"스퍼터링" 검색결과 341-360 / 774건

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  전기report 코로나방전이란

  Emission Display)에서 전하방출에 CNT처럼 끝이 최대한 날카로운 것을 쓰는 이유가 되고, 전압-전류측정기(멀티메터)에서 접촉단자 끝을 뾰족하게 만드는 이유가 되며, 스퍼터링에서

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.10.28

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  Nano imprint lithography의 이해 및 응용(결과)

  고려해야 한다.2) SnO2:Sb 박막의 제조태양전지의 전면 전극 및 후면 반사기 역할을 할 수 있는 화학적, 열적 안정성이 우수한 Sb 도핑된 SnO2 투명 전도막을 마그네트론 스퍼터링법으로

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.04.23

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  면저항 측정기(4-point probe)의 이해와 방진복 체험

  -sputtering-스퍼터링(Sputtering)은 진공상태의 용기 안에 헬륨 등 불활성기체를 채워 코팅재료(타깃)에 고전압을 걸어 방전시키면 이온화된 불활성기체가 코팅재료에 충돌하게

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.12.13 | 수정일 2014.11.16

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  15Etching

  Sputter Etching (5)DC 스퍼터링은 도체만 스퍼터 시킬 수 있으나 RF 스퍼터링은 유전체를 포함한 모든 종류의 고체 물질을 스퍼터할 수 있다. ... Sputter Etching (3)스퍼터링 효율 : 입사 이온이나 분자수에 대한 스퍼터된 원자들의 수. → 질량이 낮은 He+ 보다 큰 질량의 Ar+, Kr+, Xe+ 이온 들을 사용할

  리포트 | 48페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

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  PLC

  소결체결함형 금속 산화물 소결체단체 다결정응용 고화형 다결정 산화물SiC계Mo-Co-Ni-Cu-Al산화물 소결체Zr-Y 산화물 소결체환원형 TiO2Ge, SiBa-Co-Ni 산화물SiC 스퍼터링

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.12.10

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  주사전자현미경(SEM)

  이를 위하여 진공 증착 또는 스퍼터링에 의해서 2차 전자 방출률이 큰 금속을 시료 표면에 얇게 코팅을 하게 된다. ... 진공 증착의 경우에는 금(Au), 금-팔라듐(Au-Pd)을, 스퍼터링의 경우에는 금, 금팔라듐, 백금(Pt) 등을 사용하고 있다. ... 최근에는 스퍼터링이 더 손쉽기 때문에 많이 사용되고 있지만, 복잡한 구조인 경우에는 깊은 곳까지 똑같이 코팅하려면 진공 증착이 더 우수하다.

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.05.31

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  산화물반도체,Oxide Semiconductor

  더구나 유기발광층 화소를 형성한 후 증착하여야 하는 음극(cathode)으로도 사용하기 위해서는 스퍼터링에 의한 유기박막에의 plasma damage를 해결하여야 하며 ITO자체로는

  리포트 | 9페이지 | 2,500원 | 등록일 2009.10.18

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  [실험레포트] 온도변화에 따르 저항 변화 측정

  PVD방법은 전극 형성법중에 가장 좋은 방법으로 압력이 높아지면 끓는 점이 높아지는 것을 이용한 방법이다.PVD에 해당하는 증착법에는 스퍼터링 (Sputtering), 전자빔증착법

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.12.05

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  반도체 클리닝 공정에 대한 레포트

  (lift-off)Plasma 세정 시에는 공정가스와 plasma 여기 방식에 따라 기판 표면이 개선되며, 스퍼터링을 이용한 건식 세정 방법은 오염 물질 외에 웨이퍼나 그 위에 덮혀있는

  리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.05.30

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  반도체 클리닝 공정 (반도체 클리닝 공정에 대한 조사 레포트)

  (lift-off)Plasma 세정 시에는 공정가스와 plasma 여기 방식에 따라 기판 표면이 개선되며, 스퍼터링을 이용한 건식 세정 방법은 오염 물질 외에 웨이퍼나 그 위에 덮혀있는

  리포트 | 8페이지 | 3,000원 | 등록일 2015.06.12 | 수정일 2017.01.09

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  Flexible Display 상용화를 위한 Encapsulation 기술의 개선 방안

  ALDSputtering Ar gas 주입 Ar plasma 상태 Ar 이온이 Target 에 충돌 Target 물질이 기판에 증착 출처 : 플라즈마와 박막 프로세스 , 박막 형성법과 스퍼터링

  리포트 | 33페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.12.31 | 수정일 2016.06.11

