"sputtering 종류" 검색결과 81-100 / 444건

• 

  신소재공학실험 집적회로실험보고서 반도체 집적회로 IC

  오염한 오염 가능성.(2) 스퍼터링의 종류(가) 직류 인가 스퍼터링(D.C Glow Discharge sputtering)가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다 ... (나) 라디오 주파 스퍼터링(radio frequency-sputtering)직류 인가 스퍼터링의 가장 큰 단점은 절연물질의 증착이 불가능하다는데 있다. ... 또한 이 장치는 반응성 스퍼터링(reactive sputtering)에는 적합하지 않은데, 특히 타겟 표면에 절연물을 형성함으로써 타겟의 오염을 유발시킬 수 있기 때문이다.

  리포트 | 37페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.06.29

  다운로드 장바구니
• 

  [발광디스플레이 실험] Ni Sputtering을 통한 박막형성

  -성막속도가 여러 종류의 금속에 대해 거의 일정하다.-전류량과 박막두께가 거의 정비례하므로 조절이 쉽다.-RF sputtering에 비해 성막속도가 크다.-박막의 균일도가 크다. ... 의하여 중성화되어 중성원자로 target에 충돌하기 때문이다.1) DC sputtering그림 SEQ 그림 \* ARABIC 12 DC sputtering의 개략도DC sputtering은 ... 실험 제목: Ni sputtering을 통한 박막형성실험 날짜: 2011. 9. 22.실험 목적RF sputtering을 이용해 Ni 박막을 형성하고, SEM을 통해 그 두께와 표면을

  리포트 | 8페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.12.28

  다운로드 장바구니
• 

  박막 증착에 관한 진공장비(시스템) 소개 및 원리 숙지

  adhesioncostevaporation < sputtering < PLD < MBEfilm qualityevaporation < sputtering < PLD < MBEgrowth ... 사용된다.c. triode sputteringㄱ.금속 필라멘트를 가진 제 3의 전극(simple biased conductor of thermionic electron source ... rateevaporation > sputtering > PLD > MBE① evaporationa.

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.04.21

  다운로드 장바구니
• 

  스퍼터링

  electron이 Ar과 충돌해서 ionization시켜서 Ar+를 만들고 Ar+이 ground state로 떨어지면서 빛을 낸다.2)스퍼터의 종류※왜 금속은 DC sputter를 ... 기초이론 및 원리1)스퍼터링(sputtering)이란? ... 사용하고 세라믹은 RF sputter를 사용할까?

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16

  다운로드 장바구니
• 

  [발광디스플레이실험] Photolithography

  특히 dry etching의 경우 ion 가속만을 이용하는 IBE(ion beam etching)나 sputtering과 같이 magnetron을 이용하는 sputtering etching이 ... 일반적으로 sputtering 방법은 증착 속도가 느리고 증착할 수 있는 두께의 한계가 있으며 alloy나 ceramic 등과 같이 여러 물질이 조합된 물질을 증착할 경우에 조성비를 ... PR의 종류에 따라 mask 또한 negative 혹은 positive로 분류되며 positive PR에 positive mask를 사용하거나 negative PR에 negative

  리포트 | 8페이지 | 10,000원 | 등록일 2013.06.14

  다운로드 장바구니
• 

  85화합물 반도체 공정(유전막 증착)

  위해 이동식 shutter가 있다.DC 스퍼터링장점 구조가 간단, 가장 표준적인 sputter장치 증착속도가 여러 종류의 금속에 대해 거의 일정 전류량과 박막두께가 거의 정비례 높은 ... 에너지의 공정이므로 밀착강도가 높다 단점 Target 재료가 금속에 한정됨 - RF sputtering이 보완함 높은 Ar압력이 필요하다. ... 스퍼터링(sputtering)은 높은 에너지( 30 eV)를 가진 입자들이 target에 충돌하여 target 원자들에게 에너지를 전달해 줌으로써 target원자들이 방출되는 현상1Cue

  리포트 | 43페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

  다운로드 장바구니
• 

  메모리 반도체 제작 과정 및 이론 설명 ppt

  Pulsed Laser Depostion Ion Beam sputtering Thermal CVD Plasma enhanced CVD Metal-organic CVD Molecular ... FRAM결정성장 PVD : Physical Vapor Depostion CVD : Chemical Vapor Deposition Thermal evaporation DC or RF sputtering ... LPCVDPhysical vapor deposition PVD 스퍼터링법 DC 스퍼터 RF 스퍼터 바이어스 스퍼터 진공증착법 저항가열증착 전자빔증착 고추파가열 증착 이온 플레이팅법RF sputtering

