"스퍼터링이란" 검색결과 141-160 / 230건

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  진공과 진공펌프에 대해서~

  진공이란?진공(VACUUM)의 어원은 비어 있음(empty)을 의미하는 그리스어로부터 유래한다. ... 진공과 증착 기술- PVD (Physical Vapor Deposition)스퍼터링 (sputtering)진공 증착법 (Evaporation)- CVD (Chemical Vapor ... Inorganic CVD)형성되는 박막 용도, 반응실 형태 등에 따라 구분☞ PVD (Physical Vapor Deposition)와 CVD대해 언급하면, PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.08.17

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  [반도체공정]반도체 기초공정

  2) Exposure(노광)노광이란 Photo Mask를 통해 자외선 영역의 빛을 조사(照射)함으로서 Mask상에 형성된 미세회로 형상(Pattern)을 Coating된 PR에 전사 ... 3) Develop(현상)현상이란 노광 과정을 통해 상대적으로 결합이 약해져 있는 부분의 PR을 용제를 사용하여 녹여내는 과정을 말하며 이러한 과정을 통해 형성된 PR의 형상을 PR ... 제거시켜 단단하게 만드는 과정을 말한다.PR(Photo Resist)이란 특정 파장대의 빛을 받으면(노광: Photo Exposure) 반응을 하는 일종의 감광 고분자 화합물(Photosensitive

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.02.02

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  [금속재료공학]FCCL

  관련 이론FPCB의 특징인쇄회로기판(Printed Circuit Board)이란 절연체위에 전기 전도성이 양호함 도체회로(Copper-동박)을 형성하여 만든 전자부품의 일종으로서 능동소자 ... 그러나 스퍼터링 을 이용하여 그 정도 두께의 박막을 입히려면너무나 많은 시간이 소요되기 때문에 편의상 스퍼터링을 이용한 박막은 약 500㎚ 정도 입히고그 다음에 구리 도금을 이용하여 ... 실험 목적PI필름에 니켈과 크롬, 구리를 스퍼터링 한 후 구리도금을 하여 각각의 경우에 따라서나타나는 부착력의 정도를 테스트 한다.3.

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.12.08

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  [박막증착]박막증착

  즉, 자기력선이 직선에 가까운 곳에서 더 많은 스퍼터링이 일어난다. ... CVD법으로 증착할 때 물질에 따라 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 한다. 반면에 PVD에서는 가열이 없이도 증착이 가능하다. ... Magnetron, RF Magnetron,Bias, ReactiveIon Plating◎ 무전해 도금전기를 사용하지 않고 화학반응을 통해 도금하는 방식을 무전해 도금이라 한다.도금이란

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.04.20

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  [재료공학] 박막 제조법

  3 박막 제조 방법1) 물리적 증착법물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근에는 ... 이러한 스퍼터링 방법을 RF 스퍼터링이라고 한다.RF 스퍼터링에서 한쪽의 전극에서만 스퍼터링이 일어나게 하기 위해서는 스퍼터링을 일으킬 전극에 놓인 타겟이 절연체이어야 하며, 도체일 ... 진공증착, 이온, 스프터링, 이온도금 등의 방식은 요구되는 코팅종류에 따라 선택되어지는데, 진공증착은 스퍼터링 방법에 비하여 극히 빠르게 코팅할 수 있으며, 이온 스퍼터링은 코팅층의

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.27

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  CBD실험 예비레포트

  Q.C.M ( Quartz Crystal Microbalance ) 이란 뭔가?1). ... PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam evaporation), 열증착법 (Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 ... 때 물질에 따로 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 지칭한다. 반면에 PVD에서는 가열이 없이도 증착이 가능하다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.01.16

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  [반도체] 스퍼터링

  스퍼터링스퍼터링(sputtering) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며[3], 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. ... Region I (이온 에너지, Ei < 20 eV)에서는 에너지가 너무 낮은 구리가 스퍼터링되지 않는다. ... Target 원자들은 그들의 에너지가 binding energy를 능가할 때 표면으로부터 방출되어 스퍼터링 된다.

  리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2002.12.08

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  스퍼터링 증착

  실험이론1) 스퍼터링이란? ... 이는 대부분의 에너지가 열로 방출되고 극히 일부의 에너지만이 스퍼터링에 이용된다는 것을 의미한다. ... 스퍼터링(sputtering) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며[3], 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다.

  리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.26

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  [반도체공정] 스퍼터링

  이론(1)스퍼터링이란? ... 기 세 척로 드(Load)5X10-6 Torr의 진공스퍼터 세척(에치)적층 물질의 스퍼터링배 기(Vent)언로드(Unload)평 가Photomasking 이론(1)포토마스킹이란? ... 방법 다이오드 DC 스퍼터링 다이오드 RF 스퍼터링 Triode 스퍼터링 Magneteon 스퍼터링스퍼터링의 원리Sputtering 이론(2)Sputtering 이론(3)웨 이 퍼초

  리포트 | 24페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.06.22

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  [자연과학]박막과 MEMS

  그렇다면 박막과 MEMS가 무엇이며 박막의 제조방법 및 물체의 표면을 관찰할 수 있는 측정장비에 대해서 알아보겠다.박막(thin film)이란 수천 Å이하의 특수한 표면막으로서 전자 ... 삼극 다이오드 스퍼터링 장치는 금속 필라멘트를 가열시켜 열전자를 방출시켜 이열전자가 마치 DC 스퍼터링에서 2차 전자의 역할을 수행하도록 한 것이다. ... 마그네트론 스퍼터링 장치는 DC 스퍼터링 장치와 비슷하지만 cathode에는 영구 자석이 장착되어 target 표면과 평행한 방향으로 자장을 인가해 준다.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.06.11

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  mram의 구동원리및 소개

  이러한 연구의 결과 상온에서 통상의 스퍼터링 방법에 의해 제조된 TMR 소자에서 40% 이상의 MR비가 얻어졌다. ... 하이버네이션이란 메모리에 있는 정보를 보존하기 위해 하드디스크로 옮겨놓는 방법이다. ... 각 플래터의 중심부에는 여러 개의 구멍내어 스핀들과 연결한다.Spindle(회전 축)스핀들(spindle)이란 플래터가 회전할 수 있도록 모터와 직접 연결된 축이다.