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  이온 플레이팅

  방법이다.따라서 PAPVD란 결국 스퍼터링과 이온 플레이팅을 의미한다.2. ... 이온빔을 PVD에 이용하는 방법은 두 가지로서, 하나는 이온빔을 스퍼터링원으로 사용하는 것이다. ... 증발은 도금할 물질을 기화하는데 있어서 열에너지를 이용하는 방법인 반면, 스퍼터링은 플라즈마를 형성한 다른 기체의 운동에너지를 이용해서 도금물질을 기화하는 방법이다.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.29

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  [박막공학] Sputtering

  입사 이온의 에너지와 스퍼터율의 관계⑤ DC 스퍼터링DC 스퍼터링은 diode 스퍼터링 또는 cathode 스퍼터링이라고 하며, 증착 속도는 기체의 압력과 전류 밀도에 의존한다. ... 스퍼터링의 모델도Fig 5. 스퍼터링 - 당구 게임타겟에 대한 입사 이온 1개댱에 스퍼터된 원자의 수를 스퍼터율 S라 한다. ... 이러한 장점 외에도 낮은 압력에서의 증착이 가능하기 때문에 collision scattering에 의한 영향을 받지 않는 상태로 스퍼터링이 가능해 스퍼터링 기구를 연구하는 데에 이

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.12.22

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  ITO Glass

  응용분야ITO 타겟으로 스퍼터링(Sputtering)하여 코팅된 기판(Substrate)은 평판디스플레이(FPD, Flat Panel Display)용으로 사용되고 있다.3. ... 타협은 박막(얇은 막)인 동안만 적용되고, 두꺼운 전하 케리어는 금속의 도전율을 증가시키지만 투명도는 감소된다.인듐 주석 산화물의 박막은 가장 일반적으로 전자빔 증착, 증기 증착, 스퍼터링 ... 1400 °C 이상의 온도에서 동작할 수 있고 가스 터빈, 제트 엔진, 로켓 엔진 같은 나쁜 환경에서도 사용할 수 있다.2) ITO Target* 삼성코닝정밀유리 ITO 타겟ITO 스퍼터링

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.17

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  SEM 이미지 생성원리 & OM과 SEM 이미지 생성 차이

  코팅층의 두께는 이온전류와 스퍼터링 시간에 비례한다.②마그네트론 스퍼터링(저진공~수pa)이 장치에서는 음극과 양극이 동축으로(coaxially) 배열되어 있으며 동축의 실린더 자석은 ... 비전도체 시료 표면에 대한 금속코팅에는 코팅의 형상이나 목적에 따라 다음과 같이 여러 가지 방법이 사용되고 있다.①이온 스퍼터링 (저진공~수Pa)시료를 코팅하기 위해 사용되는 코팅금속재료는

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.25

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  E-beam evaporator 원리

  스퍼터링이 많은 공정단계에서 e-beam 증발법을 대신하고 있다.e-beam evaporator는 PVD공정에 속하는 공정으로써 재료의 코팅에 매우 중요한 공정으로써 각종 금속(Au

  리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2015.06.12

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  09Dry_Etching_&_ECR-RIE

  화학적으로 증강된 물리적 스퍼터링 손상에 의해 증강된 화학 반응성 화학적 스퍼터링 ( 즉 , 이온충격은 화학반응이 진행될 에너지를 제공 ) 중 어느 하나 , 혹은 혼합적인 요소에 의해

  리포트 | 25페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.18

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  sintering technology 레포트4

  유사하게, 분말은 제트 엔진, 자동차 엔진, 금속 절삭공구, 생체의학용 보강재, 스퍼터링 타겟 그리고 자기 기록소자 등의 고 기능성 부품의 제조에 사용된다.

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.05.26

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  반도체 및 나노물리학 과제물

  200,400도에서 증착하여 제조한다.- RuO2 박막은 dc 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 300도에서 증착한다.증착된 박막의 결정구조는 X선 회절분석기를 통해 분석한다.Pt ... 전자싸이클로트론공명(ECR)플라즈마는 아주 높은 이온화 효율을 갖기 때문에 원료물질을 효과적으로 분해할 수 있으므로, 저온에서 양질의 Pt박막을 dc 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 ... 및 RuO2 기판 위에 증착된 PZT 박막의 두께와 표면형상은 α-step과 SEM으로 각각 조사한다.Pt dot는 상온에서 10분동안 rf 마그네트론 스퍼터링법으로 150nm 두께로

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.10.10

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  sputtering을 통한 metal deposition 및 I-V, C-V 측정

  Sputtering1) 스퍼터링 현상Glow discharge를 이용하여 ion을 형성하고 이를 전장으로 가속하여 고체 표면에 충돌시킨다. ... 서울대학교 플라즈마 표면 연구실 진공기술 강의자료'3.진공 증착 장비의 종류와 특징-스퍼터링'2. http://www.ee.byu.edu/cleanroom/ohmic-schottky.phtml3

  리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.04.21

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