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"스퍼터링이란" 검색결과 181-200 / 230건

  • 진공펌프의 종류와 용도
    스퍼터링 증착의경우는 보통 수 mTorrdud역에서 시행이 되는데, 앞에서 얘기했듯이 이영역에서는 확산펌프의 경우 역류의 가능성이 크다. ... 예를 들어 반도체 물질의 도핑 정도를 따질 때 ppm이란 단위를 쓴다. 즉, 백만분의 일 정도의 이물질이 그 특성을 바꾼다는 것이다. ... 진 공 펌 프서 론우리는 주변에서 진공이란 말을 많이 들으면서 살고 있습니다. 넓은 의미로 정의하면 대기압보다 낮은 기체의 압력 상태를 말하는데 가까이에서 많이 접하고 있다.
    리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.05.10
  • 구리동전의 도금
    음극 스퍼터링 : 진공 내에서 양이온의 입자로 음극물질을 때림으로써 음극물질이 튕겨나온 것이 진공내의 피도금물체에 피막을 만든다. ... 실험 하기 전 이론적 고찰♣ 도금이란?금속의 표면이나 비금속표면에 다른 금속을 사용하여 피막을 만드는 처리이며, 처리 방법으로서는 전기도금, 화학도금, 용융도금.
    리포트 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.06.04
  • 평판디스플레이
    용융온도에서 고체로부터 투명한 액체로 변화하지만, 액정물질은 용융 온도에서 우선 불투명하고 혼탁한 액체로 일단 변화하고 그 후 더욱 온도를올리면 보통의 투명한 액체로 변화한다.액정이란 ... 이 유전층 형성으로 인하여 AC PDP의 주요 특징중의 하나인 메모리 특성이 나타난다.MgO 보호막은 PbO 유전층을 이온의 스퍼터링으로부터 보호하여 주며,또한 방전시 낮은 에너지의 ... 형성방법을 보면 E-beam 증착과 스퍼터링법이있는데 특성상의 큰 차이는 없고 보호층 형성속도면에서E-beam법이 10배 이상 빠르므로 경제적인 방법으로 검토되고있으며 MgO 페이스트를
    리포트 | 47페이지 | 2,000원 | 등록일 2004.10.03
  • [재료공학]Ion Plating ( 이온플레이팅 )
    Ion Plating 이란?이온플레이팅은 은 박막의 성질을 향상시키기 위하여 glow discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭이라 할 수 있다. ... Mattox는 이것을 ‘증착전이나 증착과정 중에 고에너지의 이온으로 형성되는 유속에 의해 지배되는 증착법‘이라고 풀이하였다.이온플레이팅도 스퍼터링과 비슷하게 플라즈마를 사용한 증착공정이지만 ... 스퍼터링과는 달리 보통 증착하고자 하는 물질을 증발 법으로 기상화한 뒤 reactive gas나 불활성 기체들과 함께 이온화하여 음의 전압이 가해진 기판으로 가속하므로 기판의 표면이나
    리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.06
  • cvd 와 pvd의 특징과 비교
    다만 CVD는 PVD보다 일반적으로 훨씬 고온의 환경을 요구합니다.먼저 PVD에 대해 언급하면, PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam
    리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.10.14
  • 반도체 제조 공정
    단결정 성장(초크랄스키법)☞ 단결정이란 : 하나의 결정 물질 내부의원자들이 규칙적으로 배열☞ 단결정을 하는 이유: 캐리어의 이동을 원활하게 하기 위해☞ 초크랄스키 방법: 용융된 실리콘 ... 공정 (Metallization)☞ 웨이퍼 표면에 형성된 각 회로를 금속선으로 연결시키는 공정으로 보통 알루미늄이나구리, 금 등의 금속 재료를 사용 일반적으로 금속은 증기 혹은 스퍼터링
    리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.06.02
  • 노광공정 및 식각공정
    화학 기상 증착법 또는 스퍼터링 을 이용해 전도성 폴리실리콘 층을 형성하며, 이 영역은 트랜지스터의 게이트가 됨.전통적인 리소그래피 - 트랜지스터6. ... *식각(Etching)Etching(식각)이란 물리적, 화학적인 반응을 이용하여 Glass 상에 PR에 의하여 형성된 Pattern대로 박막을 선택적 제거함으로써 실제의 박막 Pattern을
    리포트 | 29페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.05.09
  • 진공의 기초
