"스퍼터링이란" 검색결과 101-120 / 230건

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  플라즈마 이온질화 실험 보고서

  실험 방법3.1 사용 시편3.1.1 질화용 강의 조건질화용 강이란 질화에 의한 표면경화가 가능한 강으로서 질화 촉진 원소인 Al, Cr, Mo, Ti, V등의 원소 중 2가지 이상을 ... 처리는 질화처리를 하기 전 시편 표면의 산화피막 또는 C, O2 를 제거하는 효과가 있다.따라서 Ar, H가스 장입 후 전압을 올리면 글로우 방전이 발생하는데 이 상태로 1시간동안 스퍼터링 ... 깨끗해야한다.따라서 질화처리 전 Sand paper #1500이상까지 연마한다.2) Spattering음극 강하에 의해 가속된 ion이 고체에 충돌하여 표면의 분자나 원자가 외부로 방출된다.이 스퍼터링

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.12.22

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  PVD (Physical Vapor Deposition), 물리 증착법

  여기서 기술하는 진공 증발이란, 진공 중에서 증착원을 열적으로 증발·승화시켜 증착 입자를 만든 다음 기판으로 증착 입자를 수송하여 기판상에 증착 입자를 부착·퇴적시켜 박막을 형성하는 ... 산업분야에서 많은 기여를 이루고 있는 첨단 기능성 표면처리 방법이다.공해가 없는 환경 친화적인 공정에 의해 피복이 이루어지는 등의 장점을 가진다.최근에는 모재와 코팅 층 사이에 스퍼터링 ... 감소한다.그림과 같은 상teringion platingElectron Beam Ion plaingCathodic arc ion plating◎ Evarporation진공 증발 기술은 후술하는 스퍼터링

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.07.05

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  각종 진공 pump 원리 및 사용 방법

  Sputtering 이란? ... 스퍼터링의 장접과 단점1) 장점: 넓은 면적에서 균일한 박막두께 증착 가능박막 두께의 조절이 비교적 용이함진공증착에 비하여 보다 정확한 합금 성분 조절 가능2) 단점: 고가장비낮은 ... 유지(mTorr)10) 플라즈마를 아용한 스퍼터를 준비하기 위해 DC 파워를 넣는다.11) 암페어 미터와 볼트미터를 적당히 조절하여 원하는 파워에 위치시킨다.12) 셔터를 열고 스퍼터링

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.06.03

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  정전분무증착, SOFC증착

  여기서 전기수력학적이란 액체 속에 넣은 2개의 전극 사이를 방전시킴으로써 일어나는 충격파의 압력을 이용해서 재료의 성형을 하는 가공법으로써 이를 이용하여 증착시키고자 하는 물질을 미립화시켜 ... 스퍼터링법 (sputtering Method)이 방법은 고에너지를 가진 입자를 고체의 표면에 충돌시킨 다음 고체 표면의 원자와 분자가 운동량을 교환하여 표면에서 밖으로 튀어나오는 방법으로 ... 입사로 인한 기판의 손상과 높은 작업 압력 때문에 박막의 순도가 떨어지는 단점을 가지고 있다.라디오파 스퍼트링은 거의 모든 종류의 물질을 증착할 수 있는 장점이 있지만, 라디오파 스퍼터링시

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.10.01

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  메모리 반도체 제작 과정 및 이론 설명 ppt

  Chemical vapor depositionLPCVD Working pressure 0.1~10 torrPlasma LPCVDPhysical vapor deposition PVD 스퍼터링법 ... www.themegallery.com Company LogoDATA 입 출력www.themegallery.com Company Logo 금속배선 Capacitor MOS 소자 Oxide Poly SiFRAM 이란

  리포트 | 72페이지 | 10,000원 | 등록일 2013.04.22 | 수정일 2023.04.24

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  고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비보고서)

  선형타겟 기술과 같이 HiHUS 플라즈마 스퍼터링 기술은 정밀도, 균일성, 수축에서 0 사이의 장력으로 스트레스 제어 같은 요구된 결과로 큰 개선을 시연하였고 기판 위의 표면차 측정은 ... 선형타겟은 롤투롤이나 인라인 처리에서 HiTUS같은 동등한 이점이 있는 큰면적 선형처리의 개발도 가능하다.박막형 태양전지진공이란? ... 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통해서 진공 및 진공장비의 원리를 이해하고 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.배경 이론박막(Thin Film)이란

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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  RAM(Random Access Memory) - DRAM, SRAM, FeRAM(FRAM), MRAM, PRAM

  Random Access Memory1.1 RAM(Random Access Memory)이란? ... 그러나 수 nm 두께의 MgO를 증착하기 위해서는 초고진공 스퍼터링 장비가 있어야 하며 까다로운 공정제어가 필요하다.