  리포트 | 14페이지 | 2,500원 | 등록일 2009.10.18

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  열증착

  다만 CVD는 PVD보다 일반적으로 훨씬 고온의 환경을 요구한다.1) PVD먼저 PVD에 대해 언급하면, PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 ... 1.실험목적Thermal Evaporation법을 사용하여 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다.2.실험이론박막이란, 두께가 단원자층에 상당하는 0.1nm에서 ... CVD법으로 증착할 때 물질에 따로 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 지칭한다. 반면에 PVD에서는 가열이 없이도 증착이 가능하다.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.02.08

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  [반도체 제조공정] 반도체 제조공정

  FRAM ("FRAM"은 미국의 램트론이란 회사의 고유상표이기 때문에 FeRAM으로 부르기도 한다.) ... DC diode, RF diode, triode, magnetron, modified RF magnetron 스퍼터링 장치가 반응성 스퍼터링장치로 이용될 수 있다.스퍼터링 기술의 큰 ... 증발은 도금할 물질을 기화하는데 있어서 열에너지를 이용하는 방법인 반면, 스퍼터링은 플라즈마를 형성한 다른 기체의 운동에너지를 이용해서 도금물질을 기화하는 방법이다.스퍼터링은 진공

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.11

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  화합물 반도체 태양전지

  ZnO박막은 RF 스퍼터링방법으로 ZnO 타겟을 사용하여 증착하는 방법과, Zn 타겟을 이용한 반응성 스퍼터링, 그리고 유기금속화학증착법 등이 현재 사용되고 있다. ... CBD법이란 용액 내에 적정량의 Cd2+와 S2-이온을 만들고용액의 온도를 조절하여 각 이온 농도의 곱이 용액의 용해도적보다 큰 경우에 CdS의 형태로 석출되는 성질을 이용한 것이다

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.04.02

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  박막제조

  기상 증착법광전자 화공소재 실험 -■ 건 식- PVD(Physical Vapor Deposition)PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법 (E-beam ... CVD법으로 증착할 때 물질에 따로 다소 저온도 가능하지만 이 저온이란 것도 CVD에서는 500도 정도를 저온이라고 지칭한다. 반면에 PVD에서는 가열이 없이도 증착이 가능하다.

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.30

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  박막증착 장비의 종류 및 원리와 GaN LED의 이해

  PVD의 종류로는 진공증착, 이온 스퍼터링, 이온도금 등이 있다.B. ... 그는 후자가 맞을 것이란 생각에 '만약 고정된 도선 내의 current 자신이 자석에 끌린다면, current는 도선의 한쪽으로 흘러나와야 하겠기에 도선의 전기저항이 증가할 것'이란 ... 물리적 기상 증착법(Physical Vapour Deposition)물리적 기상 증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.30

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  solar cell

  Solar Cell이란? ... 그 위에 n-type CdS를 주로 화학적 용액성장법 (chemical bath deposition, CBD 또는 "Dip-Coating") 으로 입히고 투명전극 층인 ZnO를 스퍼터링법으로

  리포트 | 3페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.12.22 | 수정일 2017.03.21

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  박막증착 (박막공정)

  증착이란 진공 중에서 코팅시키고자 하는 물질을 기화 또는 승화시켜서 원자 또는 분자 단위로 기판 표면에 응고되도록 함으로써 피막을 형성시키는 방법으로 성장효율과 피막의 순도를 향상시키기 ... 물리 증착은 증발(evaporation), 스퍼터링(sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 아크증착(arc deposition), 이온 빔 보조증착 (ion

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.04.13

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  투명전도막

  투명전도막- 정의=> 투명전도막이란, 가시광선 영역의 빛을 투과시켜 사람의 눈에 투명하게 보이는 동시에 전기전도도가 좋은 물리적 특성을 나타내는 재료를 일컬으며, 일반적으로 이러한 ... 산업적 생산을 위한 제품 재현성 향상을 위해 산화물 타겟을 이용한 non-reactive 스퍼터링이 주로 사용되고 있다. ... 산화 또는 환원가스의 검출기, 발광 다이오드, 태양전지의 투명 전도막- 제작방법=> CVD, Evaporation, Sputter, Spray Pyrolysis 등● ITO - 스퍼터링

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.09.20

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  [진공과학] 진공증착

  ) 다이오드 스퍼터링(Diode Sputtering)나) 삼극 스퍼터링(Triode Sputtering)다) 자기 스퍼터링(Magnetron Sputtering)라) 이온빔 스퍼터링 ... 실험목적 및 필요성진공 증착법이란 진공 중에서 금속 화합물 또는 합금을 가열 증발시켜 증발 금속 또는 증발 금속 화합물을 목적 물질의 표면에 붙게하여 얇은 피막을 형성시키는 방법을 ... Physical Vapor Deposition의 약자로 도금될 금속을 증발시켜 부착시키는 것으 로, 증착막의 두께는 수 A단위에서 mm 단위까지 다양하게 조절할 수 있다.물리적 진공증착법이란

  리포트 | 11페이지 | 4,000원 | 등록일 2004.11.14 | 수정일 2015.09.25

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