"스퍼터링이란" 검색결과 161-180 / 230건

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  e-beam 증착법

  ◎e-beam 증착법◎◎전자빔이란◎전자총에서 나오는 속도가 거의 균일한 전자의 연속적 흐름.전자선(電子線)이라고도 한다. ... 이 방법에는 스퍼터 링법(2극 직류 또는 고주파), 반응성 스퍼터링, 이온 플레이팅법 등이 있고, 플라스틱 표면에의 피막 등에 사용되고 있다.(1) 증발방식증착 물질의 증발 방식에는

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.04.29

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  박막 증착과 4-point probe 의 이해

  즉 A=a×w 정리를 하면로 나타 낼 수 있다.여기서 면저항이란 윗변 d 와 a 가 같을때의 저항 값을 나타낸다. ... 실험이론PVD (Physical Vapor Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법 ... 등을 형성하게됩니다.박막증착은 특히 반도체산업에서 핵심적인 분야인데 그동안 이온 빔(ion-beam),전자 빔(electron-beam) 또는 RF(Radio-Frequency) 스퍼터링

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.07.09

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  pdp의작동원리및 전망

  비선형성이란 기체 방전의 하나의 특징으로서, 기체 방전 현상이 기체의 이온화 과정을 통한 전리에 의한 것이므로 이러한 이온화 반응이 충분히 일어날 수 있는 방전 전압 이상의 전압이 ... 이를 감소시키기 위하여 내 스퍼터링 특성이 좋 은 니켈이나 알루미늄을 전극 물질로 사용하고 스퍼터링을 감소시키기 위하여 수은을 첨가 하는 방법을 사용한다.- 교류 표시기의 전극전극이 ... → 후막 전극 : 니켈, 은- 직류 표시기의 전극구조상 전극 물질이 플라즈마에 노출되므로 이온 충격에 의한 스퍼터링이 일어나 형광체 위에 도포되어 휘도 특성을 나쁘게 한다.

  리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2004.12.17

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  반도체 집적소자 제조 단위공정 ( 금속박막공정, 사진공정, 식각공정 )

  .◎ 스퍼터링스퍼터정온도에서 baking하여 PR의 용제(solvent)를 기화? ... Cr pattern 위에 조사된 빛은 반사되어 PR을 감광시키지 못하며 Cr턴 L/S보다 4배, 10배 등의 마스크를 이용한다.3) 현상 (Develop photoresist)현상이란 ... spin coating 대신 laminating 공정을 통해 PR을 coating 한다.positive resistnegative resist2) 노광 (Expose pattern)노광이란

  리포트 | 16페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.06

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  PVD & CVD

  .♠ 물리적 증착법(PVD, Pysical Vaccum Deposition)물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 ... 스퍼터링 비율은 표적의 냉각효과에 따라 제한된다다. ... 다른 방식에 비하여 많은 면적을 동시에 피복시킬 수 있으며, 다른 스퍼터링 방식에 비하여 10배 이상의 스퍼터링 효율이 있고, 피처리물 가열온도를 낮출 수 있어서, 유리판 피복, 열반사도막

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.10.13

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  [열처리] 열처리 온도에 따른 비저항 변화 및 silicide 형성

  .■ 물리적 증착법물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근에는 증기상과 송입한 ... 방법에 비하여 극히 빠르게 코팅할 수 있으며, 이온 스퍼터링은 코팅층의 합금성분과 피복율을 쉬게 조절할 수 있다. ... 반응에 의해 생성되는 복합물을 코팅시키는 것도 포함시키고 있으며, PVD를 일반적으로 진공코팅이라 부른다.고체 재료를 증기상으로 만드는 방법에는 진공에서 증발시키는 방법과 이온 스퍼터링에

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.15

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  LED, OLED, LCD, PDP에 대하여 조사하여본다.

