"스퍼터링이란" 검색결과 41-60 / 230건

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  인하대학교 전자공학과 기초실험1 예비보고서 RLC회로

  기본 이론1.저항(Resistance, R)1) 저항이란?저항(전기 저항)은 전류의 흐름을 방해하는 정도를 나타내는 물리량이며, 국제단위계는 옴(ohm, Ω)이다. ... 세라믹 로드에 니크롬, 니켈, 크롬, TiN, TaN 등을 진공증착, 스퍼터링 등의 방법을 이용해 필름 형태로 부착한 후, 홈을 파 저항 값을 조절하는 방법으로 만든다.

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.10.15

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  신소재공학실험 집적회로실험보고서 반도체 집적회로 IC

  Cleaning Process 기술 이론세정 공정세정 공정(Cleaning Process) 이란 웨이퍼 표면뿐만 아니라 반도체 제조 장치 기술 과이다. ... 오염한 오염 가능성.(2) 스퍼터링의 종류(가) 직류 인가 스퍼터링(D.C Glow Discharge sputtering)가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다 ... (나) 라디오 주파 스퍼터링(radio frequency-sputtering)직류 인가 스퍼터링의 가장 큰 단점은 절연물질의 증착이 불가능하다는데 있다.

  리포트 | 37페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.06.29

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  재공실 실험2 예보 - RF-Magnetron Sputter를 이용한 박막 증착 원리 이해

  (magnetron sputtering)이란 발생된 플라즈마를 영구자석에서 발생하는 자속(flux)에 의해 기판에 형성시키는 방법이다. ... 이러한 교류 전원을 인가전원으로 사용하는 스퍼터링 법을 교류스퍼터링(RF sputterig) 법이라 한다. ... ▶Sputtering그림 1 Sputtering 기술의 모식도 스퍼터링(sputtering)법은 스퍼터링 가스를 진공분위기로 이루어진 chamber 내로 주입하여 형성하고자 하는 target

  리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.10.29

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  플라즈마 방전관 설계

  이에 따라 음극에서 입사하는 이온의 에너지가 커지면 스퍼터링(sputtering)이 현저하게 된다. 스퍼터링 이란 가속된 원자나 분자가 공간속으로 튀어나가는 현상을 말한다.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.05.30

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  진공 및 박막의 전제척인 개념 및 박막의 3가지 성장모델, CVD & PVD 비교 정리

  하지만 합금증착이 어렵고 X-ray가 발생한다.스퍼터링이란 물리학에서 이온이 물질의 원자간 결합에너지 보다 큰 운동에너지로 충돌할 경우 이온충격에 의해 물질의 원자가 다른 위치로 밀리게 ... 진공이란 ‘비어있다’라는 뜻이지만 실제로는 완전한 진공을 만들기가 매우 어렵기 때문에 보통 1/1000(10-3)㎜Hg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다. ... 또 에너지가 약해서 스퍼터링 효율이 낮다.RF 스퍼터링은 RF 주파수 13.56MHz를 걸어주어 플라즈마를 형성한다.

  리포트 | 8페이지 | 6,500원 | 등록일 2013.04.22 | 수정일 2022.11.21

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  3. Thermal evaporation 예비

  박막이란두께가 단 원자 층에 상당하는 0.1nm에서 10μm정도의 두께를 가진 기판 상에 만들어진 고체 막으로 정의된다. ... 방법에 비하여 극히 빠르게 코팅할 수 있으며, 이온 스퍼터링은 코팅층의 합금성분과 피복율을 쉬게 조절할 수 있다. ... 전자부품, 반도체, 태양열에너지, 광학 및 미장 등 다양한 분야에 응용되고 있다.진공증착, 이온, 스프터링, 이온도금 등의 방식은 요구되는 코팅종류에 따라 선택되어지는데, 진공증착은 스퍼터링

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.22

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  스퍼터링

  Sputtering 이란?고체의 표면에 고에너지의 입자를 충돌시키면, 그 고체표면의 원자·분자가 그러한 고에너지 입자와 운동량을 교환하여 표면에서 밖으로 튀어나오게 된다. ... 이러한 음이온은 주로 여러 가지 조성의 타겟을 스퍼터링 할 때나 리액티브(reactive) 스퍼터링을 할 때 발생한다. ... 스퍼터링 가스스퍼터링 가스는 주로 Ar 가스를 사용하는데 이는 lifetime이 길고 metastable 에너지가 크기 때문이다.