  리포트 | 72페이지 | 10,000원 | 등록일 2013.04.22 | 수정일 2023.04.24

  다운로드 장바구니
• 

  TFT(Thin Film Transister) 실험레포트

  반응성이 낮은 비활성기체 Ar(아르곤) 원자를 이용하여 Target에 충돌시키면 튀어나오는 Target의 원자를 기판에 증착하는 방식이다.기판에 Gate 전극을 증착할 때 먼저 Pre-sputtering을 ... 마스크의 종류에는 필름 마스크와 쉐도우 마스크, 크롬 마스크가 있는데, 우리는 TFT의 미세패턴을 얻기 위해 크롬 마스크를 사용하였다. ... 이후 IPA와 아세톤을 이용하여 유기 파티클을 제거하고 다시 DI Water로 잔류물을 추가적으로 제거하는 작업을 실시하였다.(3) 증착법의 종류와 Sputter를 이용한 Gate증착증착

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.06.19 | 수정일 2017.10.16

  다운로드 장바구니
• 

  E-Beam Evaporator를 이용한 박막 증착 원리 이해(결과보고서)

  , 전극의 구조 등에 따라 처음 표와 같이 여러 종류로 나뉜다.금속의 질화물 혹은 탄화물의 박막 형성에 널리 사용되는 반응성 스퍼터(reactive sputtering), 스퍼터 가스가 ... 게터 스퍼터(getter sputter), 타겟 자신의 증발 이온으로 타겟을 재차 스퍼터하는 자기 스퍼터(self sputtering)라고 한다. ... 스퍼터 증착한 타겟 물질을 기판 위에 침착시켜서 박막을 형성하는 것을 스퍼터 증착(sputter depostion)이라고 한다.

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.05.20

  다운로드 장바구니
• 

  sputtering을 통한 metal deposition 및 I-V, C-V 측정

  기체 압력이 너무 낮으면 - 플라즈마의 이온화율 감소 → sputtering 속도 감소? ... PR strip한 pattern도 잘 나왔다.어긋났던 pattern은 sputtering후에도 다음과 같은 pattern을 보인다.충분한 PR strip 시간에도 불구하고 덜 strip된 ... 불활성 gas plasma를 이용하여 sputtering- target이나 기판에 직접적인 화합물 형성에 참여하지 않음?

  리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.04.21

  다운로드 장바구니
• 

  골프에 관하여

  *골프 클럽의 종류골프 클럽의 종류에는 네 가지가 있는데 우드(Wood), 아이언(Iron), 웨지(Wedge), 퍼터(Putter)가 있다.· 우드(Wood)우드는 골프 클럽 중에 ... 퍼터도 종류가 여러 가지가 있지만 별로 중요하지 않다. 퍼터도 종류가 여러 가지가 있지만, 별로 중요하지 않다. ... 피칭웨지는 보통 80~100야드 정도의 어프로치샷을 할 때 사용하고, 샌드웨지는 벙커에서 탈출할 때 사용한다.· 퍼터(Putter)퍼터는 제일 마무리를 담당하는 골프 클럽이다.

  리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.12.19

  다운로드 장바구니
• 

  플라즈마 방전관 설계

  이에 따라 음극에서 입사하는 이온의 에너지가 커지면 스퍼터링(sputtering)이 현저하게 된다. 스퍼터링 이란 가속된 원자나 분자가 공간속으로 튀어나가는 현상을 말한다. ... V _{K}의 실험식은 다음과 같다.V _{K} =V _{O} +K {sqrt {j}} over {P _{O}}여기서 V _{O}, K는 기체 종류에 따라 정해지는 정수이며, j는 ... ```````````````````#`````````````````````=`10000` TIMES `15.994 TIMES 10 ^{-3}#````````````````````#`

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.05.30

  다운로드 장바구니
• 

  6. ITO scribing & cleaning(예비)

  덩어리 상태에서는 노란회색을 띤다.ITO Glass는 투명 기판(Glass) 위에 ITO 박막을 sputtering 방법으로 코팅한 유리를 말한다. ... 반도체 소장 공정 중 웨이퍼 표면 위에 오염되는 불순물의 종류는 크게 오염물은 particle, 유기 오염물, 금속 오염물 그리고 자연 산화막으로 나눌 수 있다. ... DI rinse & Spin dry-Shower rinse times : 5 회-spin dry : 1000rpm/240~360s?