  자체 발광형 이라는 것은 소자 자체가 스스로 빛을 내는 것으로 어두운 곳이나 외부의 빛이 들어 올 때도 시인성(視認性)이 좋은 특성을 갖는다.2)넓은 시야각시야각이란 화면을 보는 가능한 ... 유전층 위에는 유전층을 이온의 스퍼터링으로부터 보호하여 주며, 방전시 낮은 에너지의 이온이 표면에 부딪혔을 때 비교적 높은 이차전자 발생계수의 특성을 가져 방전 플라스마의 구동 및

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.14

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  우주선 동력전달부의 내마모 특성을 향상시키기

  재료의 표면 성질은 표면 개질이라는 방법을 통하여 개선될 수 있다.표면 개질이란 재료의 표면으로부터 수 ㎛ 이내의 범위에 있는 재료에 대해서만 적당한 공정을 통하여 재료의 표면 성질을 ... 수)에서는 주입된 이온의 깊이방향 조성(depth concentration)은 가우시안 분포(Gaussian distribution)를 따른다고 알려져 있고, 높은 dose에서는 스퍼터링

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.31

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  mram동작원리

  이러한 연구의 결과 상온에서 통상의 스퍼터링 방법에 의해 제조된 TMR 소자에서 40% 이상의 MR비가 얻어졌다. ... 하이버네이션이란 메모리에 있는 정보를 보존하기 위정도이나 실제 소자에서 이용되는 MR비는 약 0.5% 정도로서 매우 낮다.

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.03.31

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  [공학]디스플레이 재료및 공정

  CVD법은 화학반응의 응용이며 막형성의 추진력은 온도이지만, PVD법은 스퍼터링 등의 물리현상을 응용한 것이다.아래 도표는 PVD법과 CVD법의 비교이다.< PVD법과 CVD법의 비교 ... ①이온을 이용하지 않는 진공증착(evaporation), ②이온을 이용하는 스퍼터링(sputtering), 이온플레이팅(ion plating), 이온주입(ion mplantation ... 반도체 공정에 이용되는 화학기상증착(CVD)이란 기체 상태의 화합물을 분해한 후 화학적 반응에 의해 반도체 기판 위에 박막이나 에피층을 형성하는 것이다.

  리포트 | 33페이지 | 2,500원 | 등록일 2006.02.22

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  신소재 용어 정리 기계적 기능 강도 경도

  .* 제진 합금이란 두드려도 소리가 없는 합금으로 제진 성능은 그 내부마찰에 기인한다. ... 용사법(spray), 진공증착(vacuum plating), 스퍼터링법(sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 물리증착법(PVD, physical vapor

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.03.21

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  Thermal evaporation system

  진공이란? ... Target(증착재료)의 증기를 생성하는 방법에 따라1) Sputtering 과2) Ion Plating 으로 나뉜다.물리증착 PVD는1) 저항가열식 증착 (Evaporation)2) 스퍼터링 ... 진공이란?2. 왜 진공이 필요한가?3. 진공증착의 분류4. THIN FILM (박막)5. 저항가열식 진공증착법 증착6. Diffusion Pump7. Rotary Pump8.

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.05.16

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  SEM(주사전자현미경)의 미세먼지 실험

  따라서, 세라믹이나 고분자 등의 부도체시료는 탄소막의 진공증착이나 금-팔라듐을 스퍼터링(sputtering)하여 전도성 코팅을 하여야 한다. ... 하지 않았다.※ 폴리싱 하는 이유보통 연마작업이나 광내기 혹은 빠우라 부르는데 금속표면 본질을 그대로 살리는 작업인데 금속재질 자체가 부식이나, 외부 충격에 약할 때는 코팅이나 도색이란