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.10

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  [금속공학실험]ZnO박막 실험

  Evaporation)3) 아-크 증발(Arc Evaporation)4) 마그네트론 증발(Magnetron Evaporation)5) 이온빔 증발(Ion-beam Evaporation)● 스퍼터링이란 ... Physical Vapor Deposition의 약자로 도금될 금속을 증발시켜 부착시키는 것으로, 증착막의 두께는 수 A단위에서 mm 단위까지 다양하게 조절할 수 있다.물리적 진공증착법이란 ... ) 다이오드 스퍼터링(Diode Sputtering)나) 삼극 스퍼터링(Triode Sputtering)다) 자기 스퍼터링(Magnetron Sputtering)라) 이온빔 스퍼터링

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.25

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  59스퍼터링02

  스퍼터링 이란?스퍼터링 원리스퍼터링 Glow Discharge스퍼터링 Plasma스퍼터링 종류스퍼터링 Sputter Yield스퍼터링SPUTTERING스퍼터링 이란? ... 1852년 Grove에 의해 처음 발견된 현상으로 높은 에너지( 30eV)를 가진 입자들이 Target에 충돌하여 Target원자들에게 전달해 줌으로써 Target 원자들이 방출되는 현상스퍼터링스퍼터링 ... All Rights Reserved.Ar기체Source Target기 판플라즈마-+-++-스퍼터링 원리※ Ar기체를 쓰는이유 - 소스타겟과 반응성이 없어야 하므로SPUTTERING스퍼터링

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

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  85화합물 반도체 공정(유전막 증착)

  유전막 증착목차123유전막이란? ... PVD( 물리적 증착 방법 - Physical Vaper Deposition)CVD( 화학 기상 증착 방법 - Chemical Vaper Deposition)유전막이란? ... RF 스퍼터링 Magnetron 스퍼터링 그 밖의 스퍼터링 - 3극 스퍼터링 - Unbalanced magnetron 스퍼터링 - 반응성 스퍼터링DC 스퍼터링DC 스퍼터링은 diode

  리포트 | 43페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

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  투명전극 전기적 특성 평가

  기존의 평판디스플레이의 화소 전극은 주로 ITO(인듐 주석 산화물)가 스퍼터링에 의해 유리 기판 상에 박막으로 코팅된 유리가 주로 사용되고 있다. ... LCD, 태양 전지, 연료전지, OLED 등 박막 증착 후 박막의 전도성을 검사하기 위하여 쓰입니다.V/I = ohm, Ohm × C.F = ohm/sq2-2) 비저항(ohm·cm)이란 ... 고용성에 방지 유리, 복사기 등의 정전 방지막에 더 적합한 것으로 알려져 있다.2) 4-Point Prove2-1) 표면저항 (ohm/sq = Ω/□ = Sheet resistance)이란

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2017.06.30

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  DSSC시간변위

  pressing 등 소결 기술의 발전에 따라 가위, 칼 등 각종 산업 기계 부품에 이르기까지 그 응용범위를 확대해 나가고 있다.(2)세라믹스 제조법 (sol-gel법)sol-gel법이란 ... 스퍼터링 시간 변위에 따른 TiO2 농도 비교 (좌부터 5분, 15분, 30분, 45분)6. ... 전자의 원활한 이동을 위해 실버 페이스트를 FTO면에 도포4조3.015%45분평균1.82%▲스퍼터링 시간변위에 따른 각조의 효율 비교▲사진1.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16 | 수정일 2018.05.10

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  스퍼터링

  기초이론 및 원리1)스퍼터링(sputtering)이란? ... 스퍼터링 (sputtering)-결과 보고서-목차1.실험목적2.기초이론 및 원리3.준비 기구 및 장치4.실험과정5.실험결과6.토의 및 고찰7.인용 및 참고문헌1. ... 실험 목적스퍼터링은 박막 태양전지 외에도 반도체, LCD, 유기EL등의 평판 디스플레이, CD, HD, MD 등의 각종 기록매체, 휴대폰, 정밀, optic lens, 장식 내마모

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.11.16

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  다양한 신소재합금

  ① 형상기억합금* 형상기억합금이란? ... 가열하여 청동 속의 주석과 니오븀의 확산반응을 함으로써 니오븀 필라멘트 주의에 Nb3Sn이 생긴다.초전도재료의 가공은 선이나 테이프 형태로 만드는 선재화기술 외에도 도포, 증착, 스퍼터링 ... 형상기억합금이란 이름 그대로 형상을 기억하는 합금이다.일반적으로 금속재료의 경우 외력이 가해져 탄성변형이 유발되었을 때 외력을 제거하면 원래의 형상으로 되돌아간다.