  리포트 | 22페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.06 | 수정일 2016.04.11

  다운로드 장바구니
• 

  Coating - PVD & CVD Deposition, Sputter, Evaporation

  다만 CVD는 PVD보다 일반적으로 훨씬 고온의 환경을 요구한다.sputtering / 증 이용해 왔으나 최근에는 엑시머 레이저를 이용하는 방법의 개발이 이루어져 있다. ... 물질과 반응하지 않는다.고절삭삭시 발생하는 열에 대하여 화학적으로나 물리적으로도 내성을 가지며, 강재가공시의 크레이터 마모나, 주철가공시의 플랭크 마모에도 높은 항력을 발휘한다.sputtering ... 기판을 증착재료 가까이 놓으면 용발된 재료가 기판에 날라와 균일하게 증착되는 것이다.박막 증착 방법의 종류- 화학 기상 증착법(CVD Chemical Vapor Deposition)

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2014.06.23

  다운로드 장바구니
• 

  Photolithography 예비보고서

  포토리소그래피를 끝나면 sputtering을 진행한다. sputtering법은 sputtering 가스를 진공분위기로 이루어진 camber내로 주입하여 성막하고자 하는 target물질과 ... 일반적으로 사용되는 sputtering 가스는 불활성 가스(inert gas)인 Ar을 사용한다. sputter장치의 시스템은 target쪽을 음극(cathod)으로 하고 기판쪽을 ... 여기서 인가된 전원이 직류(direct current, DC)일 경우를 직류스퍼터링법(DC sputtering methode)라 하며 일반적으로 전도체의 sputtering에 사용된다

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.07.10

  다운로드 장바구니
• 

  deposition 방법

  ”이라고 말한다.박막 증착에서 sputtering이라 하면 target 원자의 방출과 그 원자의 substrate에의 부착이라는 2가지 과정을 포함하는 개념으로 볼 수 있다. ... 다만 CVD는 PVD보다 일반적으로 훨씬 고온의 환경을 요구한다.sputtering / 증착도금진공 속에 물건과 도금할 금속을 넣고, 금속을 가열하여 휘산(揮散)시켜서 물건 표면에 ... 이 튀어나온 원자들이 날아가서 원하는 표면(wafer)에 붙게 되는 것이다.http://www.ece.utep.edu/research/cdte/Fabrication/sputtering.gif고체의

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.06.05 | 수정일 2013.12.01

  다운로드 장바구니
• 

  골프 퍼터에 관한 연구

  퍼터의 종류★과거의 클럽 - 샤프트는 과일나무를 대부분 사용 . ... 1.5scotty cameronLaguna 2 California Monterey,Coronado,Soronado,Del Mar,Hollywood 10 New ViQ Putter ... , Super Premium EXE PUTTER , ViQ PUTTER ViQ Putter , KEVIN BURNS , PV 시리즈 퍼터 , ROSSA GHOST,Tby KiaMa2010

  리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.06.16

  다운로드 장바구니
• 

  고진공 저진공 펌프에 대해 조사한 레포트 입니다.

  .- Food processing, 증류, 박막증착(sputtering, LPCVD), 네온사인 등에 쓰인다.고진공 (High vacuum)- 기체의 평균 자유행로가 진공용기의 크기보다 ... pumpsputter ion pump극초고진공▲ 압력에 따른 여러 가지 진공펌프의 종류 (표)펌프의 종류는 표에서 나타낸 것과 같이 사용 가능한 압력에 따라 저진공, 고진공, 초고진공 ... 많은 종류가 있는데, 실험실적인 소규모용으로 [1~10] ~ [2mmHg] 정도의 진공을 얻는 데는 회전 펌프가 가장 보편적으로 사용되며, [10] ~ [3mmHg] 이하의 고진공을

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.05.30 | 수정일 2017.01.09

  다운로드 장바구니
• 

  [고분자재료실험] 6. ITO Patterning - 예비

  ITO 기판- ITO glass란 투명 기판 위에 ITO 박막을 sputtering 방법으로 코팅한 유리를 말한다. ... Etching은 그 방법에 따라 크게 wet etching과 dry etching으로 나누어지는데 wet etching은 주로 liquid상태의 chemical을 사용하는 모든 종류의 ... 이 공정을 통해 용해되는 PR film은 PR의 type에 따라서 크게 positive와 negative PR 두 종류로 분류되는데 positive type일 경우 UV가 조사된 부분만이

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.12.26

  다운로드 장바구니
• 

  디스플레이 제조공정 및 개요

  디스플레이 제조공정▣ INDEX 디스플레이 및 반도체 전체공정 진공공정 - 1)CVD - PECVD - 2)PVD -Vacuum evaporation - sputtering 리소그래피공정 ... 주위에 감아 RF 전류를 흘려 가열시키는 방법이다▣ 스퍼터링 높은 에너지를 갖는 입자가 target 에 충돌하면 target 로부터 원자 또는 분자가 튀어 나오는 현상을 스퍼터링 (sputtering ... 플라즈마 가스는 전기적 파괴에 의해 생성되며 가스의 종류에 따라 강한 화학 반응을 일으킬 수 있다 . Dry Plasma Etcher디스플레이 제조공정과 제조업체 2.

  리포트 | 30페이지 | 3,500원 | 등록일 2012.06.19 | 수정일 2015.12.14

  다운로드 장바구니