  리포트 | 64페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.12.22

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  ITO 투명전극과 TCO

  (LCD, PDP, OLED등등...)보통은 디스플레이 용도로 쓰일때에는 스퍼터링을 사용해서 증착합니다. ... 나타냅니다.Controller는 이 값을 Digital화하여 테이터화된 좌표를 System에 전송, 명령을 수행하게 됩니다.TCO(transparant conductive oxodes)투명전도막(TCO 박막)이란 ... 고분자 폴리머에 증착하기도 하는데, 보통 반응성 스퍼터링으로 기판을 가열해야 막질이 좋아지기 때문에 널리 쓰이지는 않지요.ITO는 파우더형태로도 제조됩니다.분말 제조 방법은 크게 액상법과

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.29

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  태양전지 역사 및 종류, 기술현황, 사례

  위쪽으로 이동하게 되는데 종자 결정이 아래에 고정되고 이곳으로 부터 가열 영역이 상부로 이동하면서 아래에서 위로 단결정을 형성 시키는 방법 . 19핵심기술 – 박막제조 공정 박막이란 ... (sputtering) 물리적 기상 증착 - 스퍼터링은 글로우 방전에서 발생되는 정이온을 전계에 의해 높은 에너지로 가속시켜 고에너지의 정 이온이 고체의 표면과 충돌하면 고체 표면의 ... 원자 또는 분자가 표면에서 밖으로 튀어나오는 스퍼터링 현상을 이용한 박막제도 방법이다 . 21화학기상 증착 (CVD - Chemical Vapor Deposition) 화학기상 증착

  리포트 | 33페이지 | 4,200원 | 등록일 2009.10.06

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  thermal evaporation법을 이용한 박막의 제조 레포트.

  Thermal Evaporation법을 이용한 박막의 제조1 목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다.2 이론박막이란 ... 방법에 비하여 극히 빠르게 코팅할 수 있으며, 이온 스퍼터링은 코팅층의 합금성분과 피복율을 쉬게 조절할 수 있다. ... 전자부품, 반도체, 태양열에너지, 광학 및 미장 등 다양한 분야에 응용되고 있다.진공증착, 이온, 스프터링, 이온도금 등의 방식은 요구되는 코팅종류에 따라 선택되어지는데, 진공증착은 스퍼터링

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.11.15

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  로이 유리(Low-E Glass)

  방사율(Emissivity)이란? ... 열분해법(Pyroysis, Hard-coating)√열 분해법 이란? ... 진공 증착밥(Magnetron Sputtering, Soft-coationg)√진공증착법 이란?

  리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.09.20

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  deposition 방법

  등을 형성하게된다.박막증착은 특히 반도체산업에서 핵심적인 분야인데 그동안 이온 빔(ion-beam), 전자 빔(electron-beam) 또는 RF(Radio-Frequency) 스퍼터링 ... CVD법으로 증착할 때 물질에 따로 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 지칭한다.- 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD ... CVD법으로 증착할 때 물질에 따로 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 지칭합니다** PECVD : Plasma Enhanced - Chemical

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.06.05 | 수정일 2013.12.01

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  [철강][금속][금속 부식][도금][도금 원리][도금 종류][도금 과정][전기도금][화학도금][건식도금]철강의 활용과 금속의 부식, 도금의 원리, 도금의 종류, 도금의 과정, 전기도금, 화학도금, 건식도금 분석

  무도장 내후성 교량내후성강이란 대기환경에서의 녹발생량이 적은 성질을 갖는 강을 말하며, 이 의미로 내후성강이라 불리어 진다. ... PVD(물리적 기상도금)1) 진공증착법2) 음극스퍼터링(cathode sputtering)3) 이온도금(ion plating)참고문헌Ⅰ. 철강의 활용1. ... 도금물체는 금속이든 비금속이든 좋으며, 그 작업조작은 장치만 완전하면 매우 간단하다.2) 음극스퍼터링(cathode sputtering)진공 속에 아르곤(argon) 같은 불활성가스를

