리틱 공법(pyrolytic process)에 의한 하드 로이(hard low-E)와 스퍼터링 공법(sputtering process)에 ... 의한 소프트 로이(soft low-E)로 구분한다. ... 이후 건물 외관의 개성을 중요시 하고, 성능면에서 단열특성이 요구되어 각종 반사유리, 복층유리, 스팬드럴(spandel)유리, SPG시스템이 나타나게 되었으며, 최근에는 외관뿐만 아니라

  리포트 | 2페이지 | 1,500원 | 등록일 2018.12.18

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  sputtering (스퍼터링)

  않아 균일한 두께의 증착이 어려움스퍼터링 (sputtering)의 종류1) DC sputtering소스2) RF sputtering부도체 박막을 증착 시키기 위해 개발된 방법으로, ... DC sputtering에서는 target이 산화물이나 절연체일 경우 sputtering 되지 않는다. ... 크게 sputtering과 evaporation으로 나눌 수 있다.스퍼터링 (sputtering)의 원리스퍼터링은 DC 또는 RF 전원이 두 전극 사이에 가해지면 음극에서 방출, 가속된

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.12.07

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  [고분자공학실험]ITO Pattering 공정

  특히 dry etching의 경우 이온 가속만을 이용하는 IBE(ion beam etching)와 sputtering과 같이 magnetron을 이용하는 sputtering etching ... PR인데, 이 막은 빛에 노출되면 그 물리적 특성이 변화되는 성질을 이용하여 마스크 마스크 (Mask) 패턴을 실리콘 웨이퍼 위에 옮길 수 있는 것이다.∴ Photoresist의 종류 ... 이 공정을 통해 용해되는 PR film은 PR의 type에 따라서 크게 positive와 negative PR 두 종류로 분류되는데 positive type일 경우 UV가 조사된 부분만이

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2017.11.12 | 수정일 2020.08.05

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  스퍼터링(sputtering deposition)의 이론 및 원리

  동안은 양이온을 끌어들여 sputtering 양의 반주기 동안은 전자를 끌어들여 축적된 양전하를 중화 시켜 방전을 지속시킴 • 장점 : 거의 모든 물질을 sputtering • 단점 ... 피하기 위해 공정의 주의 깊은 조절이 필요 2) compound-coated cathode - 간단하나 sputtering 속도가 느리다. - sputtering 기술, 물질, 증착조건에 ... (Bias sputtering){nameOfApplication=Show}

  리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.24

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  신소재 실험

  yield 감소.② Target의 온도: sputter yield가 아주 높은 경우를 제외하고는 민감하지 않음.③ 이온의 입사각: Max sputter yield –약 80°④ Target ... √이러한 현상 때문에 부도체를 sputtering, etching 등을 할 때는 교류전원을 사용한다. ... Sputter서론반도체, 도체 및 부도체박막의 제조방법으로는 CVD, evaporation, sputtering 등의 다양한 방법이 있다.

  리포트 | 13페이지 | 4,000원 | 등록일 2010.03.01 | 수정일 2018.10.22

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  표면 분석(AES/SAM)

  이에 대한 주요 결과로 Ar 이온빔에 의한 preferential sputtering에 의하여 표면조성이 변화된 Ta2O5 표면층의 깊이분포 분석, SiO2-Si(100) 계면의 1.3nm ... 표면/계면 화학조성 분석 (1) 스퍼트링에 의하여 조성이 변한 표면층 분석표면 조성을 원자층의 분해능으로 측정할 수 있다는 것을 Ar+ 이온빔에 의한 preferential sputtering에 ... 본래의 시료는 Ta의 표면 농도 변화없이 Ta의 피크가 일정하게 나타나는 반면에 Ar+ 이온으로 스퍼터링한 시료에서 얻은 n charge neutralier 등으로 구성되어 있고 sputtering되는

  리포트 | 37페이지 | 1,500원 | 등록일 2017.09.22

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  콘크리트 SEM&XRD

  차 전자 ) 의 효율을 증가 전자선 및 열로부터 시료표면을 보호 팽창 및 축소 억제 15~40nm 두께로 코팅 금 금 + 팔라듐 백금 백금 + 팔라듐 코팅방법 진공 증착법 Ion sputter ... Characterization 표면 , 박막 , 벌크 시료 등 산란 , 방사선 , 이차 신호 등 광 전기신호 이미지 , 스캐닝 등 재료 특성화와 기능 측 정을 위한 재료 분석의 종류

  리포트 | 48페이지 | 5,000원 | 등록일 2018.04.27 | 수정일 2018.04.30

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  태양전지 정의 및 이론 정리 만점 받은 레포트

  Physical Vapor Deposition)- 스퍼터링(sputtering) 물리적 기상 증착 : 스퍼터링은 글로우 방전에서 발생되는 정이온을 전계에 의해 높은 에너지로 가속시켜 ... 태양광 발전시스템은 태양 전지(solar cell)로 구성된 모듈(module)과 축전지 및 전력변환장치로 구성됨태양 전지의 역사? ... < 목 차 >태양광 이용 기술태양 전지의 역사태양 전지의 장점태양 전지의 단점태양 전지의 이해태양 전지의 원리태양 전지의 종류태양 전지의 핵심 기술태양 전지의 이용 분야전세계 및 우리나라

  리포트 | 10페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.02.28 | 수정일 2021.07.01

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  스퍼터링(sputtering)

  구조가 간단하며, 가장 표준적인 sputter 장치이다.? 성막속도가 여러 종류의 금속에 대해 거의 일정하다.? 전류량과 박막두께가 거의 정비례하므로 조절이 쉽다.? ... 스퍼터링(sputtering)1. ... 이러한 현상을 물리학에서는 “sputtering”이라고 말한다.2) 스퍼터링 박막형성박막 증착에서 sputtering이라 하면 target 원자의 방출과 그 원자의 substrate에의

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.11.18

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