    torr ~ 10 -8 torr - 초고진공 (ultra high vacuum) : 10 -8 torr 이하 이용 – 저진공 • ( 식품생산 , 진공 증착 , 냉동건조 , 증류법 , 스퍼터링 ... ----------------------------------------- 3 Field Emission 의 개요 ------------------------------13 2진공이란 ... Torr 이하 원자핵 연구장치 , 전자 현미경 Plasma 발생기 , 물리 실험 장치 터보 분자 펌프 , 저온 냉각펌프 , 흡착 펌프진공을 위한 부품들 12 진공용기 및 배기관 : 진공이란
    리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.29
  • 이온플레이팅의 원리
    한 예로 증발입자의 운동에너지는 진공증착의 경우 0.1~0.5eV, 스퍼터링의 경우 100eV 정도이지만 이온플레이팅의 경우는 100eV 이상에 달한다.또한 코팅물질을 증발시키기 전 ... 있는 절삭공구의 초경질 TiC, TiN, TiCN막 코팅, 장식품의 금색 TiN막 코팅 등 반응성 이온플레이팅은 대부분 이 기본적인 ARE법에서 파생된 것이다.Ion Plating이란 ... 즉, 이온을 사용한 도금이라고 하여 이온 도금이라 한다.다시 말해서 이온 플레이팅이란 진공챔버(Chamber)내에 아르곤 등의 가스를 주입하여 약 10 torr의 고진공 상태에서 플라즈마를
    리포트 | 23페이지 | 2,500원 | 등록일 2007.12.02
  • [반도체재료] 박막증착
    박막이란, 두께가 단원자층에 상당하는 0.1nm에서 10μm정도의 두께를 가진 기판 상에 만들어진 고체 막으로 정의된다.이와 같은 박막은 형성과정이 보통의 덩어리재료(Bulk)와 다르기 ... 축척되어 스퍼터링할 수 없는 경우에 사용한다. ... 다른 방식에 비하여 많은 면적을 동시에 피복시킬 수 있으며, 다른 스퍼터링 방식에 비하여 10배 이상의 스퍼터링 효율이 있고, 피처리물 가열온도를 낮출 수 있어서, 유리판 피복, 열반사도막
    리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.05.10
  • 플라즈마
    *DLC*대표적 플라즈마 현상(1) 전리층전리층은 영어의 이온(ion)이란 단어와 영역(sphere)이라는 단어가 결합되어 이루어진 것으로 고층 대기 구성물질의 이온화 정도에 따라 ... 한편 질화처리한 시편은 450℃에서 30분간 Ar스퍼터링을 거쳐 CH4:N2:H2=66:24:10(vol%), 20min, 80W의 조건으로 r.f-PACVD(Plasma assisted
    리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.01.05
  • 화상현미경
    실험 방법Hull cell 시험으로 만들어진 도금된 구리판을 마운팅 후에 폴리싱 과정을 거쳐 화상현미경으로 관찰한다.마운팅 이란 시편을 고정하기 위한 것으로 폴리싱 등을 할 때 편의를 ... SEM은 작동 원리적 특징으로 전도체만 사용 가능하나 스퍼터링(sputtering)을 통하여 Au나 Pt를 코팅함으로써 금속뿐만 아니라 세라믹 폴리머, 생체재료, 바이러스등도 관찰이
    리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.05.08
  • 증착법, 스퍼터링, 박막 공정 (THIN FILM PROCESS)의 기초
    Sputtering 이란? 고체의 표면에 고 에너지의 입자를 표면원자와 충돌시켜 고체 표면의 원자나 분자를 표면으로부터 제거하는 현상. ... 증착Ar+AlAr+Ar+Ar+AlAlAl타겟의 DC bias에 의해 plasma가 발생물리 기상 증착법(Sputtering)물리 기상 증착법(PVD)단점고전압 (가격 증가) 낮은 스퍼터링
    리포트 | 41페이지 | 5,000원 | 등록일 2007.10.17 | 수정일 2014.08.27
  • LCD발광효율을 높이는방법
    . ● Spin-Orbit Couplingspin-orbit coupling이란 전자의 spin과 원자 궤도함수가 서로 섞임으로 인하여 전자의 spin의 correlation과 up-down이 ... SrTiO3:Pr3+ 의 형광효율을 증대시키는 연구를 진행 중이다.차세대 대형 평판 디스플레이(FPD)로 각광을 받는 PDP는 비활성 기체의 플라즈마에 의해 형광체가 여기되므로, 형광체는 스퍼터링
    리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.14
  • 저항의 정의와 저항 읽는법, 저항의 종류 사례정리.