  리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2017.06.14

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  진공 및 박막 실험 최종 보고서

  실험 이론(1) 진공이란? ... 「진공(vacuum」이란 원래 라틴어로 ‘vacua', 즉 기체(물질)가 없는 공간의 상태를 의미하여 이런 이상적인 진공 상태일 때 기압(압력)은 0이 된다. ... 그래서 충분한 스퍼터링을 일으키기 위해서는 싸이클 동안의 평균 biss는 AC의 최고전압과 거의 같아야 한다.그림 9 박막 증착 중 모습 전형적인 RF판형 다이오드 스퍼터링은, 각

  리포트 | 53페이지 | 6,000원 | 등록일 2012.11.24

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  [예비보고서] RF-Magnetron Sputter를 이용한 박막 증착 원리 이해

  이러한 교류 전원을 인가전원으로 사용하는 스퍼터링법을 교류스퍼터링(RF sputtering)법이라 한다. ... (magnetron sputtering)이란 발생된 플라즈마를 영구자석에서 발생하는 자속(flux)에 의해 집진하여 기판에 성막시키는 방법이다. ... Sputtering의 원리sputtering이란 진공 속에 물건과 도금할 금속을 넣고, 금속을 가열하여 휘산(揮散)시켜서 물건 표면에 응축시켜 표면에 얇은 층을 만드는 방법이다.

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.07.21

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  반도체 제조 공정의 종류와 기법 서술

  .㉢ 실리콘 산화막의 특성 평가 방법-AES 분석-FE-TEM 분석실리콘 산화막을 성장한 후에는 반드시 그 특성을 조사해야 하는데, 물리적 특성이란 시리콘 산화막 의 조성, 결정구조 ... (Sputtering) 방법의 특징열에너지를 이용하는 이베퍼레이션 방식과는 달리 물리적인 운동에너지를 이용스퍼터링 방식은 많은 플럭스 라인으로 인해 그림 (a)와 같이 웨이퍼 표면에 ... 이용함으로 질소를 액체소스가 있는 용기로 주입 하여 액체소스를 버블링을 통하여 기체화의 경우 디씨 방식을 주로 사용하며, 알에프 방식은 주로 유전체 박막의 증착에 이용 된다.㉢ 스퍼터링

  리포트 | 17페이지 | 4,500원 | 등록일 2015.06.09

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  Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조 결과

  양자점이란 약 2∼10㎚(나노미터) 크기의 중심체와 ZNS(황화아연)으로 이뤄진 껍질로 구성되며, 껍질 밖 표면에 고분자 코팅을 하기 때문에 통상 10∼15㎚ 크기의 나노입자를 가지게 ... 스퍼터링 효율은 입사이온의 종류와 입사에너지, 입사각 및 타게트 재료에 따라서 결정된다. ... 스퍼터링은 타게트에 직류전압대신에 고주파전압을 가하고 타게트 재료표면의 고주파의 반사이클 사이에 전자에 의해 중합하는 방법이다.

  리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.03.08 | 수정일 2015.06.29

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  박막증착

  형태학이란 말은 일반적으로 이러한 낮은 수준의 구조를 기술하는 것이다. ... -후자는 스퍼터링 하는 동안에 그 전기적 에너지를 일컫는다.(1)다이오드/마그네트론 스퍼터링초기의 다이오드 스퍼터링 소스는 plasma 최적화를 위해 전기장모양으로 만들어진 target을 ... 더욱이 활동적인 배경가스를 사용하면, 반응성 이온빔 스퍼터링이 가능하다. 이 기술은 자성물질의 박막을 필요로 하는 용도에 매우 성공적이었다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.06.05 | 수정일 2013.12.01

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  [발광디스플레이 실험] CNT 성장을 위한 기본 기판 만들기

  Resist)이란 특정 파장대의 빛을 받으면(노광 : photo exposure) 반응을 하는 일종의 감광 고분자 화합물(photosensitive polymer)이다. ... 중성화되어 중성원자로 target에 충돌하기 때문이다.① DC 스퍼터링DC 스퍼터링은 diode 스퍼터링 또는 cathode 스퍼터링이라고 하며, 증착속도는 기체의 압력과 전류밀도에 ... 절연막의 증착에는 주의가 요망된다.④ Magnetron 스퍼터링Magnetron 스퍼터링장치는 DC 스퍼터링 장치와 비슷하지만 cathode에 영구자석이 장착되어 target 표면과

  리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.01.01

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