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2009.07.15

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  단결정실리콘 태양전지의 원리 구조 공정 어플리케이션

  Hard Bake 작업 HF 용액으로 SiO 2 층을 제거 ( 에치 ) 이온주입 , 확산으로 N 형반도체 도핑 PR 제거 P-N JUNCTION 완성 SiO 2 ※ 여기서 PR 용액이란 ... 스퍼터링에 비하여 정확한 합금성분 조절이 어려움 열역학적으로 평형의 조건에서 되는 물질 , 다른 결정구조를 지닌 물질 , 다른 성분비를 지닌 화합물을 만들 수 있음 기판의 in-situ

  리포트 | 71페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.05.26

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  [금속재료공학]스퍼터링

  관련 이론(1) 스퍼터링이란?고체의 표면에 고 에너지의 입자를 충돌시키면 target 물질의 원자가 완전탄성 충돌에 의해 운동량을 교환하여 표면에서 밖으로 튀어나오게 된다. ... (magnetron sputtering)이란 발생된 플라즈마를 영구자석에서 발생하는 자속(flux)에 의해 집진하여 기판에 성막시키는 방법이다. ... sputtering)△ 직류 인가 스퍼터링 시스템가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.15

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  다층합금도금

  다층 합금도금다층 합금도금이란? ... 강도보다 3배 이상 고온 하에서 사용되는 로켓 부품에 Cu/Ag와 Cu/Co합금을 적용하기 위한 연구 진행중다층 합금도금의 공정1960년대에는 진공증착 기술로 다층박막 제조 현재는 스퍼터링이나

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.11.05

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  [공학]박막공정에대해

  박 막 공 정박막공정 이란? ... 종류직류, 고주파, 반응성 방법에 의해 DC 스퍼터링 RF 스퍼터링 Magneton 스퍼터링 반응성 스퍼터링 혼합 스퍼터링DC 스퍼터링증발증착법과 스퍼터링 증착법 비교증발증착법은 ... 이 원자를 기판위에 증착시킨다 열증발 증착법의 분류증기를 발생시키기 위한 열의 생성 수단에 의해 열 증발 증착법 유도열 증발 증착법 전자빔 증발 증착법스퍼터링(Sputtering)충분한

  리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.06.16

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  Solar Cell

  ●Solar Cell이란태양 에너지를 효율적으로 전기 에너지로 변환하도록 설계된 광기전력 효과를 이용한 광전변환 소자로 Si 이나 GaAs 등의 반도체의 pn접합이나 쇼트키 접촉에 ... 박막 증착방법으로는 스퍼터링(sputtering), 잉크프린트, Electroplating 등이 개발되어 있다.②CIGS의 최대 효율은 20%까지 나오며 대형 모듈의 경우도 약 13%

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.12.11 | 수정일 2014.08.20

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  [공학]FCCL

  :FCCL이란 Flexible Copper Clad Laminated약자로서 연성 동막 적층필름이다. ... 그러나 스퍼터링을 이용하여 그 정도 두께의 박막을 입히려면 많은 시간이 소요되기 때문에 스퍼터링을 이용한 박막은 약 500㎚ 정도 입히고 그 다음에 전해 도금을 이용하여 10㎛ 정도의 ... 실험 제목FCCL(Flexible Copper Clad Laminates)실험 목적Polyimide(PI)필름을 전(개질)처리한 뒤 스퍼터링과 도금을 통해 연성동막적층필름 (Flexible

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.01.18

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  화합물 반도체 태양전지

  CBD법이란 용액 내에 적정량의 Cd2+와 가능하다. ... ZnO박막은 RF 스퍼터링방법으로 ZnO 타겟을 사용하여 증착하는 방법과, Zn 타겟을 이용한 반응성 스퍼터링, 그리고 유기금속화학증착법 등이 현재 사용되고 있다. ... Mo 박막의 제조는 DC 스퍼터링 가장 널리 이용되고 있다.

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.05.13

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