    저항의 종류와 특성1 저항의 개요1-1) 저항이란? ... 피막 저항기- 가장 많이 사용되는 형태의 저항으로 세라믹 로드에 탄소분말을 피막 형태로 입힌 후 홈을 파서 저항 값을 로드에 니크롬,TiN,TaN, 니켈, 크롬등의 합금을 진공증착,스퍼터링등의 ... 일반적으로 저항이란 전기의 흐름을 방해하는 것, 전기가 잘 흐르지 못하게 하는 것을 말한다.간단한 예로 우리가 뛸 때는 공기의 저항을 받는다.
    리포트 | 13페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.09.14
  • 진공증착 (Evaporation)
    ) 다이오드 스퍼터링(Diode Sputtering)나) 삼극 스퍼터링(Triode Sputtering)다) 자기 스퍼터링(Magnetron Sputtering)라) 이온빔 스퍼터링 ... 실험목적 및 필요성진공 증착법이란 진공 중에서 금속 화합물 또는 합금을 가열 증발시켜 증발 금속 또는 증발 금속 화합물을 목적 물질의 표면에 붙게하여 얇은 피막을 형성시키는 방법을 ... Physical Vapor Deposition의 약자로 도금될 금속을 증발시켜 부착시키는 것으 로, 증착막의 두께는 수 A단위에서 mm 단위까지 다양하게 조절할 수 있다.물리적 진공증착법이란
    리포트 | 11페이지 | 2,500원 | 등록일 2002.04.10
  • 콜로이드화학법을 이용한 금속화학물(ZnO) 나노분말 제조
    PVD(Physical Vapor Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법 (Thermal ... 나노기술우선 나노기술이란 한마디로 나노미터 크기의 물질(나노물질)들이 갖는 독특한 성질과 현상을 찾아내고 이러한 성질을 갖는 나노물질을 정렬시키고 조합하여 매우 유용한 성질의 소재, ... CVD법으로 증착할 때 물질에 따라 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 지칭한다. 반면에 PVD에서는 가열이 없이도 증착이 가능하다.
    리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.06
  • 졸겔법
    겔의 탄성은 그다지 희박하지 않는 경우에는 온도와 함께 증대하는 경향이 보이고 고무의 탄성과 같이 엔트로피 탄성에 속하는 것이라 생각되어진다.Sol-gel법이란 "Sol-Gel 세라믹스 ... 쉽게 달성 된다.3) 보통의 방법으로는 제조할 수 없는 새로운 조성의 유리 및 세라믹스의 제조가 가 능하다.4) 미세하며 균일한 입자로 된 다결정 세라믹스의 합성이 가능하다.5) 스퍼터링
    리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.05.06
  • [재료공학]재료공학이란?
    Ⅰ.재료과학과 공학이란 무엇인가?Ⅱ.신소재란? ... 플라스틱이란 가소물(可塑物)이란 뜻이며, 그리스어 plastos(형성되다)에서 유래한다.③고분자 재료의 역사연 도내 용1839Goodyear, Maclntosh, Hancock 등이 ... 아몰퍼스 합금의 제조법으로는 급냉 응고, 스퍼터링, 메카니컬 알로잉등 각종 방법이 있으나 공업적으로는 급냉 고온법이 일반적이다.이것은 용융 금속을 회전체 위에 낙하시켜 엷은 박상 시크를
    리포트 | 33페이지 | 4,000원 | 등록일 2006.06.23
  • [반도체]진공증착
    먼저 증착이란 말에 대한 사전적 정의~"증착이란, 고진공에 놓은 용기 속에 피복(被覆)될 물체와 그 표면에 부착시키려는 금속 등의 입자를 넣어 둔 다음, 히터에 전류를 흘러서 가열함으로써 ... Target(증착재료)의 증기를 생성하는 방법에 따라1)Sputtering 과2)Ion Plating으로 나뉩니다...정리하면물리증착 PVD는1)저항가열식증착 (Evaporation)2)스퍼터링 ... 우선 그 필요성을 분류해 보면 크게 다음과 같다.첫째는 깨끗한 환경 제공이다.예를 들어 반도체 물질의 도핑 정도를 따질 때 ppm(part per million)이란 단위를 쓴다.
    리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.26
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2024년 07월 20일 토요일
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