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.04.14 | 수정일 2017.04.06

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  진 공 펌 프 레포트 자료

  진 공 펌 프- 목 차 -진공이란? ... 하나의 기체 분자가 음극안으로 들어갈 때, 하나 또는 그이상의 음그의 분자들이 음극표면으로부터 떨어져 나오는데 이것을 스퍼터링이라고 한다. ... 진공의 이용 진공펌프의 목적과 효과 진공펌프의 종류 - 로터리펌프 - 오일확산 펌프 - 루츠펌프 - 이온 펌프 - 크라이오 펌프 - 터보분자 펌프 - 게터펌프 - 그 밖의 펌프진공이란

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.06.24

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  단결정 제조법, p-n접합 제조법

  금속박막은 일반적으로 증기화나 스퍼터링과 같은 물리적인 증기 증착 기술에 의해 증착된다.도서MICROELECTRONIC PROCESSING 고체전자공학 / Ben G.Streetman ... NECKINGNECKING이란 단결정에 결함이 발생하지 않도록 SEED를 따라 성장하는 결정의 직경을 최대한 줄이면서 끌어올리는 작업을 말한다. ... .◆ Czochralski 법이란? ◆Czochralski 법◆ CZ 성장법에 대한 SILICON 단결정 성장 공정 ◆CZ 결정성장기Czochralski 법1.

  리포트 | 22페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.20

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  [자연과학](고급물리학 실험) Vacuum Evaporation

  증발과정이 열교환 과정이라는 점이 스퍼터링법과 다른 점이기는 하지만 이렇게 하여 만들어진 박막을 진공증착박막이라 한다. ... 그러면 우리가 주변에서 자주 사용하는 '진공' 이란 무엇인가? 넓은 의미로 정의하여 대기압보다 낮은 기체의 압력 상태를 말한다. ... Introduction진공(vacuum) 이란 원래 기체(물질)가 없는 상태를 의미한다. 이 이상적인 진공 상태일 때 기압(압력)은 영이 된다.

  리포트 | 20페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.05.04

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  [공학.기술]pdp의 원리와 구조

  비선형성이란 기체 방전의 하나의 특징으로서, 기체 방전 현상이 기체의 이온화 과정을 통한 전리에 의한 것이므로 이러한 이온화 반응이 충분히 일어날 수 있는 방전 전압 이상의 전압이 ... 펄스 기억기능이란 방전에서 형성된 하전입자 및 준중성 입자들이 감쇄하기 전에 다시 방전 펄스를 인가하면 이러한 하전 입자들이 없는 경우에 비하여 낮은 전압하에서 방전이 형성되는 원리를 ... )(b) 교류형 PDP의 전극 구조{그림 교류형 PDP의 전극 구조.용량결합형 방전을 위해 전극을 유전체(borosilicate)로 덮음.MgO보호막 : 이온에 의한 스퍼터링으로부터의

  리포트 | 33페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.12.09

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  pvd와 cvd

  공구에 적절한 수준의 코팅을 얻기 위해서는 코팅 장치의 고진공 문제, design, 모재의 적합한 표면상태, 코팅 조업의 software 등이 중요합니다.PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 ... CVD법으로 증착할 때 물질에 따로 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 지칭한다. 반면에 PVD에서는 가열이 없이도 증착이 가능하다.

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.09.28

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  pvd,cvd

  PVD (Physical Vapor Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법 ( ... CVD법으로 증착할 때 물질에 따로 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 지칭한다. 반면에 PVD에서는 가열이 없이도 증착이 가능하다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.09

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  [진공공학]진공 기술 기초

  진공 기술 기초진공 (Vacuum)이란 ? ... 비교비교항목진공증착스퍼터링 증발원  퇴적속도  퇴적원자의 에너지  퇴적막의 치밀성  바탕과의 밀착성  가스의 말려들기  증발재료의 선택 좁은 면적에서의 증발  비교적 ... Hardness Thermal Stability Non Uniform in Complicated ShapePECVD (DC, HF, RF,ECR, pulsed DC)특징합성 방법진공증착과 스퍼터링의

  리포트 | 64페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.12.29

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